SU960970A1 - Устройство дл подгонки тонкопленочных резисторов - Google Patents

Description

(5) УСТРОЙСТВО дл  подгонки ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

1

Изобретение относитс  к технологии производства микросхем, в частности гибридно-пленочной технологии, и служит дл  подгонки пассивных элементов гибридных схем, например резисторов .

Известны устройства дл  подгонки микросхем, использующие сфокусированный луч лазера 1.

Недостатками этих устройств  вл етс  необходимость стаБИлизации свойств подгон емых резисторов на других установках, выполнение только одной операции - операции подгонки, отсутствие учета температурного коэффициента сопротивлени , что снижает точность подгонки.

Нсзиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее последовательно соединенные блок программного управлени  координатным столом, снабженным контактными зондами, блок РЕЗИСТОРОВ

запуска лазерного излучател , блок высоковольтного импульсного питани , блок лазерного излучател , снабженного системами охлаждени  и наблюдени , и координатный стол, вход

5 которого соединен с управл ющим выходом блока программного управлени  координатным столом, второй выход которого соединен с синхронизирующим входом блока автоматического контрол  параметров, измерительные входы которого соединены с контактными зондами 2J.

Недостатками этого устройства

IS  вл ютс  длительность подгонки, необходимость предварительной стабилизации свойств подгон емых резисторов на других установках, отсутствие учета температурного коэффициента со20 противлени  резистора.

Длительность подгонки резистора до требуемой величины обусловлена р дом причин.

Устройство позвол ет осуществить подгонку методом реза (грубо, точно ) , работа  в непрерывном режиме излучени  лазера, позвол ет осуществить фрезеровку лазерным лучом кра  резистора в этом же режиме излучени . При работе в непрерывном режиме излучени  лазера эта скорость ограничиваетс  опасностью пережога резистора вследствие инерционности механической системы, требуемой точностью подгонки, поскольку крутизна характеристики подгонки.составл ет дес тки ом н5 микрометр. Кроме того, устройство позвол ет осуществить подго ку путем выжигани  отверстий в ре (зистивном слое при раЬоте лазера в импульсном режиме. Скорость подгонки в этом случае ограничена скоростью перемещени  подгон емого резистора относительно лазерного луча , В св зи с тем, что каждый импульс измен ет сопротивление на какую-то дискретную величину, то дл  обеспечени  заданной точности подгонки необходимо это изменение выбрать малым, что ведет к увеличению числа импульсов, следовательно, к увеличению времени подгонки,

Стабилизаци  napaMOtpOB резистора перед подгонкой- необходима и осущестал етс  либо путем нагрева в вакуумных печах с выдержкой подложек в течение некоторого времени, либо разогревом за счет прохождени  тока через резистор.

Устройство не позвол ет стабилизировать параметры резистора лучом излучател  (лазера 1 из-за его посто нной сфокусированности, поскольку будет происходить испарение резистивного материала или отжиг вместо стабилизации . Стабилизаци  параметров резистора возможна за счет воздействи  на него несфокусированного луча лазера при многократном перемещении резистивного сло  относительно лазерного луча. Однако любой из указанных способов стабилизации требует своей установки.

Точность подгонки снижаетс  из-за отсутстви  учета температурного коэффициента сопротивлени .

Введение посто нной поправки дл  учета температурного коэффициента сопротивлени  не может учесть разброс температурных коэффициентов сопротивленик у различных резисторов на данной подложке.

Цель изобретени  - повышение производительности и точности подгонки.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство дл  подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее координатный стол с контактными зондами , последовательно соединенные блок программного управлени  координатным столом, управл ющий выход которого ,

соединен с координатным столом, а второй выход - с Синхронизирующим входом блока автоматического контрол  параметров, измерительные входы которого соединены с контактными зондами , лазерный излучатель, снабженный системами охлаждени  и наблюдени  , блок запуска лазерного излучател , блок высоковольтного импульсного питани , дополнительно введены

блок расширени  диаметра лазерного луча, блок автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, блок преобразовани  интенсивности лазерного излучени , блок прецизионного перемещени , блок параллельной многолинзовой фокусировки лазерного излучени , причем лазерный излучатель оптически соосен последовательно расположенным блоку расширени  диаметра

луча лазерного излучател , блоку преобразовани  интенсивности лазерного излучени , блоку параллельной многолинзовой фокусировки лазерного излучени , выход блока автоматического контрол  параметров соединен с информационным входом блока автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, первый синхронизирующий выход,- первый синхронизирующий вход, второй синхронизирующий выход и второй синхронизирующий вход которого соединены соответственно со вторым входом блока запуска лазерного излучател , вторым синхронизирующим выходом блока программного управлени 

координатным столом, входом и выходом блока прецизионного перемеще- ; ни , кинематически св занным с блоком преобразовани  интенсивности лазерного излучени , вход которого соединен с управл ющим выходом блока aBtoMaTM4ecKoro управлени  стабилизацией и подгонкой, при этом блок параллельной многолинзовой фокусировки кинематически св зан с блоком

преобразовани  интенсивности излучени .

На фиг. 1 приведена структурна  схема предлагаемого устройства дл  подгонки тонкопленочных резисторов интегральных схем; на фиг. 2 - то же блок автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой. Устройство дл  подгонки тонкопленочных резисторов содержит последова тельно соединенные блок 1 программно го управлени  координатным столом, блок 2 запуска лазерного излучател , блок 3 высоковольтного импульсного питани  и лазерный излучатель k с системой 5 охлаждени  и наблюдени , координатный стол 6, снабженный контактными зондами (не показаны), блок 7 автоматического контрол  параметров блок 8 расширени  диаметра луча блок 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, блок tO преобразовани  интенсивности лазерно го излучени , блок 11 прецизионного перемещени . 11, блок 12 параллельной многолинзовой фокусировки лазерного излучени . . Блок 9 содержит блок пам ти коммутации и синхронизации, блок 16 измерени  температуры, выход которого подключен к входу блока 1 коммутации , первый блок 17 сравнени , пер вый вход которого подключен к выходу блока 1 коммутации, второй вход под ключен к выходу блока 13 пам ти, а еыход подключен к входу блока 15 син хронизации, первый блок 18 вычитани  первый и второй входы которого подключены к выходу блока 13 пам ти, третий вход подключен к выходу блока }5 синхронизации, а выход подключен к входу блока 1k коммутации j блок 19 преобразовани  сигнала, вход и выход которого подключены соответственно к выходу и входу блока коммутации, второй блок 20 вычитани  первый вход которого подключен к выходу блока 14 коммутации, на второй вход подано опорное напр жение Uof.,, а выход подключен к входу блока 13 пам ти, блок 21 определени  температурного коэффициента сопротивлени , вход которого подключен к выходу блока Н коммутации, а выход - к входу блока i3 пам ти, второй блок 22 сравнени , вход которого подключен к выходу блока k коммутации, первый выход подключен к входу блока 15 синхронизации , а второй и третий выходы подключены соответственно к первому и второму синхронизирующим выходам блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, третий блок 23 вычитани , третий блок 2 сравнени , блок 25 усилени  с управл емым коэффициентом передачи, первый и второй входы которого подключены к выходу блока Н коммутации, а выход подключен к первому входу третьего блока 23 вычитани , второй вход которого подключен к выходу блока }k коммутации, а выход подключен к входу третьего блока 2 сравнени , первый выход которого подключен к входу блока 13 пам ти, блок 26 индикации, четвертый блок 27 сравнени , к входу которого подключен второй выход третьего блока 2 сравнени , а выход подключен к первому вж)ду блока 2б индикации, выход которого подключен к входу блока 15 синхронизации, блок 28 управлени , блок 29 управлени  интенсивностью излучени , блок 30 усилени , блок 31 преобразовани  анало -код, вход которого подключен к выходу блока 1Л коммутации, а выход подключен к входу 28 управлени , первый выход которого подключен к второму входу блока 2б индикации, а второй -. подключен к первому входу блока 29 управлени  интенсивностью излучени , второй вход которого подключен к выходу блока 13 пам ти, а первый выход подключен к входу блока 30 усилени , выход которого подключен к управл ющему выходу блока 9,автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, четвертый блок 32 вычитани , первый вход которого подключен к второму выходу блока 29 управлени  интенсивностью излучени , второй вход подключен к выходу блока 13 пам ти, а выход подключен к его входу, причем вход и выход блока 13 пам ти подключены соответственно к выходу и входу блока k коммутации, вход и выход блока 15 синхронизации подключены к выходу и входу блока 13 пам ти, выход и вход блока 15 синхронизации подключены к входу и выходу блока коммутации соответственно, выход блока 15 синхронизации подключен к первому синхронизирующему выходу блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой, информационный вход которого подключен к входу лока 1 коммутации, а синхронизируюие его входы подключены к входу лока 15 синхронизации. Блок 7 автоматического контрол  араметров служит дл  измерени  сопротивлени  подгон емого резистора. Блок 8 расширени  диаметра луча (на пример , коллиматор, телескоп и т.п.) служит дл  увеличени  диаметра луча лазерного излучател  4, Блок 10 преобразовани  интенсивности излучени  представл ет собой сотообразный набо из m  чеек, оптическа  прозрачность которых измен етс  в зависимости от величины приложенного управл ющего сигнала (например, набор оптических Модул торов, управл емых напр жением ). Апертура блока 10 преобразо ,вани  интенсивности излучени  равна диаметру расширенного луча излучател . Блок 12 параллельной многолинзовой фокусировки содержит также сотообразный набор из m фокусирующих  чеек, кажда  из которых расположена под соответствующей  чейкой блока 10 преобразовани  интенсивности излучени  и фокусирует только ту часть луча , котора  проходит через эту  чейку . Блок 11 прецизионного перемещени  содержит устройство дл  перемещени  блока 10 преобразовани  интенсивности излучени  и блока 12 параллельной нноголинзовой фокусировки и может быт выполнен на основе любых:устройств, позвол ющих осуществить прецизионные перемещени  и реализованы, например на базе шагового двигател . Блок 13 пам ти содержит набор  чеек пам ти, кажда  из которых хранит информацию до момента ее обнулени , и может . быть реализован на основе известных технических решений (например,  чейк П9МЯТИ на емкости). Блок 1 коммутации содержит набор ключей, управл е,мых напр жением, которые реализуютс  на основе известных технических реше ний (например, ключи на МОП-транзисторах ) . Блок 15 синхронизации представл ет собой совокупность гене раторов-,- ждущих мультивибраторов, дифференцирующих цепей, которые реализуютс  на основе известных техни;ческих решений. Блок 16 измерени  температуры дол жен быть выполнен на основе безкон:Тактного метода измерени  температуры с линейной передаточной характеристикой и обладать малой инерционностью (например, оптический пирометр ). Блок 21 определени  температурного коэффициента сопротивлени  содержит делительное .устройство (на ,пример, резистивный делитель). Блок 9 08 28 управлени  содержит набор логических устройств и может представл ть собой, например, сдвиговый регистр. Блок 29 управлени  интенсивностью излучени  представл ет собой устройство , преобразующее входной сигнал в р д вУодных, число и величина которых зависит от величины входного сигнала, и может быть реализован на основе известных вычитающих, пороговых и ключевы) устройств. Устройство работает следующим образом . Подложка с подгон емыми резисторами 33 устанавливаетс  на координатном столе 6. На его вход по сигналу оператора приходит управл ющий сигнал с управл ющего выхода блока 1 программного управлени  координатным .столом. Под действием этого сигнала шаговые двигатели (не показаны) перемещают координатный стол 6, устанавлива  наход щийс  на нем резистор в зону действи  луча лазерного излучател  +. После этого со второго синхронизирующего выхода блока 1 программного управлени  координатном столом поступаетуправл ющий сигнал на синхронизирующий вход блока 7 автоматического контрол  параметров и на первый синхронизирующий вход блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой. Под действием этого сигнала упом нутые блоки переход т из исходного состо ни  в режмм измерени  параметров подгон емого резистора 33 и управлени  процессом стабилизации и подгонки. Одновременно управл ющий сигнал с первого синхронизирующего выхода блока 1 программного управлени  координатным столом поступает на первый вход блока 2 запуска излучател  2 и включает лазерный излучатель , Лазерный луч, расширенный блоком 8 расширени  диаметра луча, позвол ет нагреть подгон емый резистор сразу по всей площади без дополнительного перемещени  его относительно лазерного луча и наоборот. Происходит процесс стабилизации свойств резистивного сло , т.е. приближение его удельного сопротивлени  к сопротивлению массивного образца. Интенсивность излучени  такова, что резистивна  пленка нагреваетс  до температуры, необходимой дл  стабилизации (т.е. до температуры расплавлени  границ зерен микроструктур ). Процесс может происходить в химически инертной среде и окисление поверхностного сло  пленки не произойдет . Блок 7 автоматического контрол  измер ет мгновенные значени  сопротивлени  подгон емого резистора и сигнал, несущий информацию о результатах измерени , с выхода блока 7 поступает на информационный вход блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой. Этот блок автоматически определ ет момент конца стабилизации сопротивлени  резистора и при его поступлении на первом синхронизирующем его выходе по . вл етс  управл ющий сигнал, который поступает на второй вход блока 2 запуска лазерного излучател  и выключает лазерный излучатель k,

При таком режиме работы осуществл етс  индивидуальна  стабилизаци  свойств резистора в автоматическом режиме, имеюща  преимущества по точности по сравнению с групповой стаби- 25

лизацией в вакуумных печах, без дополнительной установки дл  стабилизации и без дополнительных затрат времени, вызванных необходимостью перемещени  подложки с одного устройства на другое, ибо расширенный лазерный луч используетс  в дальнейшем дл  подгонки резистора. Одновременно с выключением лазера управл ющий сигнал со второго синхронизирующего выхода блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой поступает на вход блока 11 прецизионного перемещени . Он перемещает блок 10 преобразовани  интенсивности излучени  и кинематически и оптически св занный с ним блок 12 параллельной многолинзовой фокусировки в зону действи  расширенного лазерного луча, устанавлива  их над подгон емым резистором .

В течение времени перемещени  блоков 10 и 12 блок 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой определ ет температурный коэффициент сопротивлени  подгон емого резистора. Это необходимо, ибо отсутствие учета температурного коэффициента сопротивлени  (ТКС) ведет к по влению дополнительной погрешности. После его определени  происходит вычисление величины дР, на которую необходимо подогнать резистор с учетом ТКС. После этого на управл ющем выходе блока 9 96

п + 1  чейка приоткрываетс  и ослабл ет какую-то часть излучени , пропорционально приложенному управл ющему сигналу, приложенному к этой  чейке. Остальные  чейки остаютс  в первоначальном положении и не пропускают излучени , формирование управл ющих сигналов происходит в блоке 9 автоматического управлени  стамещени  блока 10 преобразовани  интенсивности излучени  и блок-а 12 параллельной многолинзовой фокусировки посредством блока-11 прецизионного перемещени . В момент окончани  перемещени  на его выходе по вл етс  сигнал, поступающий на второй синхронизирующий вход блока 9 автоматического управлени  стабилизацией.и подгонкой. При наличии на втором синхронизирующем входе блока 9 сигнала с блока 11 на первом синхронизирующем выходе блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой .по вл етс  управл ющий сигнал, поступающий на второй вход блока 2 .запуска излучател , который включает лазерный излучатель Ц..

Расширенный луч излучател  поступает на вход блока .10 преобразовани  интенсивности, вкотором происходит преобразование интенсивности его излучени  и пространственной конфигурации . Преобразованный .луч поступает на вход блока 12 параллельной многолинзовой фокусировки, который преобразует его в р д сфокусированных микролучей, каждый из которых прожигает , одно отверстие в резистивной пленке, вызыва  изменение ее сопротивлени  на величину и R. Число микролучей равно числу оптически прозрачных  чеек (не показаны), т.е. ц + 1, так как кажда   чейка блока 0.10 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой по вл ютс  сигналы , поступающие на вход блока 10 преобразовани  интенсивности излучени , причем число и величина этих (;игналов пропорциональны 4R. Блок 10 преобразовани  интенсивности излучени  представл ет собой набор из гп  чеек, ослабление излучени  в которых пропорционально приложенному управл ющему воздействию к этим  чейкам. Под действием управл ющих сигналов блока 9 первые п  чеек полностью открываютс  и не преп тствуют прохождению излучени . билизацией и подгонкой во врем  пере10 оптически св зана с одной фокусирующей линзой блека 12. Пространственна  конфигураци  фокальных п тен на резистивной пленке может быть раз личной и позвол ет получить любую конфигурацию подгон емого резистора. Наиболее оптимальным следует считать такое их расположение, при котором ширина подгон емого резистора остает с  посто нной на всем его прот жении Изменение величины сопротивлени  |5ёзистора при прожиганий в нем одного отверсти  при полностью открытой  чейки блока 10 преобразовани  интенсивности излучени  и при установившихс  параметрах технологического процесса известно, что позвол ет, зна  эту величину uR и величину дК, на которую надо подогнать резистор, определить количество таких отверстий , причем последнее отверстие, образованное п+ 1 микролучом, из мен ет сопротивление резистора на величину д-R, т.е. дК л R . да пдК 4 дв.(Т) Излучатель может работать как в импульсном режиме, так и в режиме непрерывного излучени . 8 первом случае подгонка заканчиваетс  после одного импульса, во втором - после выключени  лазера управл ющим сигналом , который приходит с первого синхронизирующего выхода блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой на второй вход блока 2 запуска лазерного излучател . После подгонки происходит процесс сравнени  величины сопротивлени  под гон емого резистора,с эталонным резистором в блоке 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой с учетом ТКС подгон емого резистора Если по каким-либо причинам, обусловленным либо сбоем аппаратуры, либо другими случайными факторами, их значени  не равны, происходит по следующа  подгонка ,в автоматическом режиме. В этом случае с управл ющего выхода блока 9 автоматического упра лени  стабилизацией и подгонкой поступают управл ющие сигналы на вход блока 10 преобразовани  интенсивности излучени , число и величина ко торых пропорциональны разности подгон емого и эталонного резисторов. Далее все происходит как в предыдущ случае при подгонке величины сопротивлени  резистора. Отличие состоит в том, что первые п + 1  чеек блока преобразовани  интенсивности излучени  10, ранее участвовавшие в процессе подгонки, непрозначны дл  излучени  и не принимают участие в подгонке . Процесс повторной подгонки в автоматическом режиме можно осуществл ть дотех по|э, пока имеютс  в на неиспользованные ранее  чейки блока 10. Информацию об окончании подгонки или о необходимости ее продолжени  можно, получить на блоке 2б информации, вход щем в состав блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой. Блок 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой работает следующим образом. В момент начала стабилизации свойств резистивной пленки сигнал с выхода блока 7 автоматического контрол  поступает на его информационный вход и через блок h коммутации на вход блока 19 преобразовани  сигнала. Блок 19 преобразовани  сигнала служит дл  преобразовани  входного сигнала , несущего информацию об абсолютной величине сопротивлени  стабилизируемой резистивной пленки, в вид, удобный дл  запоминани  (это может быть преобразователь типа аналоганалог , код-аналог и т.д.) в зависимости от измерительной схемы блока 7 автоматического контрол  .и блока 13 пам ти. В дальнейшем дл  удобства считаем, что на информационный вход блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой приходит аналоговый сигнал. С выхода блока 19 преобразовани  сигнала входной сигнал через блок 1 коммутации поступает на блок 13 пам ти , где происходит его запись в первую и вторую  чейки (не показаны), расположенные в блоке 13 пам ти. За-, пись происходит неодновременно в две  чейки сразу, а последовательно, сначала в одну, затем в другую, затем , оп ть в первую и т.д. Переключение выхода блока 19 преобразовани  сигнала ко входу первой и второй  чеек осуществл етс  блоком 15 синхронизации , который управл ет работой всего блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой. С выводбв первой и второй  чеек пам ти сигналы поступают на первый и второй входы первого блока 18 вычитани  и периодически (периодичность определ етс  блоком 15 синхронизации) вычитаютс  13 друг из друга. Разность через блок коммутации поступает на второй блок 22 сравнени , где сравниваетс  (с эталонным сигналом. Если разность величин сигналов с первой и второй  чеек превышает по величине эталонный сигнал, то на выходах второго блока 22 сравнени  сигнал отсутству ет. Если разность величин сигналов либо равна, либо меньше по абсолютной величине, чем: величина эталонног сигнала, значит процесс стабилизации завершен и можно переходить к подгонке резистора. В этом случае на выходах второго блока 22 сравнени  по вл ютс  сигналы, которые поступают на вход блока 15 синхрониза ции и через первый и второй синхронизирующие выходы блока 9 автоматического управлени  стабилизацией и подгонкой поступают на второй вхо блока 2 запуска лазерного излучател и выключают его, также поступают на вход блока 11 прецизионного перемещени , включа  его. Процесс стабили зации свойств резистивной пленки: завершен. 8 основу определени  момента кон ца стабилизации свойств резистивной пленки положено то, что сопротивление стабилизированной пленки посто  но, примерно равно сопротивлению массивного материала и не измен етс во времени под действием.лазерного луча. Информаци , хран ща с  в первой и второй  чейках, о величине сопротивлени  стабилизируемого резистора , измен етс  только под действием входного сигнала и не измен етс  ни в процессе хранени , ни в процессе считывани  ее первым блоком 18 вычитани . После определени  момента конца стабилизации перва  и втора   чейки обнул ютс . Далее в блоке 9 автоматического управлени  стабилиза циеи и подгонкой осуществл етс  вычисление ТКС и определение приращени  сопротивлени , им вызванного. Поскольку после стабилизации парамет ров и в момент подгонки температура резистора высока , отсутствие учета ТКС приводит к дополнительной погрешности . В основу вычислени  ТКС положено свойство его посто нства в широком диапазоне температур.Это позвол ет, зна  относительное изменение сопротивлени  резистивной пленки и диапа зон температур, в котором произошло это изменение, определить по ГКС данного резистора. Сигнал, несущий информацию о температуре резистивного сло  в момент конца стабилизации, с выхода блока 16 измерени  температуры через блок 1 коммутации поступает на первый вход второго блока 20 вычитани . Блок 16 измерени  температуры (например, оптический пирометр) должен быть выполнен на основе безконтактного метода измерени  температуры , иметь малую инерционность и линейность передаточной характеристики . На второй вход второго блока 20 вычитани  подаетс  опорное напр жение UQ , величина которого пропорциональна величине температурного интервала it, на котором осуществл етс  вычисление ТКС, т.е. Uon f(At). Эта величина определ етс  изменением выходного напр жени  блока 16 измерени  температуры при изменении температуры измер емого объекта (резистора ) на и температурным интервалом , необходимым дл  вычислени  ТКС, R, -R, AR, j4 температура подгон емого резистора в момент окончани  стабилизации; температурный интервал, необходимый дл  вычислени  d.; uRi.Ri. -Rj изменение величины сопротивлени  подгон емого резистора при изменении его Температуры на величину At. Поскольку передаточна  характеристика блока измерени  температуры линейна, то величина опорного напр жени  UQ,, пропорциональна  изменению температуры на At, известна, Поэтому напр жение на выходе второго блока 20 вычитани  при температуре подгон емого резистора t пропорционально темппратуре 1 t напр жение поступает в блок 13 пам ти , запоминаетс  в нем в третьей  чейке пам ти (не показан) и подаетс  с выхода блока 13 на второй вход nef3Boro блока 17 сравнени . На первый вход блока 17 через блок 1 коммутации поступает напр жение с блока 16 измерени  температуры, 8 момент равенства этих величин на выходе первого блока 17 сравнени  по вл етс  сигнал, поступающий на вход блока 15 синхронизации. Одновременно с определением температурного отрезка 4t происходит определение дR.

Сигнал, несущий информацию об абсолютной величине сопротивлени  подгон емого резистора в момент конца стабилизации его свойств, через блок 1k коммутации поступает на вход блока 13 пам ти и запоминаетс  в нем в  чейке пам ти, В момент наступлени  температуры tr подгон емоho резистора на блок Т коммутации приходит управл ющий сигнал с блока 15 синхронизации и происходит запоминание абсолютной величины сопротивлени  подгон емого резистора в блоке 13 пам ти, во второй  чейке пам ти. Сигналы, несущие информацию об абсолютной величине сопротивлени  подгон емого резистора, с выхода бло . ка 13 пам ти поступают на первый и второй входы первого блока 18 вычита ни . Напр жение на выходе первого блока 18 вычитани  пропорционально разности величины збсолютных значений подгон емого сопротивлени  при температуре t и и равно л t. Этот сигнал через блок k коммутации .поступает на блок 21 определени  ТКС, который осуществл ет определение ТКС подгон емого резистора, С выхода блока 21 сигнал, величина которого пропорциональна ТКС подгон емого резистора, поступает на вход блока 13 пам ти и запоминаетс  там. ТКС подгон емого резистора определен , С выхода блока 13 пам ти через блок 1 коммутации сигнал, сохран  сь в блоке 18 пам ти, поступает на .вход блока 25 усилени  с управл емым коэффициентом передачи. На его второй вход через блок 1 коммутации поступает сигнал с блока 16 из мерени  температуры, величина которо го пропорциональна температуре подгон емого резистора 33. Блок 25 усилени  с управл емым коэффициентом передачи построен на основе усилител  с управл емым коэффициентом передачи и его коэффициент усилени  линейно зависит от величины сигнала блока 16 измерени  температуры , С выхода блока 25 усилени  с управл емым коэффициентом передачи сигнал, пропорциональный приращению величины сопротивлени  резистора 33 вызванного ТКС, поступает на первый вход третьего блока 23 вычитани . После определени  приращени , вызванного ТКС, происходит определение величины uR, на которую необходимо подогнать резистор 33. Сигнал, несущий информацию об абсолютной величине сопротивлени  подгон емого стабилизированного резистора 33 через блок коммутации поступает на второй вход третьего блока 23 вычитани . На его выходе по вл етс  си1- нал, величина которого пропорциональна разности абсолютного значени  сопротивлени  подгон емого резистора 33 и приращени  сопротивлени , вызванного ТКС, Это и есть сопротивление подгон емого резистора 33 при нормальной температуре,

Claims (1)

1. За вка Японии Н 52-27826, кл. Н 01 С , опублик. 22.07.77. 2, Свиридов А,П. и др. Технологическа  лазерна  установка с программным управлением. - Приборы и техника эксперимента. 197, № 2, с. 2бО2б1 (прототип).

/

11

/ V

п

Фиг.1 NeKHmteatfMw вк ftfl sttHUfi