SU911142A1 - Интерференционное устройство дл измерени перемещений - Google Patents

Интерференционное устройство дл измерени перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU911142A1
SU911142A1 SU802870981A SU2870981A SU911142A1 SU 911142 A1 SU911142 A1 SU 911142A1 SU 802870981 A SU802870981 A SU 802870981A SU 2870981 A SU2870981 A SU 2870981A SU 911142 A1 SU911142 A1 SU 911142A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
reflector
base
measuring
photodetector
compensation
Prior art date
Application number
SU802870981A
Other languages
English (en)
Inventor
Серафим Дмитриевич Рыжков
Валерий Иванович Гуляев
Леонид Александрович Чуча
Лев Николаевич Лободанов
Original Assignee
Центральная Ордена Трудового Красного Знамени Генетическая Лаборатория Им.И.В.Мичурина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Центральная Ордена Трудового Красного Знамени Генетическая Лаборатория Им.И.В.Мичурина filed Critical Центральная Ордена Трудового Красного Знамени Генетическая Лаборатория Им.И.В.Мичурина
Priority to SU802870981A priority Critical patent/SU911142A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU911142A1 publication Critical patent/SU911142A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(ЗЮ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
1
Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике ипредназначено дл  измерени  величины малых перемещений, которое может быть использовано при проведении научных исследований, например при изучении реакции биологических объектов На воздействие различных физико-химических раздражителей.
Известно устройство дл  измерени  перемещений, построенное по схеме интерферометра Майкельсона, и содержащее источник монохроматическогЬ излучени , светоделитель, два отражател  в виде плоских зеркал, один из которых скрепл етс  с измер емым объектом , а второй установлен неподвижно , и фотоэлектрический блок регистрации интерференционной картины ц1 J.
Недостатком известного.устройства  вл етс  низка  точность измерений, обусловленна  его высокой чувствительностью к внешним дестабилизируюПЕРЕМЕЩЕНИЙ
щим факторам: вибрации, температурные градиенты и др.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и решаемой задаче  вл етс  интерференционное устройство дл  измерени  перемещений, содержащее основание, оптически св занные источник монохроматического излучени , светорасщзпитель, первый отражатель, скрепл емый с измер емым
10 объектом, размещаемым на основании, ипервый фотоприемник, образующие измерительный канал, второй отражатель, установленный на основании, и второй фотоприемник, образующие компенса (5 ционный канал, третий отражатель, оптический элемент, электромеханический преобразователь, подключенный к выходу второгофотоприемника, и блок регистрации, св занный с оыходом первого фотоприемника t JНедостатком известного устройства  вл етс  сравнительно ни.чка  точность измерений, обусловленна  тем, что хог
39
т  оно и позвол ет скомпенсировать изменение оптической длины пути лучей в измерительном канале, вызываемое неконтролируемыми поступательными смещени ми оптических элементов устройства и изменением температуры окружающей среды, но не в состо нии компенсировать случайные угловые смещени  оптических элементов устройства и составл ющую температурного гра|диента в направлении, перпендикул р-ном измерительному каналу,
Цель изобретени  - повышение точности измерений.
Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство снабжено платформой и установленным на нем плоским зеркалом , расположенным в ходе лучей от источника под углом к его оптической оси, третий отражатель установлен на основании между первым и вторым отражател ми, а светорасщепитель ориентирован отражающей гранью параллельно плоскому зеркалу и установлен на платформе, выполненной с возможностью поворота вокруг оси, параллельной зеркалу и перпендикул рной оптической оси источника, и скрепленной с электромеханическим преобразователем.
На чертеже показана принципиальна  схема одного из возможных вариантов интерференционного устройства дл  измерени  перемещений.
Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени ,платформу 2 и установленные на ней плоское зеркало 3 и светорасщепитель 4, первый отражатель 5 основание 6 и установленный на нем второй отражатель 7, третий отражатель 8, оптический элемент 9 первый фотоприемник 10 и св занный с его выходом блок 11 регистрации, второй фотоприемник 12 и подключенный к его выходу электромеханический преобразователь 13.
Отражатель 5 скрепл емый с измер емым объектом 1, размещаемым на основании 6, и фотоприемник 10 образуют измерительный канал. Отражатель 7 и фотоприемник 12 образуют рабочий канал. Отражатель8 установлен на основании 6 между отражателем 5 измерительного канала и отражателем 7 рабочего-канала.
Светорасщепитель k выполнен в виде плоскопараллельной пластины.
1U2
на одну из граней которой нанесено отражающее покрытие, и ориентирован параллельно зеркалу 3, расположенному в ходе лучей от источника 1 .Платформа 2 выполнена с возможностью поворота вокруг оси, параллельной зеркалу 3 и перпендикул рной оптической оси источника 1, и скреплена с электромеханическим преобразователем 13. Оптический элемент 9 имеет две отражающие грани, обеспечивающие прохождение лучей в измерительном и компенсационном каналах на фотоприемники 10 и 12 соответственно.
Устройство работает следующим образом.
Зеркало 3 направл ет пучок излучени  источника 1 в светорасщепитель
t, который делит их на три параллельных друг другу пучка. Каждый из пучков падает соответственно на один из отражателей 5i 7 и 8, которые направл ют их обратно в светорасщепитель А. Светорасщепитель объедин ет попарно пучки лучей, поступающие от отражателей 5, 8 и 7, 8 с образованием двух интерференционных картин, а зеркало 3 и оптический элемент 9 направл ют их на фотоприемники 10 и 12 соответственно.
Поступательное смещение отражател  5, обусловленное воздействием измер емого объекта 14,измен ет разность хода интерферирующих пучков в измерительном канале, что вызывает перемещение полос интерференционной картины на чувствительной площадке фотоприемника 10, а следовательно по вление на его выходе электрического сигнала, пропорционального смещению отражател  5. и фиксируемого блоком 11.

Claims (2)

  1. Изменение разности хода интерферирующих пучков в компенсационном канале, обусловленное воздействием дестабилизирующих факторов, вызывает перемещение полос интерференционной картины на чувствительной площадке фотоприемника 12, а следовательно по вление на его выходе электрического сигнала рассогласовани . Сигнал рассогласовани  приводит в действие электромеханический преобразователь 13, который разворачивает 2 с установленными на ней зеркалом 3 и светорасщепителем 4 в положение, обеспечивающее уменьшение сигнала рассогласовани  до нул , компенсиру  тем самым разность хода интерферирующих пучков, вызванную воздействием дестабилизирующих факторов . Поворот платформы 2 измен ет разность хода интерферирующих пучко в измерительном и компенсационном каналах в противог,сложных направлени х на одинаковую величину, в св з с чем неконтролируемые угловые смещени  оптических элементов устройст ва и составл юща  температурного градиента в направлении перпендикул рном измерительному каналу привод щие к равным по величине, но противоположным по направлению изменени м разности хода в измеритель ном и компенсационном каналах, компенсируютс . Поступательные неконтролируемые перемещени  оптических элементов устройства и общие изменени  температуры окружающей среды не вызывают по влени  1 дополнительной разности фаз в измерительном и компенсацион ном каналах, и следовательно, не требуют компенсации. Дл  устранени  вли ни  на точность измерений изменений интенсивности источника 1 излучени  каждый из фотоприемников 10 и 12 целесообразно выполн ть в виде двух парных фотодатчиков, включенных по балансн схеме с установленными перед ними щелевыми диафрагмами, а отражатель 8 выполн ть со ступенькой А/, где Л- длина волны используемого излучени . Дл  повышени  чувствительности и мерений отражатель 5 может быть выполнен по схеме Рентча, уголковый отражатель которой, скрепл емый с контролируемым объектом, св зан с рцчагом, сбалансированным относител но точки его опоры. Снабжение известного устройства плоским зеркалом 3, установленным н платформе 2, скрепленной с электромеханическим преобразователем 13, а также размещение отражател  8 на ос +26 новании 6 между отражател ми 5 и 7 позвол ет повысить точность измерений за счет компенсации вли ни  дестабилизирующих факторов. Формула изобретени  Интерференционное устройство дл  измерени  перемещений, содержащее основание, оптически св занные источник монохроматического излучени  и сееторасщепитель, первый отражатель, скрепл емый с измер емым объектом, размещаемым на основании, и первый фотоприемник, образующие измерительный канал, второй отражатель, установленный на основании, и второй фотоприемник, образующие компенсационный канал, третий отражатель.оптический элемент, электромеханичес .кий преобразователь, подключенный к выходу второго фотоприемника,и блок регистрации, св занный с выходом Первого фотоприемника, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений,оно снабжено платформой и установленным на ней плоским зеркалом, расположенным в ходе лучей от источника под углом к его оптической оси, третий отражатель установлен на основании между первым и вторым отражател ми , а светорасщепитель ориентирован отражающей гранью параллельно плоскому зеркалу и установлен на платформе, выполненной с возможностью поворота вокруг оси, параллельной зеркалу и перпендикул рной оптической оси источника, и скрепленной с электромеханическим преобразователем. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1 . Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов А.С. Применение лазеров в-машиностроении и приборостроении. Л., Машиностроение, 1978, с. 238.
  2. 2. Авторское свидетельство СССР t 679789, кл. G 01 В 11/00, U.02.78 (прототип).
    //
    д
    /
    / ///////////7/77
SU802870981A 1980-01-16 1980-01-16 Интерференционное устройство дл измерени перемещений SU911142A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802870981A SU911142A1 (ru) 1980-01-16 1980-01-16 Интерференционное устройство дл измерени перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802870981A SU911142A1 (ru) 1980-01-16 1980-01-16 Интерференционное устройство дл измерени перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU911142A1 true SU911142A1 (ru) 1982-03-07

Family

ID=20872815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802870981A SU911142A1 (ru) 1980-01-16 1980-01-16 Интерференционное устройство дл измерени перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU911142A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0271188A1 (en) Laser doppler displacement measuring apparatus
CA2007560A1 (en) Linear-and-angular measuring plane mirror interferometer
US3584959A (en) Shaft position encoders
ITMI940475A1 (it) Sonda analogica
RU2253882C1 (ru) Гравиметр
RU155509U1 (ru) Лазерно-интерференционный гидрофон с системой термостабилизации
SU911142A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
US3073168A (en) Accelerometer
US3554653A (en) Autocollimator
US4666296A (en) Velocity interferometer with continuously variable sensitivity
SU1057777A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений (его варианты)
SU1083070A2 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
RU81323U1 (ru) Совмещенный волоконно-оптический датчик давления и температуры
RU2113697C1 (ru) Оптический измеритель давления
JP2517929Y2 (ja) 分離型レ−ザ干渉計
SU712654A1 (ru) Интерферометр
Weichert et al. A straightness measuring interferometer characterised with different wedge prisms
SU1567869A1 (ru) Интерферометр дл измерени перемещений
SU679789A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
SU1054677A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
Ulbers A sensor for dimensional metrology with an interferometer using integrated optics technology
SU756194A1 (ru) Устройство для измерения параметров движения . объекта
RU1774233C (ru) Способ определени линейных перемещений объектов с плоской зеркально-отражающей поверхностью
Zucco et al. Progress on Laser Gauge Interferometer (LIG-A) for high resolution accelerometers
SU1116309A1 (ru) Фотоэлектрический датчик перемещений