SU895631A1 - Устройство дл дозированной подачи абразивной суспензии - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области чистовой обработки деталей методом доводки или полировани .

Известно устройство дл  дозированной подачи абразивной суспензии, содержащее расположенное вертикально подвод щее сопло, соосную ему сливную , трубку и св занный с приводом отвод щий желоб, установленный с возможностью периодического контакта со JQ струей суспензии, поступающей из подвод щего сопла tn.

Известное устройство не обеспечивает достаточно высокое качество фракционного состава отводимой в зону об- fj работки суспензии.

Целью изобретени   вл етс  повышение качестьа отводимой суспензии по составу вход щих в нее фракций.

Указанна  цель достигаетс  тем, JQ что привод желоба вьтолнен в виде механизма качательного движени , плоскость качани  которого проходит по оси подвод щего сопла и сливной трубки , при этом обращенный к соплу конец желоба выполнен по дуге, радиус которой равен радиусу отверсти  подвод щего сопла.

На чертеже изображено устройство дл  дозированной подачи абразивной суспензии, общий вид.

Устройство содержит корпус 1 с подвод щим соплом 2 и сливной трубкой 3 соединенными между собой через бачок k и насос 5 посредством трубопровода 6. Подвод щее сопло 2 соединено с т гой 7 с приводом 8 перемещени  .

Устройство снабжено питающей воронкой 9, подающей суспензию в зону обработки. Внутри корпуса 1 установлен отвод щий желоб 10, жестко закрепленный на оси 11, смонтированной на боковых стенках корпуса 1. Ось 11 соединена с приводом 12 качательного движени , выполненным, например, в виде эксцентрика, жестко закрепленного на валу электропривода (на чертеже условно не показан).

Конец желоба 10, расположенный вблизи (напротив) сопла 2, выполнен по дуге с радиусом, равным радиусу отверсти  сопла 2. Сопло 2 и питающа воронка 9 могут быть снабжены средствами термостатировани  13 и И, например вод ной рубашкой, соединенной трубопроводами с термостатами, в частности, типа (условно не показаны).

Устройство работает следующим образом .

Абразивную суспензию заливают в бачок А, из которого с помощью насоса 5 ее перекачивают по трубопроводу Ь в подвод щее сопло 2, откуда она вытекает струей и вновь попадает в бачок А. Основна  масса суспензии циркулирует по этому пути, а часть ее отбираетс  отвод щим желобом 10 из струи и направл етс  в питающую воронку 9, а затем - в рабочую зону обработки, например, на полировальный стол станка дл  обработки полупроводниковых пластин. При этом желоб 10 совершает качательное движение в плоскости, проход щей по оси сопла 2 и сливной трубки 3, вместе с осью 11, качающейс  от привода 12.

Во врем  опускани  конца желоба 10, имеющего форму дуги, вниз из струи суспензии отбираетс  ее часть по секторному сечению, и поэтому в .части содержитс  пропорционально |как обогащенна  твердыми компонентами суспензи , так и обедненна .

Claims (1)

1. Авторское свидетельство СССР № 99930, кл. В 24 В 57/00, 1953.