Изобретение относитс к газоразр дным приборам, а именно к способу обработ1ш электродов газоразрадных приборов и может .быть использовано при производстве источников высокоинтенсивного света, г&зоразр дных приборов различного назначени . Йзрестен способ термической обработ ки электродов газоразр дных и электровакуумных приборов, заключающийс в том, что, с целью обезгаживани эпек-рродов , их нагревают токами высокой частоты 1 . Высокочастотное нагревание производ т электромагнитным полем индуктора, размешенного вне электровакуумного при бора. С увеличением частоты тока, магнитной проницаемости, удельного электри ческого сопротивлени материала детали и особенно числа ампер-«итков катуйжи уменьшаетс врем , которое необходимо дл разогрева детали до требуемой температуры при обезгаживании. Дл быст рого и эффективного нагрева детали в по ле высокой частоты необходимо, чтобы деталь имела такую форму и положение, при которых она образует замкнутый контур , пересекаемый лини ми магнитного пол . Оптимальна частота токов высокой частоты составл ет 20 - 2О кГи.2. Однако такой способ неприменим дл обработки электродов импульсных газоразр дных приборов, так как в результате медленного нагрева нет имитации рабочего режима. Известен также способ термической обработки электродов импульсных газо разр дных приборов, заключающийс в том, что обрабатываемые электроды помещают в вакуумную камеру, на рабочую поверхность направл ют электронный пучок и ведут обработку в течение времени, необходимого дл активации и обезгаживани . Обезгаживание при помощи электронной или ионной бомбардировки происходит путем превращени кинетической энергии электронов и ионов в теплоту, нагреваю393 тую детали. Теплова энерги выдел етс на участках, которые непосредственно бомбардируютс ионами и электронами. Поэтому температура поверхности и отдельных участков детали, бомбардируемы электронами и ионами, значительно превьпиает среднюю температуру детали (ср н температура детали поддерживаетс ниже температуры начала интенсивного распылени металла). Когда энерги электронов превышает энергию, необходимую дл ионизашш остаточных газов, в объеме прибора образуютс положительные ионы, которые бом бар; ируют и разрушают катод. При обезгаживании электронной бомбардировкой распределение температуры в толще детали практически соответствует реальном распределению, температуры при эксплуатации прибора 2 . Однако такой способ термической обработки электродов газоразр дных и электровакуумных приборов не позвол ет полностью удалить с поверхности электродов газы, окислы и другие соединени которые в процессе эксплуатации взаимо действуют с плазмой разр да и конструк тивными элементами прибора. Кроме этого, на поверхности электродов остаютс неровности, микроскопические посторонние частицы и включени , которые можно устранить только при высоких термических и электрических нагрузках, соответствующих рабочим режимам. Такие дефекты поверхности обуславливают низкое качество элекгродов. Цель изобретени - улучшение качест ва источников света путем устранени загр знений оболочки продуктами распылени катода, устранени возможного . попадани на сборку электродов со скрытыми дефектами структуры и повьииени степени обезгаживани . Указанна цель достигаетс тем, что в способе термической обработки электродов импульсных газоразр дных приборов , заключающемс в том, что обрабатываемые электродь помещают в вакуум ную камеру, на рабочую поверхность направл ют электроншдй пучок и ведут обработку в течение времени, необходимого дд активировки и обезгаживани , электронный пучок модулируют по длительности , а его параметры выбирают из условий Р ЛСР и -fc Т, где р .. мощность электронного пучка в импульсе; t - .длительность импульса электронного пучка; Т - длительность разр дного тока в номинальном режиме работы газоразр дного прибора; сР среднее за импульс значение силы разр дного тока в номинальном режиме; Оа - катодное падение потенциала. При термической обработке электродов модулированным по длительности электроным пучком на рабочую поверхность элек- троаа поцаютс кратковременные импульсы болыиой мощности, которые создают на поверхности электрода услови , близкие к реальным, возникающим при эксплуатации . При этом наблюдаетс выравнивание микровыступов и микротрещин, микроскопические посторонние частицы и включени удал ютс с поверхности. Вследствие того, что импульсы подаютс кратковременные , сам электрод нагреваетс до менее низкой температуры, чем его рабоча поверхность. Такие услови термической обработки, наиболее соответствуют термическому режиму электрода в готовом газоразр дном приборе. Обработка ведетс в вакууме, чем достигаетс высока степень обезгаживани . Электроды обрабатываютс до сборки прибора. Обработка ведетс в специальной вакуумной камере при непрерьшной откачке. Этим исключаетс запыление оптических элементов прибора продуктами распылени . Длительность импульса электронного пучка выбираетс приблизительно равной длительности разр дного тока в номинальном режиме работы газоразр дного прибора. Пример. Обрабатывают партию электродов лампы ИФП-600. Электроды помещают в специальную вакуумную камеру , которую откачивают до давлени рт. ст. и поддерживают указанный вакуум в течение всего времени обработки . На поверхность электродов направл ют модулированный по длительностк электронный пучок (использовалс импульсный режим работы электронной пушки ). Ток пучка 200 мА, энерги электронов 2О кэВ (мошность в импулгле 4кВт), частота посылок 20 Гц, длительность импульса 1 мс, врем обработки 5 мин (средн температура электродов 1700 К). Дл сравнени электроды контрольной партии обрабатывают электронным лучом в стационарном режиме. Ток пучка 20 мА, энерги электронов 2ОкэВ, врем обработки 5 мни (средн температура электрода 1700 К).
После обработки электродный узел поступает на сборку лампы. Провод т исследовани вли ни импульсного нагрева на световые параметры источников.
Результаты измерений, относительного изменени освечивани (усредненного по трем лампам дл каждого режима обработки ) при наработке приведены в таблице .
Проведенные эксперименты показывают что при импульсной термической обработ ке скорость спада освечивани в процессе наработки на начальной стадии уменьшает с , уменьшаетс также количество налета распыленйого материала электродов на оболочке памп. Это приводит к увеличе- нию полезного срока службы источников. Кроме того, в процессе импульсной обра- .ботки электронным пучком поверхность
электрода испытывает значительные импульсные нагрузки, близкие : к реальным. Это позвол ет в проиессе термической обработки обнаружить дефекты структуры электродных материалов до их установки в изделие, а тем самым исключить брак готовых изделий вследствие дефектов поверхности электродов газоразр дных приборов .
Использование предлагаемого способа термической обработки электродов импульных газоразр дных приборов, по сравнению с известными способами, позвол ет увеличить полезный срок службы приборов и осуществл ть визуальный контроль электродов до их установки в изделие, что значительно пстышает качество выпускаемых газоразр дных приборов.