SU985464A1

SU985464A1 - Diffusion vacuum pump antimigration device

Info

Publication number: SU985464A1
Application number: SU813272377A
Authority: SU
Inventors: Владислав Владимирович Маясов
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1981-04-08
Filing date: 1981-04-08
Publication date: 1982-12-30

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к к.онструкци м устройств дл предотвращени миграции паров рабочих жидкостей диффузионных вакуумных насосов в откачиваемый объем-.The invention relates to vacuum technology, namely to the design of devices for preventing the migration of vapors of the working fluids of diffusion vacuum pumps into the pumped volume.

Известно антимиграционное устройство диффузионного вакуумного насоса , содержащее корпус и соосно расположенные в нем два диска с наклонными радиальными каналами, один из которых установлен с возможностью вращени и снабжен приводом в виде лопаточной турбинки, вращающейс под действием паровой струи насоса 1.An antimigration device of a diffusion vacuum pump is known, comprising a housing and two disks coaxially disposed therein with inclined radial channels, one of which is rotatably mounted and driven by a blade impeller rotating under the action of the steam jet of the pump 1.

Недостатком из вестного устройства вл етс значительный обратный поток паров .рабочей жидкости насоса.A disadvantage of the known device is a significant reverse flow of vapor. Working fluid of the pump.

Цель изобретени - уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости . The purpose of the invention is to reduce the reverse flow of the working fluid vapor.

Указанна цель достигаетс тем, что другой диск установлен с возможностью вращени в противоположную сторону и снабжен аналогичный приводом 7 причем лопатки обеих турбинок закреплены по периферии дисков.This goal is achieved by the fact that the other disk is mounted rotatably in the opposite direction and is equipped with a similar drive 7, with the blades of both turbines fixed along the periphery of the disks.

На фиг.1 показано предлагаемое устройство, продольный разрез; на 5иг.2 - разрез А-А на фиг.1; наFigure 1 shows the proposed device, a longitudinal section; 5ig.2 - section aa in figure 1; on

фйг.З - расположение радиальных каналов обоих дисков.fig.Z - the location of the radial channels of both disks.

Антимиграционное устройство диффузионного вакуумного насоса содержит корпус 1 и соосно расположенные в нем два диска2 и 3 с наклонными радиальными каналами 4 и 5, один из которых установлен с возможностью вращени и снабжен приводом в виде The antimigration device of a diffusion vacuum pump comprises a housing 1 and two disks 2 and 3 coaxially located in it with inclined radial channels 4 and 5, one of which is rotatably mounted and provided with a drive in the form of

10 лопаточной турбинки 6, вращакт ейс под действием паровой струи 7 насоса . Другой диск 3 установлен с возможностью вращени 1з противоположную сторону и снабжен аналогичные приво5 дом, причем лопатки обеих турбинок 6 и 8 закреплены по периферии дисков 2 и- 3.10 blade impeller 6, rotated under the action of the steam jet 7 of the pump. The other disk 3 is mounted with the possibility of rotation 1h the opposite side and is equipped with similar gear, with the blades of both impellers 6 and 8 fixed along the periphery of the disks 2 and 3.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

2020

Парова стру насоса, воздейству на лопатки турбинок бив, раскручивает диски 2 и 3. Так как скорость струи очень высока диски могут раскручиватьс до значительных скоростей, The steam jet of the pump, acting on the blades of the impellers biv, spins the disks 2 and 3. Since the speed of the jet is very high, the disks can unwind to significant speeds,

25 соизмеримых, с тепловыми скорост ми молекул, враща сь в противоположные стороны, диски с наклонными радигшьными каналами преп тствуют проникновению паров рабочей жидкости в отка30 чиваемый объем. Принцип действи 25 commensurate molecules with thermal velocities, rotating in opposite directions, disks with inclined radio channels prevent penetration of vapors of the working fluid into the evacuated volume. Principle of operation

дисков аналогичен работе турбомолекул рных вакуумных насосов. Ограничива обратный поток, диски, кроме того, оказывают откачивающее действие на газ, поступающий из откачиваемого объема.discs are similar to the operation of a turbomolecular vacuum pump. By limiting the return flow, the discs also have a pumping effect on the gas coming from the volume being pumped.

Использование предлагаемого устройства позвол ет уменьшить обратныйпоток паров рабочей жидкости .насоса в откачиваемый объем.The use of the proposed device makes it possible to reduce the return flow of the working fluid vapor to the pump into the pumped volume.

Claims

1. Patent of Germany No. 1263975, cl. 27 d 3/06, published 1971.