SU962337A1 - Method for electrochemically depositing copper - Google Patents

Method for electrochemically depositing copper Download PDF

Info

Publication number
SU962337A1
SU962337A1 SU802979724A SU2979724A SU962337A1 SU 962337 A1 SU962337 A1 SU 962337A1 SU 802979724 A SU802979724 A SU 802979724A SU 2979724 A SU2979724 A SU 2979724A SU 962337 A1 SU962337 A1 SU 962337A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
copper
foil
dielectric
pulses
increase
Prior art date
Application number
SU802979724A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Сергеевич Кругликов
Михаил Михайлович Ярлыков
Елена Всеволодовна Браун
Валерий Игоревич Харламов
Михаил Александрович Орехов
Владимир Петрович Кузнецов
Наталья Михайловна Петракова
Original Assignee
Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева filed Critical Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева
Priority to SU802979724A priority Critical patent/SU962337A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU962337A1 publication Critical patent/SU962337A1/en

Links

Description

1one

Изобретение относитс  к нанесению гальванических покрытий, в частности медных, и может быть использовано в радиопромышленности, в частности, при обработке медных фольг, примен емых в производстве фольгированных диэлектриков дл  печатных плат.The invention relates to the deposition of electroplated coatings, in particular copper, and can be used in the radio industry, in particular, in the processing of copper foils used in the production of foil dielectrics for printed circuit boards.

В современном производстве фольгированных диэлектриков примен ютс  различные виды обработки медной фоль- ,Q ги с целью улучшени  адгезии соединени  фольга-диэлектрик.In the modern production of foiled dielectrics, various types of processing of copper foil, Q and Q are used to improve the adhesion of the foil-dielectric compound.

Известен способ электрохимической обработки медной фольги, заключающийс  в последовательном нанесении медно-|5 медноокисного сло  при плотности тока 8-27 А/дм в течение 5-50 с и медного сло  при 2,1-16 А/дм в течение 15-6ЙО с из сернокислого электролита меднени  L1 J.20The known method of electrochemical treatment of copper foil consists in the sequential deposition of copper and copper oxide at a current density of 8–27 A / dm for 5–50 s and of a copper layer at 2.1–16 A / dm for 15–6 OIO s from copper sulfate electrolyte L1 J.20

Однако данный способ обработки позвол ет увеличить адгезию фольги к диэлектрикам не более чем в раз по сравнению с необработанной фоль- .However, this method of treatment allows to increase the adhesion of the foil to dielectrics by no more than a fold compared to untreated foil.

гой. Кроме того, присутствие в наносимом слое медноо исных частиц приводит к по влению подтравливани  при проведении технологической обработки фольгированного диэлектрика, примен емой в производстве печатных платgoy In addition, the presence of copper-like particles in the deposited layer leads to the appearance of undercutting during the processing of the foiled dielectric used in the manufacture of printed circuit boards.

Наиболее близок к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату способ электрохимического осаждени  меди в потенциостатических услови х. Осаждение провод т из цианистого электролита .Closest to the proposed by the technical essence and the achieved result is a method of electrochemical deposition of copper in potentiostatic conditions. The deposition is carried out from cyanide electrolyte.

Недостатком известного способа  вл етс  то, что осаждаютс  гладкие, равномерные осадки меди, обладающие очень малой адгезией к наносимому на нее диэлектрику при изготовлении фольгированного материала.The disadvantage of this method is that smooth, uniform precipitations of copper are deposited, which have very little adhesion to the dielectric applied to it in the manufacture of the foiled material.

Цель изобретени  - повышение адгезии пленки диэлектрика с медным покрытием за счет увеличени  шероховатости последнего и повышение стойкости к подтравливанию. Указанна  цель достигаетс  тем, что процесс ведут 6-15 с при величи не катодного перенапр жени  в нечет ных импульсах 500-620 мВ, затем 15-60 с в четных при 80-200 мВ, причем количество пар импульсов составл ет 6-12. Дл  повышени  стойкости к подтра ливанию на медное покрытие нанос т слой олова толщиной 0,03-0,1 мкм. Выбор данных параметров перенапр жени  и длительности импульсов обуславливаетс  тем, что при нснесе нии медного покрыти  с использовани параметров электроосаждени  ниже ук Ьаниых пределов величина адгезии сн жаетс  из-за недостаточной степени развитости поверхности осадка, а пр ведении осаждени  с использованием параметров выше указанных пределов величина адгезии падает из-за сниже ни  прочности сцеплени  нанесенного осадка с телом |)ольги. Адгезионна  прочность сцеплени  с диэлектриком медной фольги, обработамной предлагаемым способом, воз растает в 12-19 раз по сравнению с необработанной фольгой. Подтравливание как подтвердили и пытани  на гальваностойкость, выпол ненные по методике согласно 10316-87, отсутствуёт. Адгезионна  прочность сцеплени  фольги с диэлек риком noche таких испытаний не изме етс . Пример 1. Медную фольгу обрабатывают электрохимически предлагаемым способом в ванне состава, г/л: CuSO - 40 H S04200 выполнен из электролитическ меди. Температура ванны 18-20 С. Скорость протока электролита1 ,4 м/мин Величина адгезии фольги к диэлек рику, типа ФТС сыра  (необработанна  фольга 30 ГС/3 мм при различных эл рических режимах оценивавша с  по усилию расслаивани  (отрыв полоски фольги шириной 3 мм производ т под углом ЭО), приведена в табл. 1. Пример 2. Медную фольгу, о работанную аналогично примеру 1, покрывают слоем олова из ванны сост ва, г/л: Nn2.Sn(OH)(, inn NaOHefioB15 Температура ванны 70-80 С Катодна  плотность тока2-3 А/дм Затем Проведены испытани  на гальваностойкость по ГОСТу 10316-78. Подтравливание не наблюдаетс . Величину адгезии фол.ьги к диэлектрику измер ют аналогично примеру 1 (табл. 2). Выбор оптимальных параметров проиллюстрирован в табл. 3. Осаждение меди осуществл ют в ванне аналогично примеру 1. Расчетна  толщина получаемого медного покрыти  составл ет 2,k-,2 мкм. Увеличение числа слоев меди сверх указанного, привод щее к снижению толщины сло  до величины, меньшей 0,05 мкм, или же нанесение менее 12 слоев меди (п 6), привод щее к росту толщины сло  до величины, превышающей 0,1 мкм, не позвол ет получать осадки с достаточной степенью развитости поверхности. В первом случае это происходит из-за недостаточного развити  поверхности в течение нечетных импульсов, а во втором - изза сильного геометрического выравнивани  в четных импульсах. Результаты испытаний представлены в табл. . Была исследована возможность применени  цинка, никел  и олова дл  повышени  стойкости к подтравливанию медной фольги. Эти металлы были выбраны исход  из их высокого химического сродства к пол рным полимерам, к которым относ тс  и эпоксидные смолы, а также исход  из их хорошей микрорассеивающей способности. Результаты испытаний приведены в табл 5. Толщина слоев олова, цинка и никел  составл ет 0,1 мкм. Испытани  на гальоаностойкость проведены по ГОСТу 10316-78. Толи;ина олов нного покрыти  менее 0,03 мкм не обеспечивает полного закрыти  всей поверхности медного осадка (могут остатьс  непокрытыми углублени  микропрофил ). Покрытие толщиной более 0,1 мкм может способствовать снижению развитости поверхности из-за эффекта геометрического выравнивани . Использование предлагаемого способа электрохимической обработки медной фольги обеспечивает по сравнению с известными повышение в 1,3-1,8 разThe purpose of the invention is to increase the adhesion of the dielectric film with a copper coating by increasing the roughness of the latter and increasing the resistance to etching. This goal is achieved by the fact that the process is carried out for 6–15 s with non cathode overvoltage in odd pulses 500–620 mV, then 15–60 s in even at 80–200 mV, and the number of pairs of pulses is 6–12. To increase the resistance to cracking, a 0.03-0.1 µm thick layer of tin is applied to the copper coating. The choice of these overvoltage parameters and pulse durations is due to the fact that when copper coating is removed using electroplating parameters below the upper limits, the adhesion value decreases due to insufficient development of the surface of the sediment, and deposition using the parameters above the specified limits falls due to the reduction in the strength of adhesion of the deposited sediment to the body | The adhesive strength of adhesion with the dielectric of copper foil, by the processing proposed by the method, increases by 12–19 times in comparison with the untreated foil. Podravlivanie as confirmed and attempts at galvan resistance, performed according to the method according to 10316-87, is absent. The adhesion strength of the foil with the dielectric noche of such tests does not change. Example 1. Copper foil is treated by an electrochemically proposed method in a bath of composition, g / l: CuSO - 40 H S04200 is made of electrolytic copper. Bath temperature is 18-20 C. Electrolyte flow rate1, 4 m / min Foil adhesion to dielectric, type of FTS cheese (raw foil 30 GS / 3 mm at different electric modes, evaluated with delamination force (3 mm wide strips of foil produced at an angle EO), is given in Table 1. Example 2. Copper foil, worked analogously to Example 1, is coated with a layer of tin from the bath of the composition, g / l: Nn2.Sn (OH) (, inn NaOHefioB15 Bath temperature 70 -80 ° C. Cathode current density2-3 A / dm. Then, tests for galvan-resistance according to GOST 10316-78 were carried out. This is not observed. The magnitude of the adhesion of the foil to the dielectric is measured analogously to Example 1 (Table 2). The choice of optimal parameters is illustrated in Table 3. The copper is deposited in the bath as in Example 1. The calculated thickness of the resulting copper coating is 2, k-, 2 µm. The increase in the number of copper layers over the specified one, leading to a decrease in the layer thickness to less than 0.05 µm, or the deposition of less than 12 layers of copper (p 6), leading to an increase in the layer thickness to a value exceeding 0.1 µm, does not allow to obtain precipitation with a sufficient degree New developed surface. In the first case, this is due to insufficient surface development during odd pulses, and in the second, due to strong geometric alignment in even pulses. The test results are presented in Table. . The possibility of using zinc, nickel and tin to increase the resistance to etching of copper foil was investigated. These metals were chosen on the basis of their high chemical affinity for polar polymers, which include epoxy resins, and also on the basis of their good micro-scattering ability. The test results are given in Table 5. The thickness of the tin, zinc and nickel layers is 0.1 µm. Tests for galan-resistance carried out according to GOST 10316-78. Roles; in tin coating less than 0.03 µm does not ensure complete closure of the entire surface of the copper deposit (the microprofil wells may remain uncovered). A coating with a thickness of more than 0.1 µm can help reduce surface development due to the geometric alignment effect. Using the proposed method of electrochemical processing of copper foil provides an increase of 1.3-1.8 times compared with the known

,59623376, 59623376

адгезионной прочности св зи соеди- вию различных трав щих растворов в ненил медна  фольга - диэлектрик фоль- процессе технологической обработки гированных материалов дл  печатных печатных плат, что значительно повыИлат , а также устойчивость полученно- шает качество и Надежность работы го адгезионного соединени  к воздейст-5 схемы на печатных платах.adhesive strength due to the connection of various etching solutions in nenil copper foil - a dielectric foil during the processing of girovanny materials for printed circuit boards, which significantly improved, as well as stability, the quality and reliability of adhesive bonding to impact-5 circuits on printed circuit boards.

Таблица 1Table 1

600600

Полученна  по режиму примера 1Obtained by the mode of example 1

Покрыта  слоем олова ТО/11ЦИНОЙ, мкмCovered with a layer of tin TO / 11ZINOM, micron

Таблица 2table 2

1515

Частичное когезионное разрушение диэлектрикаPartial cohesive dielectric failure

600600

Полученна  по режиму примера 1Obtained by the mode of example 1

Покрыта  слоем Covered by a layer

600-700 600-700 О олова600-700 600-700 O tin

Таблиц аkTables ak

Частичное коге15 зионное разрушение диэлектрикаPartial cohesion dielectric destruction

Когезионное разрушение диэлектрикаCohesive dielectric failure

Величина адгезии фольги к диэлектФольга рику типа ФТС,. The magnitude of the adhesion of the foil to dielectric type FCS ,.

Исходное состо ниеBaseline

560560

цинкаzinc

9090

никел nickel

Claims (2)

Формула изобретени Invention Formula 1, Способ электрохимического осаждени  меди в потенциостатических услови х , преимущественно, из сернокис- J5 лого электролита, отличающийс  тем, что, с целью повышени  адгезии пленки диэлектрика с медным покрытием за счет увеличени  шероховатости последнего, процесс ведут -у 6-15 с при величине катодного пере йапр жени  в нечетных импульсах 500620 мВ, затем с в четных при 80-200 мВ, причем количество пар импульсов составл ет 6-12. 1, Method of electrochemical deposition of copper in potentiostatic conditions, mainly from sulfuric acid J5 electrolyte, characterized in that, in order to increase the adhesion of the dielectric film with a copper coating by increasing the roughness of the latter, the process is carried out in 6-15 seconds with the cathode voltage in odd pulses is 500620 mV, then s in even pulses at 80-200 mV, and the number of pairs of pulses is 6-12. Примечание ГС/3 ммNote GS / 3 mm После йс пытани After being tortured 3939 Частичное когезионное разрушение диэлектрикаPartial cohesive dielectric failure 10ten Адгезионное разрушение соединени Adhesive bond 2. Способ по п. 1, о т л и ч а roll и и с   тем, что, с целью поъыше:ни  стойкости К подтравливёни, на медное покрытие нанос т слой олова толщиной 0,03-0,1 мкм.2. A method according to claim 1, about tl and h a roll, and so that, in order to increase: no resistance K under-etching, a layer of tin 0.03-0.1 μm thick is applied to the copper coating. Источники информации, прин тые во внимание п|эи экспертизеSources of information taken into account Г. Патент США ff 32931Q9, кл. I6t--l66, опублик. 1966.G. US patent ff 32931Q9, cl. I6t - l66, pub. 1966. 2. Блест щие и комбинированные металлические покрыти . Материалы семинара , вып. 2, М., МЛНТИ им. Д ержин ского, 1967, с. 93-97.2. Brilliant and combined metallic coatings. Workshop materials, vol. 2, M., MLNTI them. Derzhinsky, 1967, p. 93-97.
SU802979724A 1980-07-04 1980-07-04 Method for electrochemically depositing copper SU962337A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802979724A SU962337A1 (en) 1980-07-04 1980-07-04 Method for electrochemically depositing copper

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802979724A SU962337A1 (en) 1980-07-04 1980-07-04 Method for electrochemically depositing copper

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU962337A1 true SU962337A1 (en) 1982-09-30

Family

ID=20916889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802979724A SU962337A1 (en) 1980-07-04 1980-07-04 Method for electrochemically depositing copper

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU962337A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5100522A (en) * 1988-11-15 1992-03-31 Maschinonfabrik Andritz Actiengesellschaft Process and apparatus for the manufacture of a metal foil

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5100522A (en) * 1988-11-15 1992-03-31 Maschinonfabrik Andritz Actiengesellschaft Process and apparatus for the manufacture of a metal foil

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6969557B2 (en) Surface-treated copper foil low-dielectric substrate and copper-clad laminate and printed wiring board using the same
EP0632146B1 (en) Process for making electrodeposited copper foil using electrolyte solutions having controlled additions of chloride ions and inorganic impurities
US5679230A (en) Copper foil for printed circuit boards
KR100951211B1 (en) Electrolytic copper foil with carrier foil furnished with primer resin layer and process for producing the same
US4469567A (en) Treatment of copper foil
TW480902B (en) Improved method for forming conductive traces and printed circuits made thereby
KR20130121985A (en) Copper foil for printed circuit
JPH0224037B2 (en)
CN1113982C (en) Non-cyanide brass plating bath and method of making metallic foilhaving brass layer using non-cyanide brass plating bath
JPH03119701A (en) Electrically conductive material with resistance layer and printed circuit board with resistance layer
EP0362535B1 (en) Aluminum plating substance for anodizing
CN117480282A (en) Roughened copper foil, copper-clad laminate and printed circuit board
KR100325989B1 (en) A process for applying a stabilization layer to at least one side of copper foil, and its applied foil and laminate
KR20230129209A (en) Electrodeposited copper foil with its surfaceprepared, process for producing the same and usethereof
SU962337A1 (en) Method for electrochemically depositing copper
EP0250195A2 (en) Double matte finish copper foil
JP3906347B2 (en) Copper foil for printed circuit
US4549941A (en) Electrochemical surface preparation for improving the adhesive properties of metallic surfaces
KR101096638B1 (en) Peel strength enhancement of copper laminates
US5332486A (en) Anti-oxidant coatings for copper foils
RU2318080C1 (en) Method for producing electrode of lead dioxide
JPH0219994B2 (en)
JP2631061B2 (en) Copper foil for printed circuit and method of manufacturing the same
EP0700238B1 (en) Copper foil for use in making printed wiring board
US4579633A (en) Method of producing tin-free steel sheets