SU934215A1

SU934215A1 - Device for interferometric measuring of deformations of objects

Info

Publication number: SU934215A1
Application number: SU802968718A
Authority: SU
Inventors: Игорь Валентинович Волков; Игорь Семенович Клименко
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4903; Московский Физико-Технический Институт
Priority date: 1980-07-28
Filing date: 1980-07-28
Publication date: 1982-06-07

Description

II

Изобретение относитс к оптическим , средствам измерени деформаций объектов и может быть использовано дл интерференционного контрол деформаций объектов с произвольной структурной поверхности.The invention relates to optical, means for measuring the deformations of objects and can be used for the interference control of the deformations of objects with an arbitrary structural surface.

Известно устройство дл интерферометрического измерени деформаций объектов, содержаи1ее расположенные вдоль оптической оси источник когерентного света, коллиматор, линзу и непрозрачный экран с фильтрующим отверстием, размеренный в фокальной плоскости линзы .A device is known for interferometric measurement of the deformations of objects, containing a coherent light source located along the optical axis, a collimator, a lens and an opaque screen with a filter hole, measured in the focal plane of the lens.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту вл етс устройство дл интерферометрического измерени де-формаций объектов, содержащее расположенные вдоль оптической оси источник когерентного света, коллиматор,, линзу и непрозрачный экран с фильтрующим отверстием, размещенный в фокальной плоскости ;..The closest to the proposed technical essence and the achieved effect is a device for interferometric measurement of the deformations of objects, which contains a coherent light source located along the optical axis, a collimator, a lens and an opaque screen with a filter hole, located in the focal plane;

Недостатком этих устройств вл етс невозможность выделени компонент деформации и смещени объекта, Кроме того, при анализе полученных интерферограмм не удаетс установить наличие, характер, величину, и направление деформации.The disadvantage of these devices is the impossibility of isolating the components of the deformation and displacement of the object. Moreover, when analyzing the obtained interferograms, it is impossible to establish the presence, nature, magnitude, and direction of the deformation.

Цель изобретени - повышение точности и чувствительности измерени деформации объекта.The purpose of the invention is to improve the accuracy and sensitivity of measuring the deformation of an object.

10ten

Указанна цель достигаетс тем, что устройство снабжено прозрачным экраном с маской, размеи енным в фокальной плоскости линзы, а непрозрачный экран, с фильтрующим отверстием This goal is achieved by the fact that the device is equipped with a transparent screen with a mask, spaced in the focal plane of the lens, and an opaque screen with a filtering hole

ts размещен на рассто нии от фокальной плоскости линзы, превышающем двойное фокусное рассто ние.The ts is located at a distance from the focal plane of the lens that exceeds the double focal length.

На чертеже представлена схема устройства.The drawing shows a diagram of the device.

2020

Устройство содержит расположенные последовательно вдоль оптической оси источник 1 когерентного света Слазер), коллиматор 2, спекл-голог ..X3 93The device contains coherent light source 1, located in series along the optical axis, Slazer), collimator 2, speckle-golog ..X3 93

рамму 3, линзу i, производ щую фу- ; рьепреобрайование, прозрачный экран 5 с маской в фокальной точке, перекрыв ащей нулевой 1 1ор док, подвижный непрозрачный экран 6 с фильтрую14им отверстием 7, размещенный на рассто нии от фокгтьной плоскости, превьоиащей двойное фокусное, и фотоаппарат 8, регистрирующий интерферограмму .frame 3, lens i, producing f-; Reconfiguration, a transparent screen 5 with a mask at the focal point, overlapping the zero zero, a movable opaque screen 6 with a filtering hole 7, located at a distance from the focus plane, which doubles the focal, and the camera 8, recording the interferogram.

Устройство работает следующим образом. .The device works as follows. .

Монохроматический.когерентный свет от Лазера 1 расшир етс коллиматором 2. Плоска светова волна, выход ща из коллиматора 2, падает йа спекл-голограмму 3 исследуемого объекта, полученную методом двойной экспозиции: перва экспозици в исходном состо нии объекта, втора после его деформации. Рассе нное спекл-голограммой 3 световое поле проходит через линзу l и подвергаетс фурье-преобразованию. Экран 5 с маской в фокальной плоскости подавл ет недифрагированный пучок. Пропущенное отверстием 7 дкрана 6 излучение в виде интерферограммы, характеризующее деформацию, наблюдаетс и регистрируетс фотоаппаратом 8 Перемещение непрозрачного экрана 6 с отверстиемThe monochromatic coherent light from Laser 1 is expanded by a collimator 2. A plane light wave emerging from the collimator 2 drops by a speckle hologram 3 of the object under study obtained by the double exposure method: the first exposure in the initial state of the object, the second after its deformation. The diffuse speckle hologram 3 light field passes through the lens l and undergoes a Fourier transform. Screen 5 with a mask in the focal plane suppresses the non-diffracted beam. The interferogram radiation transmitted by the hole 7 of the screen 6, characterizing the deformation, is observed and recorded by the camera 8. Moving the opaque screen 6 with the hole

5454

7 измен ет чувствительность измерени деформации объектов.7 changes the sensitivity of measuring the deformation of objects.

Таким образом, предлагаемое устройство позвол ет измерить величину и направление деформации объекта, повысить точность .и чувствительност ее измерени .Thus, the proposed device makes it possible to measure the magnitude and direction of the deformation of the object, to increase the accuracy and sensitivity of its measurement.

Claims

1. US patent fP 3639039, cl. 390-162, 1972.

2, Oranson M, Optics speckles, M., Mir, 1930, S.Eb (prototype).