SU898244A1 - Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket - Google Patents
Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket Download PDFInfo
- Publication number
- SU898244A1 SU898244A1 SU802881700A SU2881700A SU898244A1 SU 898244 A1 SU898244 A1 SU 898244A1 SU 802881700 A SU802881700 A SU 802881700A SU 2881700 A SU2881700 A SU 2881700A SU 898244 A1 SU898244 A1 SU 898244A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- gas
- heater
- guide track
- heat treatment
- products
- Prior art date
Links
Description
Изобретение относится к устройствам для термической обработки изделий, в частности к устройствам для термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке и может быть использовано на предприятиях электронной промышленности.The invention relates to devices for heat treatment of products, in particular to devices for heat treatment of flat products of semiconductor production on a gas-dynamic pillow and can be used in enterprises of the electronic industry.
Известна нагревательная печь, содержащая камеру нагрева и газотранспортный лоток, имеющий направляющие дорожки с отверстиями - соплами £ 1 ].Known heating furnace containing a heating chamber and a gas transport tray having guide tracks with holes - nozzles £ 1].
Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагреватель и газотранспортный лоток с направляющими дорожками и расположенными в ней соплами. Нагреватель расположен над газотранспортным лотком, направляющая дорожка выполнена в виде петлеобразных секций. Устройство также имеет от ражательную камеру [2].The closest technical solution to the proposed one is a device for heat treatment of products on a gas-dynamic cushion, containing a heater and a gas transport tray with guide tracks and nozzles located in it. The heater is located above the gas transport tray, the guide track is made in the form of loop-shaped sections. The device also has a reflective chamber [2].
Однако в этом устройстве на поворотных участках на направляющей дорожке происходят сколы краев и излом обрабатываемых пластин, а также возникают микротрещины и происходили случаи застревания обрабатываемых пластин, что в каждом случае проводило к браку и сбоям в работе устройства.However, in this device, on the turning sections on the guide track, chipped edges and a fracture of the processed plates occur, as well as microcracks and cases of jamming of the processed plates occurred, which in each case led to marriage and malfunctions of the device.
Целью изобретения является повышение качества обработки и надежности работы устройства.The aim of the invention is to improve the quality of processing and the reliability of the device.
Поставленная цель достигается тем, что, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащем нагреватель, газотранспортный лоток с направляющей дорожкой и расположенными в ней соплами, нагреватель размещен на направляющей дорожке и выполнен в виде групп петлеобразных секций, направляющая дорожка выполнена с пазом для размещения нагревателя.This goal is achieved by the fact that, in the device for heat treatment of products on a gas-dynamic pad containing a heater, a gas transport tray with a guide track and nozzles located in it, the heater is placed on the guide track and made in the form of groups of loop-shaped sections, the guide track is made with a groove for placement of the heater.
.На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.. In FIG. 1 shows a device, a General view; in FIG. 2 is a section AA in FIG. 1.
Устройство для термической обработки плоских изделий на газодинамической подушке состоит из выполненного из нетокопроводящего материала, например керамики, лоток 1, с направляющей дорожкой 2, в которой расположены наклонные отверстия сопла 3, соединяющиеся с газовой камерой 4. Нагреватель 5 выполнен в виде групп петлеобразных секций, например на основе резистивной пленки двуокиси олова и размещен на поверхности направляющей дорожки.2,A device for heat treatment of flat products on a gas-dynamic cushion consists of a non-conductive material, such as ceramic, a tray 1, with a guide track 2, in which there are inclined holes of the nozzle 3 connected to the gas chamber 4. The heater 5 is made in the form of groups of loop-shaped sections, for example, based on a resistive tin dioxide film and is placed on the surface of the guide track. 2,
При использовании толстых пленок для нагревателей (и их видов) в направляющей дорожке 2 выполняют паз 6, форма которого соответствует форме нагревателя, устанавливаемого заподлицо с направляющей дорожкой. Газотранспортный лоток 1 имеет установочные отверстия 7, а над ним расположен но изделие 8. Сверху над группами петлеобразных секций установлены экраны 9, выполненные например из кварца (на фиг. 1 не показаны).When using thick films for heaters (and their types) in the guide track 2, a groove 6 is made, the shape of which corresponds to the shape of the heater installed flush with the guide track. The gas transport tray 1 has mounting holes 7, and the product 8 is located above it. Screens 9, for example made of quartz (not shown), are installed above the groups of loop-shaped sections.
Термообработка изделий 8, например круглых полупроводниковых пластин, в устройстве для термической обработки изделий на газодинамической подушке осуществляется следующим образом. В газовую камеру 4 газотранспортного лотка 1 подают например сжатый воздух, обеспечивающий перемещение на газовой подушке изделия 8, над плоскостью направляющей дорожки 2 в направлении наклона отверстий сопел 3. На клеммы 10 подается напряжение, под воздействием которого нагреватель 5 выделяет тепло. После выхода устройства на режим, на начало направляющей дорожки 2 подают изделие 8, которое перемещается между экраном 9 и плоскостью направляющей дорожки 2. Проходя над каждой груп898244 итой петлеобразных секций нагревателя 5 изделие 8 нагревается до заданной температуры, а на участках, свободных от петлеобразных секций, из5 делие охлаждается, таким образом, производится цикличная термообработка изделий. Число групп петлеобразных секций соответствует числу циклов термообработки.Heat treatment of products 8, for example round semiconductor wafers, in a device for heat treatment of products on a gas-dynamic pillow is as follows. For example, compressed air is supplied to the gas chamber 4 of the gas transport tray 1, which allows the product 8 to move on the gas cushion above the plane of the guide track 2 in the direction of inclination of the nozzle holes 3. Voltage is applied to terminals 10, under the influence of which heater 5 generates heat. After the device enters the mode, an article 8 is fed to the beginning of the guide track 2, which moves between the screen 9 and the plane of the guide track 2. Passing over each group 898244 of the loop-shaped sections of the heater 5, the product 8 is heated to a predetermined temperature, and in areas free of loop-shaped sections , the product is cooled, thus cyclic heat treatment of the products is carried out. The number of groups of loop-shaped sections corresponds to the number of heat treatment cycles.
ю Использование данного устройства обеспечивает повышение качества обработки и повышение надежности работы устройства в виду того, что при обработке не происходит скола краев и изломов деталей и не бывает застревания деталей. Кроме того, конструкция устройства проще и компактнее за счет того, что в нем отпадает не- обходимость в громоздкой водоохлажда20 емой отражательной камере, что обеспечивает возможность работы устройства в помещениях, где вода не подведена, кроме того, отпадает необходимость в соединительных водяных ма25 гистралях.Use of this device provides an increase in the quality of processing and an increase in the reliability of the device, since during processing there is no chipping of edges and fractures of parts and there is no jamming of parts. In addition, the design of the device is simpler and more compact due to the fact that it eliminates the need for a bulky water-cooled reflective chamber, which makes it possible to operate the device in rooms where water is not supplied, in addition, there is no need for connecting water mains.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802881700A SU898244A1 (en) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802881700A SU898244A1 (en) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU898244A1 true SU898244A1 (en) | 1982-01-15 |
Family
ID=20877380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802881700A SU898244A1 (en) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU898244A1 (en) |
-
1980
- 1980-02-15 SU SU802881700A patent/SU898244A1/en active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5864119A (en) | IR conveyor furnace with controlled temperature profile for large area processing multichip modules | |
EP0306967A3 (en) | Apparatus for performing heat treatment on semiconductor wafers | |
JPS6455821A (en) | Rapid cooling type heat treating apparatus | |
TW357414B (en) | Method and apparatus for heat-treating substrates | |
EP0288915A3 (en) | Electric radiant heating element for heating a plate, inelectric radiant heating element for heating a plate, in particular a glass-ceramic plate particular a glass-ceramic plate | |
KR890015349A (en) | Meteorological Growth Equipment | |
DE69009915T2 (en) | Device for synthetic diamond production with curved filaments and substrate cooling device. | |
US3223499A (en) | Method of treating and conveying glass sheets | |
NO902212L (en) | PROCEDURE AND APPARATUS FOR FRENCHING UNLIMITED PIZZA BOWLS. | |
EP0397315A3 (en) | Method and apparatus for heating and cooling semiconductor wafers in semiconductor wafer processing equipment | |
SU898244A1 (en) | Apparatus for heat treatment of articles on gasodynamic blanket | |
US2417094A (en) | Method of heat-treating glass or like materials | |
TW466579B (en) | Method and apparatus for processing substrate | |
US5897309A (en) | Sequential step belt furnace with individual concentric cooling elements | |
EP0254411A3 (en) | Thermal copying apparatus | |
ES298701A1 (en) | Methods of heat treating and gas pressure supporting glass in sheet form | |
ES8402071A1 (en) | Device for the high-temperature heat treatment of articles. | |
DE3269441D1 (en) | Radiant heater for heating cooking or heating plates | |
US5876198A (en) | Sequential step belt furnace with individual concentric heating elements | |
SU401185A1 (en) | DEVICE FOR THERMAL PROCESSING OF PRODUCTS ON A GAS DYNAMIC PAD | |
KR880004105A (en) | Heat treatment apparatus for quenching workpieces using die | |
CA2210130C (en) | Device for treating planar elements with a plasma jet | |
KR100776370B1 (en) | Burning apparatus | |
US3682610A (en) | Gas hearth with particular gas-supply channels | |
JPH05287367A (en) | Apparatue for annealed substrate for hard disk |