SU970227A1

SU970227A1 - Strain gauge accelerometer

Info

Publication number: SU970227A1
Application number: SU802867590A
Authority: SU
Inventors: Лидия Петровна Козлова; Сергей Николаевич Маркин; Борис Иванович Пивоненков; Владислав Васильевич Цветков
Original assignee: Предприятие П/Я А-3759
Priority date: 1980-01-09
Filing date: 1980-01-09
Publication date: 1982-10-30

Description

(54) ТЕНЗСЖЕТРИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР(54) TENSOR-ACCELEROMETER

Изобретение относитс к измерению параметров движени , в частности к тензорёзистивным измерител м линейных ускорений.The invention relates to the measurement of motion parameters, in particular, tensor-resistant linear acceleration meters.

Известны акселерометры с тензорезистивными элементами 1 и {2}.Known accelerometers with strain gauge elements 1 and {2}.

Однако данные акселерометры имеют относительно низкую температурную стабильность выходной характеристики вследствие значительного вли ни градиентов температуры в зоне установки тензорезисторов.However, these accelerometers have a relatively low temperature stability of the output characteristics due to the significant effect of temperature gradients in the installation area of strain gages.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату вл етс устройство, содержащее инерционную массу, закрепленную на консольной балке и тензочувствительные элементы, установ- ленные над выполненньми в балке пазами 3.Closest to the proposed technical essence and the achieved result is a device containing an inertial mass, mounted on a cantilever beam and stress-sensitive elements mounted above the grooves 3 that are made in the beam.

Недостатком устройства вл етс относительно низка точность измерени ускорени при намотке его поперечных составл ющих при одностороннем креплении тензочувствительных элементов.Цель изобретени - повышение точности измерени ускорени за счет снижений поперечной чувствительности.The drawback of the device is the relatively low accuracy of the measurement of acceleration when winding its transverse components when unilaterally fixing the stress-sensitive elements. The purpose of the invention is to improve the accuracy of the measurement of acceleration due to a decrease in transverse sensitivity.

Дл достижени поставленной цели в тензометрическом акселерометре пазы выполнены различной глубины.To achieve this goal, the grooves in the tensometric accelerometer are made of different depths.

а„ св заны сa are associated with

величины которых аиvalues of which

h h

толщиной перемычки между пазаили соотношением а «j - а h/2, а тензочувствительные элементы расположены над пазом с меньшей глубиной.the thickness of the jumper between the grooves and the ratio of a "j - and h / 2, and the stress-sensitive elements are located above the groove with a smaller depth.

10ten

На чертеже представлена упрощенна конструктивна схема тензометрического акселерометра.The drawing shows a simplified structural diagram of a tensometric accelerometer.

Устройство содержит корпус 1, упругий .элемент-балку 2, жестко зак15 репленную в корпусе с одного конца. На балке имеютс два поперечных паза 3, расположенных на противоположных сторонах балки соосно, преобразуижЩй элемент 4, жестко закреплен20 ный над одним из пазов и выполненный в виде интегральной тензосхемы, состодадей из четырех полупроводниковых теензорезисторов, и крыщку 5.The device comprises a housing 1, an elastic beam element 2 rigidly embedded in the housing from one end. The beam has two transverse grooves 3, located on opposite sides of the beam coaxially, the transforming element 4, rigidly fixed 20 over one of the grooves and made in the form of an integral strain circuit, consisting of four semiconductor strain gauges, and a flap 5.

Тензометрический акселерометр Tensometric accelerometer

25 iработает следующим образом.25 i works as follows.

Лри наличии измер емого ускорени WP происходит деформаци преобразующего элемента 4, котора вызывает изменение сопротив30 лени тензорезисторов интегральНОИ тенэосхемы, пропорциональное измер емому ускорению.In the presence of measurable acceleration WP, a transformation element 4 deforms, which causes a change in the resistance of the strain gages of the integral tenoscircuit, which is proportional to the measured acceleration.

Claims

1. USSR author's certificate

690393, cl. G 01 R 15/12, 08.08.77,

2. V, Walter L. Electrical measurements of non-electric quantities by semiconductor strain gauges. M., Energie, 1974.

3. US patent number 3474526,

cl. H 04 R. 1/00, published .. 10.03.67 (prototype).

Wff

QtOi