SU1222898A1

SU1222898A1 - Impeller of turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: SU1222898A1
Application number: SU843802491A
Authority: SU
Inventors: Константин Евгеньевич Демихов
Original assignee: МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date: 1984-10-18
Filing date: 1984-10-18
Publication date: 1986-04-07

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к конструкци м турбомо- лекул рных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, in particular to designs of turbomolecular vacuum pumps.

Цель изобретени - улучшение откач- ных характеристик колеса турбомолекул р- ного вакуумного насоса.The purpose of the invention is to improve the evacuation characteristics of the wheel of a turbomolecular vacuum pump.

На фиг.1 представлено колесо, общий вид; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.Figure 1 presents the wheel, a general view; figure 2 - section aa in figure 1.

Колесо турбомолекул рного вакуумного насоса содержит диск 1 с лопатками 2, образующими межлопаточные каналы 3 и 4, которые в окружном направлении имеют поочередно посто нную и переменную щирину.The wheel of a turbomolecular vacuum pump contains a disk 1 with blades 2, forming interscapular channels 3 and 4, which in the circumferential direction have alternately constant and variable width.

При работе насоса колесо устанавливаетс на валу турбомолекул рного насоса, образу вместе с ним ротор. При вращении ротора молекулы откачиваемого газа взаимодействуют с боковыми стенками лопаток 2 и проход т по межлопаточным каналам как в направлении откачки, так и в обратном направлении. При этом величина потока моWhen the pump is operating, the wheel is mounted on the shaft of the turbomolecular pump, forming with it a rotor. When the rotor rotates, the molecules of the pumped gas interact with the side walls of the blades 2 and pass through the interscapular channels both in the direction of pumping and in the opposite direction. In this case, the magnitude of the flow is

лекул в направлении откачки превыщает величину потока в обратном направлении, что обусловливает эффект откачки газа, причем соотношение этих потоков и их разность характеризуют степень сжати и быстроту действи колеса как одной ступени Турбо- молекул рного вакуумного насоса, т. е. от- качные характеристики колеса. Быстрота действи и степень сжати завис т от отношени ширины канала к его длине, причем с повышением этого соотношени степень сжати уменьшаетс , а быстрота действи сначала растет, а затем падает, т. е. имеет место максимум быстроты действи при некотором отношении ширины канала к его длине. Поэтому применение в одном колесе каналов с переменной шириной, возрастающей по радиусу, и посто нной шириной позвол ет получить большие значени быстроты действи и степени сжати , т. е. улуч- щить откачные характеристики колеса.The pump in the direction of pumping exceeds the flow in the opposite direction, which causes the effect of pumping gas, and the ratio of these flows and their difference characterize the degree of compression and speed of the wheel as one stage of a Turbo-molecular vacuum pump, i.e. . The speed of action and the degree of compression depend on the ratio of the channel width to its length, and with an increase in this ratio, the degree of compression decreases, and the speed of action first increases and then falls, i.e., there is a maximum speed of action for some ratio of channel width to its length. Therefore, the use of channels with a variable width, increasing in radius and a constant width in one wheel allows to obtain large values of speed and degree of compression, i.e., to improve the exhaust characteristics of the wheel.

//

Срс/г.2Cpc / g.2

Claims

WHEEL OF A TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP containing a disk with vanes forming interscapular channels, characterized in that, in order to improve pumping performance, the interscapular channels in the circumferential direction have alternately constant and variable widths.

Yu Yu QO SO □ O