.(5) ТЕРМОСТАБИЛЬНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙРЕЗИСТОР. (5) THERMAL STABLE FILM RESISTOR
Изобретение относитс к производству резисторов и может быть использовано в технологии изготовлени пле ночных резисторов и микросхем. Известен пленочный резистор с дву м сло ми провод щих покрытий, выпол ненных из различных материалов, последовательно нанесенных на подложку При этом достигаетс снижение температурного коэффициента сопротивлени (ТКС) провод щего покрыти 1. Недостатками данного резистора в л ютс сложность изготовлени и низкий процентвыхода годных резисторов Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс пленочный резистианый элемент, который представл ет собой подложку, с одной стороны которой нанесен слой термочувствительного материала, а с другой - резистивный слой С2. При этом достигаетс снижение ТКС элемента. Недостатками такой конструкции вл ютс необходимость операции подгонки сопротивлени и толщины покрыти в процессе получени провод щих слоев; наличие границы раздела между сло ми разного материала, в результате чего образуетс переходный слой, который может витьс источником нелинейности сопротивлени и повышени ЭДС токового шума. Цель изобретени - улучшение электрических характеристик резистора. Поставленна цель достигаетс тем, что в термостабильном пленочном резисторе , содержащем диэлектрическую под-, ложку с размещенным на ней -пленочным покрытием в виде полос с разным удельным сопротивлением и температурным коэффициентом сопротивлени , пленочное покрытие выполнено из одного материала в виде равных продольных чередующихс структурнодеформированных kL недеформированных полос.The invention relates to the production of resistors and can be used in the technology of making film resistors and microcircuits. A film resistor is known with two layers of conductive coatings made of various materials successively deposited on a substrate. In this case, a decrease in the temperature coefficient of resistance (TCR) of the conductive coating 1 is achieved. The disadvantages of this resistor are the difficulty of manufacturing and the low yield of suitable resistors The closest in technical essence to the present invention is a film resistive element, which is a substrate, on one side of which a layer of heat-sensitive layer is applied. material, and on the other, resistive layer C2. In this case, a reduction in the TKS of the element is achieved. The disadvantages of this design are the necessity of fitting the resistance and thickness of the coating in the process of producing conductive layers; the presence of an interface between the layers of different material, resulting in a transition layer, which can be detected as a source of nonlinearity of resistance and an increase in the EMF of current noise. The purpose of the invention is to improve the electrical characteristics of the resistor. The goal is achieved by the fact that in a thermostable film resistor containing a dielectric substrate with a film coating placed on it in the form of strips with different resistivity and a temperature coefficient of resistance, the film coating is made of the same material in the form of equal longitudinal alternating structural deformed kL undeformed lanes.