SU950798A1 - Способ получени провод щих прозрачных покрытий из оксида инди - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ОКСИДА ИНДИЯ

1

Изобретение относитс  к нанесению покрытий , в частности к катодному распылению электропровод щих покрытий, и может быть использовано дл  получени  прозрачных электродов и обогревательных элементов .

Известен способ получени  электропровод щих прозрачных покрытий из оксидов металлов с пор дковым номером от 48 до 51 на подложке из стекла путем катодного распылени  в атмосфере аргона, кислорода и водорода 1 .

Однако получить этим способом низкоомные покрыти  с высоким светопропусканием невозможно.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  способ получени  провод щих прозрачных покрытий из оксида инди , включающий катодное распыление материала покрыти  и осаждение на подложку в атмосфере, содержащей инертный газ, кислород и водород 2.

Однако полученные по данному способу покрыти  имеют низкое качество.

Цель изобретени  - повыщение качества покрытий.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в способе получени  провод щих прозрачных покрытий из оксида инди , включающем катодное распыление материала покрыти  и осаждение на подложку в атмосфере, содержащей инертный газ, кислород и водород , распыление провод т при следующем соотнощении газов об. %:

Инертный газ75-77

Кислород6-7

Водород.17-18,

10

причем в качестве подложки используют цолимерный материал.

Осаждение прозрачного электропровод щего покрыти  из оксида инди  провод т путем распылени  металлического инди  ме15 тодом катодного реактивного распылени  при соотнощении реактивных и инертных газов в распылительной камере: 75-77 ч. инертного газа, 6-7 ч. кислорода и 17-18 ч. водорода с охлаждением подложки от -100 2Q до +20°С. При этом в качестве подложки используют также полимерный материал, что намного расщир ет возможности применени  этих покрытий (например, фото- и кинотехника , системы записи и воспроизведени  информации). Пример 1. Осаждение пленки оксида инди  производ т на подложке из стекла в атмосфере аргона, кислорода и водорода (соотношение газов в распылительной камере приведено в таблице) распылением индиевого катода. Врем  осаждени  60 мин, рассто ние катод-анод 50 мм, напр жение между катодом и анодом 3 кВ, плотность тока 1 мА/см2, температура анода 10-20°С, температура подложки 10-20°С. Основные параметры, характеризующие полученные покрыти  в сравнении с известным способом приведены в таблице. Пример 2. Услови  напылени  идентичны услови м примера 1, но в качестве подложки используют лавсановую пленку. Врем  осаждени  30 мин, температура подложки 50°С.«. в результате получают высококачественные провод щие прозрачные покрыти  из оксида инди  не только на подложке из стекла , но и на полимерной подложке из лавсановой пленки. Покрыти  на подложке из стекла отличаютс  в 2-5 раз более высокой электропроводностью при светопропускании на 2-8% выше, чем покрыти , полученные известным способом. Причем в отличие от свойств покрытий, полученных известными способами, покрыти , полученные предложенным способом, обладают одновременно и высокой проводимостью и повышенным светопропусканием, что особенно важно дл покрытий на полимерной подложке, весьма перспективных в фото- и кинотехнике, а также в системах записи и хранени  информации .

Claims (2)

1. Формула изобретения 40

   1. Способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия, включающий катодное распыление материала покрытия и осаждение на подложку в отмосфере, со- ₄₅ держащей инертный газ, кислород и водород, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, распыление проводят при следующем соотношении газов, об. %: .

   Инертный газ 75—7750

   Кислород6—7

   Водород17—18
2. 2. Способ по π. 1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют полимерный материал.