SU893965A1 - Способ изготовлени изделий из нитрида бора - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к производству керамики из нитрида бора, примен емой в качестве электроизол ционного и огнеупорного материала в технике высоких температур.

Известны способы обработки керамических изделий с целью изменени  их свойств , например , способ, заключающийс  в том, что провод т отжиг при двухслойной засьшке в окислительной сред1е прн 1600-1750 С 11.

Однако эти способы не позвол ют повышать уд. объемное сопротивление керамических юделий из нитрида бора.

Известен также способ, позвол ющий повысить уд. объемное сопротивление керЬлики из порошкообразного интрнда бора за счет введени  в последний различных псфсшпсоо озных .добавок. Из: полученной смес  прессуют издели  под давлением с последующим их спека .иием при 1800 С в среде азота 21.

Известный способ позвол ет повысить уд. объемное сопротивление лшнь до 10 Ом-см (при ). Повышение уд.. объемного сопротивлени  керамических изделий возможно только лишь за счет введени  добаБОК ниоби . И его окиси. В. св зи с зтим известный способ сравнительно сложен (дл  его осуществлени  требуютс  дополнительные материалы) и трудоемок. Кроме того он продолжителен (18-24 ч).

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  способ получени  изделий из иитрида бора путем газофазного осаждени  на подложку 3.

Издели , полученные известным способом,

(0 облада  низкими значени ми диэлектрической проницаемости и диэлектрических потерь, высокой теплопроводностью, плотностью,все же имеют .недостаточно высокое электросопротивление .

ts

Цель изобретени  - повьпиение уд. объемного электросопротивлени  керамических изделий из пиролитического нитрида бора.

Поставленна  цель достигаетс  за счет того, что в шособе изготовлени  нзделий из нитри20 да бора путем газофазного осаждени  на подложку , изде;т  дополнительно подвергают отжигу в среде азота прн 1500-1550 С в течение 3Q-35 мин.

Изделие в виде квадратной пластины размером 50x50 мм и толщинот 0,1-2.0 мм, полученное газофазным осаждением, устанавливают Б электродное устройство, помешают в печь электретеского сопротивлений и нагревают от комнатной температуры до температурь указанных в таблице. При установившейс  температуре изделие выдерживают определенное врем  и затем охлаждают до 900°С (прн зюй температуре начинают измер ть уд. объемное сопротивление ). Длительность отжига определ етс  как промежуток времени, по истечению которого величина уд. объемного сопротивлени  (ток сквозной проводимости, Ij) застабилизируетс .

Режимы отжига изделий из пиролитического нитрида бора в среде зота приведены в таблице.

Claims (3)

1. Нагрев от комнатной температуры до заданной, мин12 Отжиг, мин126-131 Охлаждение до 900 С, мин20 Суммарное врем , мин158-163 Уд. объемное сопротивление PV , ОмСМ до обжига0,6110 после обжига2,62 10 Как видно из данных таблицы, с увеличением температуры врем  отжига уменьшаетс , а суммарное врем  режима отжига получаетс  наименьшим прн 1500-1550 С. На чертеже показано изменение тока сквозной проводимости Iv в процессе отжига издели  из пиролитического нитрида бора в среде азота при 1500-}550С. Видно, что при отжиге после 30-35 мин, значение тока сквозной проводимости остаетс  практически посто нным. Проведенные контрольные эксперимента показали , что величина уд. объемного сопротивлени  отожженного издели  (при 1500-1550С практически не отличаетс  от значени , полученното при этой же температуре, но пogлe дЛол рггельной вьщержки его при 2000 С в течение 10-15 мин. Это сввдетельствует о том, что в течение 30-35 мни прн 1500-15 изделие отжигаетс  полностью. Проведенные испытани  также показали, что значени  уд.об1 емного сопротивлени  изделий, отожженньЕХ в азоте, в 5-10 раз выше, чем отожженных в Не   Аг. Использование предлагаемого способа отжига изделий из пнролитического нитрида бора обеспечивает по сравнению с сушествуюащми 17 2228 35 48-50 30-3528-3116-20 2837 51 25 90-92 80-8593-96102-106 , 36-10 1,91-10 1 10 0,39-10 8,32. Ю 4,8 - 10 2,08-10 1,83-10 возможность получени  изделий с уд. объемным сопротивлением до 12,3-Ш Ом-см при 1000°С (2,ЫО ®Ом-см до отжига при ), дл  повышени  уд. объемного сопротивлени  по предлагаемому способу отпадает необходимость в добавках. Формула изобретени  Способ изготовлени  изделий из нитрида бора путем газофазного осаждени  на подложку, отличаюшийс  тем, что, с целью повышени  удельного объемного злектросопротивленн , издели  дополнительно подвергают отжигу в среде азота при 1500-1550 С в течение 30-35 мин. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторскоесвидетельство СССР М 596558, кл. С 04 В 35/58, 1978.
2. 2.Авторское свидетельство СССР N 393250, кл. в 04 В 35/58, 1973.
3. 3.Новикова Н.А. и др. HeKOTOpbje свойства пиролитического нитрида бора. - Огнеупоры , М., 1971, N 10, с. 54-58.

   to

   .r

   Ч

   Sh .

   с: