SU920622A1 - Способ получени позитивных изображений - Google Patents

Способ получени позитивных изображений Download PDF

Info

Publication number
SU920622A1
SU920622A1 SU802957098A SU2957098A SU920622A1 SU 920622 A1 SU920622 A1 SU 920622A1 SU 802957098 A SU802957098 A SU 802957098A SU 2957098 A SU2957098 A SU 2957098A SU 920622 A1 SU920622 A1 SU 920622A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
solution
cobalt
nickel
photosensitive layer
obtaining
Prior art date
Application number
SU802957098A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Антонович Рагойша
Геннадий Алексеевич Браницкий
Валерий Георгиевич Соколов
Любовь Михайловна Повзун
Original Assignee
Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета им.В.И.Ленина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета им.В.И.Ленина filed Critical Научно-исследовательский институт физико-химических проблем Белорусского государственного университета им.В.И.Ленина
Priority to SU802957098A priority Critical patent/SU920622A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU920622A1 publication Critical patent/SU920622A1/ru

Links

Landscapes

  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Description

Изобретение относится к фотографии и может быть использовано при получении позитивных изображений, в частности, в фотолитографии.
Известен способ получения позитивного изображения с использованием материала на основе галогепида серебра. Способ заключается в изготовлении, экспонировании и обработке материала для получения устойчивого изображения Ϊ1).
Недостатки известного способа состоят в том, что при изготовлении материала используется благородный металл, а изображение, получаемое на таком материале, имеет невысокие резольвометрические параметры.
Известен способ получения позитивных изображений, включающий изготовление бессеребряного светочувствительного слоя, экспонирование, активирование экспонированного слоя в растворе,содержащем соль палладия, и проявление в растворе бессеребряного физического проявителя С2}.
К недостаткам этого способа относится низкая светочувствительность и сложность операций изготовления материала.
Целью изобретения является упрощение процесса получения светочувствительного слоя и повышение светочувствительности при использовании несеребряных никелевых и кобальтовых физических проявлений.
Поставленная цель достигается тем, что светочувствительный слой формируют на подложке путем ее обработки спиртовым раствором, содержащим полибутилтитанат и дигидрат двухлористого олова при весовом отношении полибутилтитаната к ди гидрату двухлористого олова 50 - 500:1.
Реализация способа при получении позитивных изобрежений из неблагородных металлов (никеля и кобальта) осу920622 ществляется путем выполнения следующих операций.
На подложке (стекло, полимерный материал) путем обработки ее спиртовым раствором, содержащим полибутил- 5 тинат и дигидрат двухлористого олова в весовом соотношении 50-500: 1 получают светочувствительный слой. Полученный слой экспонируют с помощью источника УФ~света, например, лампы ю типа ПРК-7, удаленной на расстояние 50 см от плоскости экспонирования в течение 1-5 с. Экспонированный материал, как и в известных способах, обрабатывают в растворе соли палладия ,5 в течение 30-60 с, промывают водой и проявляют в течение 3“5 мин в растворе никелевого или кобальтового физического проявителя.
Поскольку использующиеся при полу-'20 чении светочувствительного слоя по предлагаемому способу растворы хорошо смачивают поверхность стекла и полимерных материалов при осуществлении способа не требуется предваритель^ ная гидрофилизация подложки, а весь процесс получения -светочувствительного материала осуществляется в одну операцию обработки подложки раствором указанного выше состава. Кроме того, исключается (по сравнению с известным) операция растворения светочувствительного слоя после экспонирования. Возможность сокращения большого числа операций в предлагаемом способе обеспечивается тем, что светочувствительный слой, получаемый в результате обработки подложки раствором, содержащим полибутилтитанат и дигидрат двухлористого олова, выполняет одновременно и функцию адгезива для металлического изображения. Используемый в предлагаемом способе получения позитивных изображений светочувствительный материал обладает более высокой светочувствительностью, чем известный позитивный фотографический материал, что позволяет при использовании аналогичных источников света для экспонирования материала уменьшить на порядок время экспонирования.
Пример 1. На стеклянную подложку наносят раствор в третичном бутиловом спирте, содержащий, вес.?:
Полибутилтитанат 5 (вес.отно-55 Ди гидрат двухло- шение комристого олова 0,01 понентов 500:1)
Избыток раствора удаляют вращением подложки на центрифуге. Материал экспонируют через фотошаблон, изготовленный на кварце, в течение 1 с с помощью ртутно-кварцевой лампы ПРК-7, удаленной от плоскости экспонирования на 50 см, обрабатывают в течение 30 с в растворе следующего состава, г/л:
Хлористый палладий 0,2
Аммиак 2,5
NaOH 15
Поверхностно-активное
вещество (ОП-7) 0,1
промывают в течение 1 мин водой и
проявляют в течение з- 5 мин . в раст-
воре никелевого или кобальтового
проявителей следующих составов,г/л:
Раствор 1
Раствор 1
Никель хлористый30
Пирофосфат натрия50
Аммиак12
NaOH до pH10,5
Боргидрид натрия0,5
Раствор 2
Кобальт хлористый.20
Аммоний лимоннокислый50
Аммиак5
NaOH до pH9,5
Боргидрид натрия0,5
Получают позитивные безвуальные никелевые или кобальтовые изображения с = 3 и Дмолс = 2 соответственно.
Пример 2. Материал получают, как в примере 1, однако концентрация дигидрида двухлористого олова в растворе 0,1? (вес.соотношение компонентов 50:1),После экспонирования в течение 5 с в тех же условиях, как и в примере 1, и последующей обработки материала, как в примере 2, получают безвуальное никелевое или кобальтовое позитивное изображение с Д^к<_3 и Дмакс , соответственно.
Приведенные примеры иллюстрируют способ получения позитивных изображений. Применение данного способа на основе бессеребряного светочувствительного материала дает большой экономический эффект за счет уменьшения расхода дефицитных материалов и повышения качества позитивных изображений, что позволяет применить данное техническое решение в радиоэлектронной промышленности при производстве фотошаблонов и фотокопий.

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к фотографии и может быть использовано при получении позитивных изображений, в частности, в фотолитографии. Известен способ получени  позити ного изображени  с использованием . материала на основе галогепида серебра . Способ Заключаетс  в изгото лении, экспонировании и обработке материала дл  получени  устойчивого изображени  С13. Недостатки известного способа состо т в том, что при изготовлении материала используетс  благородный металл, а изображение, получаемое на таком материале, имеет невысокие резольвометрические параметры. Известен способ получени  позити ных изображений, включающий изготов ление бессеребр ного светочувствительного сло , экспонирование, акти вирование экспонированного сло  в растворе,содержащем соль паллади , и Про вление в растворе бессеребр ного физического про вител  21. К недостаткам этого способа относитс  низка  светочувствительность и сложность операций изготовлени  материала . Целью изобретени   вл етс  упрощение процесса получени  светочувствительного сло  и повышение светочувствительности при использовании несеребр ных никелевых и кобальтовых физических про влений. Поставленна  цель достигаетс  тем, что светочувствительный слой формируют на подложке путем ее обработки спиртовым раствором, содержащим полибутилтитанат и дигидрат двухлористого олова при весовом отношении полибутилтитаната к дигидрату двухлористого олова 50 - 500:1. Реализаци  способа при получении позитивных изобрежений из неблагородных металлов (никел  и кобальта) осуществл етс  путем выполнени  следующих операций. На подложке (стекло, полимерный материал) путем обработки ее спиртовым раствором, содержащим полибутилтинат и дигидрат двухлористого олова а весовом соотношении 50 500:1 полумают светочувствительный слой. Полученный слой экспонируют с помощью источника УФ-света, например, лампы типа ПРК-7, удаленной на рассто ние 50 см от плоскости экспонировани  в течение 1-5 с. Экспонированный материал , как и в известных способах, об рабатывают в растворе соли паллади  в течение 30-60 с, промывают водой и про вл :ют в течение мин в растворе никелевого или кобальтового -физического про вител . Поскольку использующиес  при получении светочувствительного сло  по предлагаемому способу растворы хорошо смачивают поверхность стекла и по лимерных материалов при осуществлении способа не требуетс  предварител на  гидрофилизаци  подложки, а весь процесс получени  -светочувствительного материала осуществл етс  в одну операцию обработки подложки растворо указанного выше состава. Кроме того, исключаетс  (по сравнению с известным ) операци  растворени  светочувст вительного сло  после экспонировани  Возможность сокращени  большого числ операций в предлагаемом способе обес печиваетс  тем, что светочувствитель ный слой, получаемый в результате обработки подложки раствором, содерж щим полибутилтитанат и дигидрат двухлористого олова, выполн ет одновременно и функцию адгезива дл  металлического изображени . Используемый в предлагаемом способе получени  позитивных изображений светочувствител ный материал обладает более высокой светочувствительностью, чем известный позитивный фотографический материал , что позвол ет при использовании аналогичных источников света дл  экспонировани  материала уменьшить н пор док врем  экспонировани . Пример 1. На стекл нную подложку нанос т раствор в третичном бутиловом спирте, содержащий, вес. Полибутилтитанат 5(вес.отно Дигидрат двухло-шение ко ристого олова0,01 понентов 500:1) збыток раствора удал ют вращением одложки на центрифуге. Материал экспонируют через фотошаблон, изготовенный на кварце, в течение 1 с с помощью ртутно-кварцевой лампы ПРК-7, удаленной от плоскости экспонировани  на 50 см, .обрабатывают в течение 30 с в растворе следующего состава , г/л; Хлористый палладий 0,2 Аммиак. 2,5 NaOH15 Поверхноетно-активное вещество (ОП-7)0,1 промывают в течение 1 мин водой и про вл ют в течение мин в растворе никелевого или кобальтового про вителей следующих ссстзЕ08,г/л: Раствор 1 Никель хлористый ;0 Пирофосфат натри  50 Аммиак12 NaOH до рН10,5 Боргидрид натри  0,5 Раствор 2 Кобальт хлористый. 20 Аммоний лимоннокислый50 Аммиак5 NaOH до рН 9,5 Боргидрид натри  0,5 Получают позитивные безвуальные никелевые или кобальтовые изображени  с Лу 3 и Дмакс 2 соответственно . Пример 2. Материал получают , как в примере 1, однако концентраци  дигидрида двухлористого олова в растворе 0,1 (вес.соотношение компонентов 50:1),После экспонировани  в течение 5 с в тех же услови х, как и в примере 1, и последующей обработки материала, как в примере 2, получают безвуальное никелевое или кобальтовое позитивное изображение с f( и 2, соответственно . Приведенные примеры иллюстрируют способ получени  позитивных изображений . Применение данного способа на основе бессеребр ного светочувствительного материала дает большой экономический эффект за счет уменьшени  расхода дефицитных материалов и повышени  качества позитивных изображений , что позвол ет применить данное техническое решение в радиоэлектронной промышленности при производстве фотошаблонов и фотокопий о 59206 Формула изобретени  Способ получени  позитивных изображений , включающий изготовление бессеребр ного светочувствительного $ сло , экспонирование, активирование экспонированного сло  в растворе, содержащем соль паллади  и про вление в растворе бессеребр ного физического про вител , о т л и ч а ю щ и й-10 с   тем, что, с целью упрощени  процесса получени  светочувствительного материала и повышени  его светочувствительности при использоваНИИ никелевых и кобальтовых физи- 15 226 ческих про вителей, светочувствительный слой формируют на подложке путем ее обработки-спиртовым раствором, содержащим полибутилтитанат и диги/урат двухлористого олова при весовом отношении полибутилтитаната к дигидрату двухлористого олова 50 500:1. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Джеймс Т.Х. Теори  фотографического процесса. Л., Хими , 1980, с. iSt и 581.
  2. 2. Патент СШУ; № , кл. , опублик. 1976 (прототип).
SU802957098A 1980-07-18 1980-07-18 Способ получени позитивных изображений SU920622A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802957098A SU920622A1 (ru) 1980-07-18 1980-07-18 Способ получени позитивных изображений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802957098A SU920622A1 (ru) 1980-07-18 1980-07-18 Способ получени позитивных изображений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU920622A1 true SU920622A1 (ru) 1982-04-15

Family

ID=20908523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802957098A SU920622A1 (ru) 1980-07-18 1980-07-18 Способ получени позитивных изображений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU920622A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB439005A (en) Improved methods of obtaining photographic contrasts by means of diazonium compounds and sensitive layers for use therein
US3567447A (en) Process for making masks photographically
US2596754A (en) Photomechanical copy method
GB1287031A (en) Improvements in or relating to the formation of masks on substrates
SU920622A1 (ru) Способ получени позитивных изображений
JPS5744153A (en) Manufacture of negative planographic process plate
JPS6113576B2 (ru)
US2650878A (en) Method of producing etched printing plates
US3647450A (en) ELECTROLESS DEPOSITION OF Ni OR Co LIGHT-GENERATED Ag NUCLEI
US2650877A (en) Process of producing etched printing plates
US3666648A (en) In-situ reclamation of master patterns for printing microcircuit images on reversely sensitized material
US4327172A (en) Photographic image definition improvement
US915666A (en) Process for producing printing-surfaces.
JPS62141502A (ja) 液晶表示体用カラ−フイルタの製造法
US2663641A (en) Production of reversal images
US4024030A (en) Radiation sensitive elements and photographic processes using the same
US3567446A (en) Photographic etch-bleach baths
FR2637428A1 (fr) Electrode interdigitee pour dispositif a ondes de surface et procede pour sa production
US3236641A (en) Process for the production of photographic positives
US3156562A (en) Reproduction of photographic images on ceramic surfaces
US1508089A (en) Preparation of plates for printing by greasy ink
US3061433A (en) Process and solution for bleaching photographic images
SU1282061A1 (ru) Способ изготовлени светочувствительного полимерного материала
US3446621A (en) Positive imaging photographic process
SU879682A1 (ru) Способ получени изображени