Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Кубанский государственный университетfiledCriticalКубанский государственный университет
Priority to SU2988002/26ApriorityCriticalpatent/SU938642A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU938642A1publicationCriticalpatent/SU938642A1/ru
Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed
(AREA)
Abstract
Устройство для жидкостной эпитаксии полупроводниковых материалов методом сдвига, включающее подвижной контейнер с емкостью для раствора цилиндрической или прямоугольной формы, установленной на подложкодержателе, имеющем ячейку для подложки, отличающееся тем, что, с целью улучшения однородности толщины получаемых слоев, в нижней части емкости выполнен вырез, имеющий в сечении форму сегмента.
SU2988002/26A1980-09-261980-09-26Устройство для жидкостной эпитаксии
SU938642A1
(ru)