SU898244A1 - Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket - Google Patents

Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket Download PDF

Info

Publication number
SU898244A1
SU898244A1 SU802881700A SU2881700A SU898244A1 SU 898244 A1 SU898244 A1 SU 898244A1 SU 802881700 A SU802881700 A SU 802881700A SU 2881700 A SU2881700 A SU 2881700A SU 898244 A1 SU898244 A1 SU 898244A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas
heater
guide track
heat treatment
products
Prior art date
Application number
SU802881700A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Вадим Иванович Иванов
Александр Владимирович Барышев
Мая Филипповна Егорова
Геннадий Константинович Васильев
Анатолий Тихонович Буравцев
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8495
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8495 filed Critical Предприятие П/Я В-8495
Priority to SU802881700A priority Critical patent/SU898244A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU898244A1 publication Critical patent/SU898244A1/en

Links

Description

Изобретение относится к устройствам для термической обработки изделий, в частности к устройствам для термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке и может быть использовано на предприятиях электронной промышленности.The invention relates to devices for heat treatment of products, in particular to devices for heat treatment of flat products of semiconductor production on a gas-dynamic pillow and can be used in enterprises of the electronic industry.

Известна нагревательная печь, содержащая камеру нагрева и газотранспортный лоток, имеющий направляющие дорожки с отверстиями - соплами £ 1 ].Known heating furnace containing a heating chamber and a gas transport tray having guide tracks with holes - nozzles £ 1].

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направляющими дорожками и расположенными в ней соплами. Нагреватель расположен над газотранспортным лотком, направляющая дорожка выполнена в виде петлеобразных секций. Устройство также имеет от ражательную камеру [2].The closest technical solution to the proposed one is a device for heat treatment of products on a gas-dynamic cushion, containing a heater and a gas transport tray with guide tracks and nozzles located in it. The heater is located above the gas transport tray, the guide track is made in the form of loop-shaped sections. The device also has a reflective chamber [2].

Однако в этом устройстве на поворотных участках на направляющей дорожке происходят сколы краев и излом обрабатываемых пластин, а также возникают микротрещины и происходили случаи застревания обрабатываемых пластин, что в каждом случае проводило к браку и сбоям в работе устройства.However, in this device, on the turning sections on the guide track, chipped edges and a fracture of the processed plates occur, as well as microcracks and cases of jamming of the processed plates occurred, which in each case led to marriage and malfunctions of the device.

Целью изобретения является повышение качества обработки и надежности работы устройства.The aim of the invention is to improve the quality of processing and the reliability of the device.

Поставленная цель достигается тем, что, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащем нагреватель, газотранспортный лоток с направляющей дорожкой и расположенными в ней соплами, нагреватель размещен на направляющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций, направляющая дорожка выполнена с пазом для размещения нагревателя.This goal is achieved by the fact that, in the device for heat treatment of products on a gas-dynamic pad containing a heater, a gas transport tray with a guide track and nozzles located in it, the heater is placed on the guide track and made in the form of groups of loop-shaped sections, the guide track is made with a groove for placement of the heater.

.На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.. In FIG. 1 shows a device, a General view; in FIG. 2 is a section AA in FIG. 1.

Устройство для термической обработки плоских изделий на газодинамической подушке состоит из выполненного из нетокопроводящего материала, например керамики, лоток 1, с направляющей дорожкой 2, в которой расположены наклонные отверстия сопла 3, соединяющиеся с газовой камерой 4. Нагреватель 5 выполнен в виде групп петлеобразных секций, например на основе резистивной пленки двуокиси олова и размещен на поверхности направляющей дорожки.2,A device for heat treatment of flat products on a gas-dynamic cushion consists of a non-conductive material, such as ceramic, a tray 1, with a guide track 2, in which there are inclined holes of the nozzle 3 connected to the gas chamber 4. The heater 5 is made in the form of groups of loop-shaped sections, for example, based on a resistive tin dioxide film and is placed on the surface of the guide track. 2,

При использовании толстых пленок для нагревателей (и их видов) в направляющей дорожке 2 выполняют паз 6, форма которого соответствует форме нагревателя, устанавливаемого заподлицо с направляющей дорожкой. Газотранспортный лоток 1 имеет установочные отверстия 7, а над ним расположен но изделие 8. Сверху над группами петлеобразных секций установлены экраны 9, выполненные например из кварца (на фиг. 1 не показаны).When using thick films for heaters (and their types) in the guide track 2, a groove 6 is made, the shape of which corresponds to the shape of the heater installed flush with the guide track. The gas transport tray 1 has mounting holes 7, and the product 8 is located above it. Screens 9, for example made of quartz (not shown), are installed above the groups of loop-shaped sections.

Термообработка изделий 8, например круглых полупроводниковых пластин, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке осуществляется следующим образом. В газовую камеру 4 газотранспортного лотка 1 подают например сжатый воздух, обеспечивающий перемещение на газовой подушке изделия 8, над плоскостью направляющей дорожки 2 в направлении наклона отверстий сопел 3. На клеммы 10 подается напряжение, под воздействием которого нагреватель 5 выделяет тепло. После выхода устройства на режим, на начало направляющей дорожки 2 подают изделие 8, которое перемещается между экраном 9 и плоскостью направляющей дорожки 2. Проходя над каждой груп898244 итой петлеобразных секций нагревателя 5 изделие 8 нагревается до заданной температуры, а на участках, свободных от петлеобразных секций, из5 делие охлаждается, таким образом, производится цикличная термообработка изделий. Число групп петлеобразных секций соответствует числу циклов термообработки.Heat treatment of products 8, for example round semiconductor wafers, in a device for heat treatment of products on a gas-dynamic pillow is as follows. For example, compressed air is supplied to the gas chamber 4 of the gas transport tray 1, which allows the product 8 to move on the gas cushion above the plane of the guide track 2 in the direction of inclination of the nozzle holes 3. Voltage is applied to terminals 10, under the influence of which heater 5 generates heat. After the device enters the mode, an article 8 is fed to the beginning of the guide track 2, which moves between the screen 9 and the plane of the guide track 2. Passing over each group 898244 of the loop-shaped sections of the heater 5, the product 8 is heated to a predetermined temperature, and in areas free of loop-shaped sections , the product is cooled, thus cyclic heat treatment of the products is carried out. The number of groups of loop-shaped sections corresponds to the number of heat treatment cycles.

ю Использование данного устройства обеспечивает повышение качества обработки и повышение надежности работы устройства в виду того, что при обработке не происходит скола краев и изломов деталей и не бывает застревания деталей. Кроме того, конструкция устройства проще и компактнее за счет того, что в нем отпадает не- обходимость в громоздкой водоохлажда20 емой отражательной камере, что обеспечивает возможность работы устройства в помещениях, где вода не подведена, кроме того, отпадает необходимость в соединительных водяных ма25 гистралях.Use of this device provides an increase in the quality of processing and an increase in the reliability of the device, since during processing there is no chipping of edges and fractures of parts and there is no jamming of parts. In addition, the design of the device is simpler and more compact due to the fact that it eliminates the need for a bulky water-cooled reflective chamber, which makes it possible to operate the device in rooms where water is not supplied, in addition, there is no need for connecting water mains.

Claims (2)

Изобретение относитс  к устройствам дл  термической обработки изделий , в частности к устройствам дл  термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке и может быть использовано на предпри ти х электронной промышленности. Известна нагревательна  печь, содержаща  камеру нагрева и газотранспортный лоток, имеющий направл ющие дорожки с отверсти ми - соплами 1 . Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  устройство дл  термической обработки изделий на газодинамической подушке , содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направл ющими дорожками и расположенными в ней соп лами. Нагреватель расположен над газотранспортным лотком, направл юща  дорожка выполнена в виде петлеобразных секций. Устройство также имеет о ражательную камеру 2, Однако в этом устройстве на поворотных участках на направл ющей дороике происход т сколы краев и излом обрабатываемых пластин, а также возникают микротрещины и происходили случаи застревани  обрабатываемых пластин, что в каждом случае проводило к браку и сбо м в работе устройства . Целью изобретени   вл етс  повышение качества обработки и надежности работы устройства. Поставленна  цель достигаетс  тем, что, в устройстве дл  термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащем нагреватель, газотранспортный лоток с направл ющей дорожкой и расположенными в ней соплами , нагреватель размещен на направл ющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций, направл юща  дорожг.а выполнена с пазом дл  размещени  нагревател . 3 . На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Устройство дл  термической обрабо ки плоских изделий на газодинамической подушке состоит из выполненного из нетокопровод щего материала, например керамики, лоток 1, с направл ющей дорожкой 2, в которой располо жены наклонные отверсти  сопла 3, соедин ющиес  с газовой камерой k. Нагреватель 5 выполнен в виде групп петлеобразных секций, например на ос нове резистивной пленки двуокиси оло ва и размещен на поверхности направл ющей дорожки.2, При использовании толстых пленок дл  нагревателей (и их видов) в направл ющей дорожке 2 выполн ют паз 6 форма которого соответствует форме нагревател , устанавливаемого заподл цо с нагправл ющей дорожкой. Газотранспортный лоток 1 имеет установоч ные отверсти  7, а над ним расположе но изделие 8. Сверху над группами пе леобразных секций установлены экраны 9, выполненные например из кварца (на фиг. 1 не показаны). Термообработка изделий 8, например круглых полупроводниковых пластин , в устройстве дл  термической об работки изделий на газодинамической подушке осуществл етс  следующим образом . В газовую камеру k газотранспортного лотка 1 подают например сжа тый воздух, обеспечивающий перемещение на газовой подушке издели  8, Над плоскостью направл ющей дорожки 2 в направлении наклона отверстий со пел 3. На клеммы 10 подаетс  напр жение , под воздействием которого нагреватель 5 выдел ет тепло. После вы хода устройства на режим, на начало направл ющей дорожки 2 подают изделие 8, которое перемещаетс  между экраном 9 и плоскостью направл ющей дорожки 2. Проход  над каждой групk пой петлеобразных секций нагревател  5 изделие 8 нагреваетс  до заданной температуры, а на участках, свободных от петлеобразных секций, изделие охлаждаетс , таким образом, производитс  циклична  термообработка изделий. Число групп петлеобразных секций соответствует числу циклов термообработки. Использование данного устройства обеспечивает повышение качества обработки и повышение надежности работы устройства в виду того, что при обработке не происходит скола краев и изломов деталей и не бывает застревани  деталей. Кроме того, конструкци  устройства проще и компактнее за счет того, что в нем отпадает необходимость в громоздкой водоохлаждаемой отражательной камере, что обеспечивает возможность работы устройства в помещени х, где вода не подведена , кроме того, отпадает необходимость в соединительных вод ных магистрал х . Формула изобретени  1.Устройство дл  термообработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направл ющей дорожкой и расположенными в ней соплами, отличающеес  тем, что, с целью повышени  надежности работы устройства, нагреватель размещен на направл ющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций, 2.Устройство по п. 1, о т л и чающеес  тем, что, направл юща  дорожка выполнена с пазом дл  размещени  нагревател . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент Англии Vf 1058837, кл. F 4 В, 1967. The invention relates to devices for heat treatment of products, in particular to devices for heat treatment of flat products of semiconductor production on a gas-dynamic pad, and can be used in enterprises of the electronics industry. A known heating furnace comprising a heating chamber and a gas transporting tray, having guide tracks with apertures - nozzles 1. The closest technical solution to the present invention is a device for heat treatment of products on a gas-dynamic cushion, comprising a heater and a gas transmission tray with guide tracks and nozzles located therein. The heater is located above the gas transmission tray, the guide track is made in the form of loop-shaped sections. The device also has a protective chamber 2. However, in this device, chipping of edges and fracture of machined plates occur on the turning sections on the guideway, and microcracks occur and there are cases of machined plates stuck, which in each case led to marriage. device operation. The aim of the invention is to improve the quality of processing and reliability of the device. This goal is achieved by the fact that, in a device for heat treatment of products on a gas-dynamic cushion containing a heater, a gas transmission tray with a guide track and nozzles located in it, the heater is placed on a guide track and the track guide is made in the form of loop-shaped sections. and is provided with a groove for accommodating the heater. 3 FIG. 1 shows the device, a general view; in fig. 2 shows section A-A in FIG. 1. A device for thermal processing of flat products on a gas-dynamic cushion consists of a non-conductive material, such as ceramic, tray 1, with a guide track 2 in which there are inclined holes in the nozzle 3, which are connected to the gas chamber k. The heater 5 is made in the form of groups of loop-shaped sections, for example, on the basis of a resistive tin oxide film and placed on the surface of the guide track. 2. When using thick films for heaters (and their types), the groove 6 is formed in the guide track 2 Corresponds to the shape of the heater, which is installed flush with the runner track. The gas transmission tray 1 has installation holes 7, and product 8 is located above it. Above the screens 9, screens made of quartz (for example, not shown in Fig. 1) are installed above the groups of front-shaped sections. Heat treatment of products 8, for example, round semiconductor wafers, in a device for heat treatment of products on a gas-dynamic pad is carried out as follows. For example, compressed air is supplied to the gas chamber k of the gas transportation tray 1, which moves the product 8 gas cushion. Above the plane of the guide track 2 in the direction of inclination of the holes of the pellet 3. Voltage 10 is applied to terminals 10, under which heat 5 is heated . After the device enters the mode, the product 8 is fed to the beginning of the guide track 2, which moves between the screen 9 and the plane of the guide track 2. The passage over each group of loop-shaped sections of the heater 5 the product 8 heats up to a predetermined temperature, and in areas free from the loop-shaped sections, the product is cooled, thus cyclical heat treatment of the products is performed. The number of groups of loop-shaped sections corresponds to the number of heat treatment cycles. The use of this device provides an increase in the quality of processing and an increase in the reliability of operation of the device due to the fact that during processing there is no chipping of the edges and fractures of the parts and there is no jamming of parts. In addition, the design of the device is simpler and more compact due to the fact that it eliminates the need for a bulky water-cooled reflective chamber, which makes it possible for the device to work in rooms where water is not supplied, in addition, there is no need for connecting water lines. Claim 1. A device for heat treatment of products on a gas-dynamic cushion, containing a heater and a gas transmission tray with a guide track and nozzles arranged in it, characterized in that, in order to increase the reliability of the device, the heater is placed on the guide track and is designed as groups loop-shaped sections, 2. The device according to claim 1, is designed so that the guide track is made with a groove for accommodating the heater. Sources of information taken into account in the examination 1. England patent Vf 1058837, cl. F 4 B, 1967. 2.Авторское свидетельство СССР № 401185, кл. С 21 D 9/52, 1972.2. USSR author's certificate number 401185, cl. C 21 D 9/52, 1972. -1-one у4-/1у4- / 1
SU802881700A 1980-02-15 1980-02-15 Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket SU898244A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802881700A SU898244A1 (en) 1980-02-15 1980-02-15 Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802881700A SU898244A1 (en) 1980-02-15 1980-02-15 Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU898244A1 true SU898244A1 (en) 1982-01-15

Family

ID=20877380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802881700A SU898244A1 (en) 1980-02-15 1980-02-15 Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU898244A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5864119A (en) IR conveyor furnace with controlled temperature profile for large area processing multichip modules
EP0306967A3 (en) Apparatus for performing heat treatment on semiconductor wafers
JPS6455821A (en) Rapid cooling type heat treating apparatus
TW357414B (en) Method and apparatus for heat-treating substrates
EP0288915A3 (en) Electric radiant heating element for heating a plate, inelectric radiant heating element for heating a plate, in particular a glass-ceramic plate particular a glass-ceramic plate
KR890015349A (en) Meteorological Growth Equipment
DE69009915T2 (en) Device for synthetic diamond production with curved filaments and substrate cooling device.
US3223499A (en) Method of treating and conveying glass sheets
NO902212L (en) PROCEDURE AND APPARATUS FOR FRENCHING UNLIMITED PIZZA BOWLS.
EP0397315A3 (en) Method and apparatus for heating and cooling semiconductor wafers in semiconductor wafer processing equipment
SU898244A1 (en) Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket
US2417094A (en) Method of heat-treating glass or like materials
TW466579B (en) Method and apparatus for processing substrate
US5897309A (en) Sequential step belt furnace with individual concentric cooling elements
EP0254411A3 (en) Thermal copying apparatus
ES298701A1 (en) Methods of heat treating and gas pressure supporting glass in sheet form
ES8402071A1 (en) Device for the high-temperature heat treatment of articles.
DE3269441D1 (en) Radiant heater for heating cooking or heating plates
US5876198A (en) Sequential step belt furnace with individual concentric heating elements
SU401185A1 (en) DEVICE FOR THERMAL PROCESSING OF PRODUCTS ON A GAS DYNAMIC PAD
KR880004105A (en) Heat treatment apparatus for quenching workpieces using die
CA2210130C (en) Device for treating planar elements with a plasma jet
KR100776370B1 (en) Burning apparatus
US3682610A (en) Gas hearth with particular gas-supply channels
JPH05287367A (en) Apparatue for annealed substrate for hard disk