SU873194A1 - Светосильный объектив дл ультрафиолетовой области спектра - Google Patents

Description

Изобретение относится к оптике, к классу светосильных объективов и может быть использовано в микроэлектронике как проекционный объектив в установках басшаблонной технологии. *

Известен светосильный объектив, содержащий шесть компонентов: двояковыпуклую линзу, положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, отрицательную линзу, склеенную из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, двояковыпуклую линзу, отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению и отрицательную линзу Смита [1] . 15

Известен также объектив, содержащий четыре компонента: три первых из которых склеенные положительные, причем первый из них склеен из двояковыпуклой линзы и отрицательного ме- 20 ниска, обращенного вогнутостью к предмету, а два других склеены из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четвертым служит одиночная отрицательная линза Г2] . 25

Недостатками данных систем является небольшое поле зрения, небольшой размер кадра (диагональ кадра равна 21. мм) , невозможность работать в ультрафиолетовой (У4>) области спект- 30 ра, что ограничивает выбор источника света в установках басшаблонной технологии.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является объектив, содержащий два компонента, первый из которых состоит из двух линз, причем передняя выполнена склеенной из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а задняя - положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, а второй компонент содержит одиночную положительную линзу [3 ].

Недостатком этой системы является малое поле зрения 2и>= 12°, малый разрез кадра (диагональ кадра 21 мм), невозможность получения достаточно аберрационной коррекции в УФ области спектра.

Цель изобретения - увеличение угла поля зрения с одновременным улучшением качества аберрационной коррекции .

Поставленная цель достигается тем,, что светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из кото-* рых выполнен из двух линз, а второй включает одиночную положительную линзу, снабжен расположенным за вторыА компонентом третьим компонентом, выполненным из одиночных положительного мениска, вогнутостью обращенного к изображению, двояковогнутой и плосковогнутой линз, при этом первая линза первого компонента выполнена * одиночной, а вторая его линза - от- ’ рицате^ьная, а второй компонент дополнен двумя одиночными положительными линзами, последняя из которых выполнена в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению. 10

На чертеже представлена принципиальная оптическая схема объектива.

Объектив аодержит три компонента 1-3. Компонент 1 состоит из двух линз 4 и 5,линза 4 - положительная,линза 5-15 отрицательная.Компонент 2 содержит две положительные линзы 6 и 7 и мениск 8, обращенный вогнутостью к изображению. Компонент 3 выполнен из положительного мениска 9 и двояковогнутой 10 и jq плосковогнутой 11 линз.

Компонент 1 является коррекционным . и служит для коррекции комы и сферической аберрации в>объективе, что и определяет форму его линз: - линза 4 - одиночная двояковыпуклая, а линза 5 - отрицательная плосковогнутая.

Компонент 2 является силовым и обеспечивает увеличение поля зрения и размера кадра объектива за счет того, что позади его первой положитель- 30 ной линзы 6 размещены положительные линзы 7 и 8, последняя из которых линза 8 выполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью к изображению, что позволяет получить поле зрения 35 2ш= 30° при относительном отверстии объектива 1:1 и увеличить диагональ кадра до 75 мм, кроме того, компонент 2 служит для коррекции аберраций широких наклонных пучков, а так- эд же астигматизма.

Компонент 3 является силовым и коррекционным одновременно.В качестве силового он обеспечивает увеличение угла паля зрения и размера кадра в объективе при высоком относительном ⁴⁵ отверстии, а как коррекционный - служит для исправления остаточной отрицательной кривизны поля зрения и тонкой коррекции комы в широких наклонных пучках, это достигается тем, что он выполнен из положительного мениска 9, двояковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз.

Все линзы объектива выполнены одиночными и материалом для них,служит кварцевое стекло с п, = 1,47455, и 4 = 67,96.

Это объясняется необходимостью работы объектива в УФ области спектра.

Объектив обладает следующими техническими преимуществами: $даеличение поля зрения в 2,5 раза,, увеличением размера кадра более чем в 3 раза, при· относительном отверстии 1:1 и улучшенном качестве аберрационной коррекции для УФ участка спектра.

Claims (3)

1. Изобретение относитс  к оптике, к классу светосильных объективов и может быть использовано в микроэлектронике как проекционный объектив в установках басшаблонной технологии. Известен светосильный объектив, содержащий шесть компонентов: дво ковыпуклую линзу, положительный мениск , обращенный вогнутостью к изображению , отрицательную линзу, склеен ную из дво ково -нутой и дво ковыпуклой линз, дво ковыпуклую линзу, отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению и отрицательную линзу Смита 1 . Известен также объектив, содержащий четыре компонента: три первых из которых склеенные положительные, при чем первый из них склеен из дво ковыпуклой линзы и отрицательного мениска , обращенного в5 гнутостью к пре мету, а два других склеены из дво ко выпуклой и-дво ковогнутой линз, а четвертым служит одиночна  отрицател на  линза Г2 . Недостатками данных систем  вл етс  небольшое поле зрени , небольшо размер кадра (диагональ кадра равна 21. мм) , невозможность работать в ультрафиолетовой СУ4)) области спектра , что ограничивает выбор источника света в установках басшаблонной технологии. Наиболее близкимпо технической сущности к изобретению  вл етс  объектив , содержащий два компонента, первый из которых состоит из двух линз, причем передн   выполнена склеенной из дво ковыпуклой и дво ковогнутой линз, а задн   - положительный мениск , обращенный вогнутостью к изображению , а второй компонент содержит одиночную положительную линзу Гз. Недостатком этой системы  вл етс  малое поле зрени  2ai 12, малый разрез кадра (диагональ кадра 21 мм), невозможность получени  достаточно аберрационной коррекции в УФ области спектра. Цель изобретени  - увеличение угла пол  зрени  с одновременным улучшением качества аберрационной коррекции . Поставленна  цель достигаетс  тем,, что светосильный объектив дл  ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из кото- рых выполнен из двух линз, а второй включает одиночную положительную линзу , снабжен расположенным за вторыЛ комдонентом третьим компонентом, выполненным из одиночных положитель ого мениска, вогнутостью обращенного к изображению, дво ковогнутой и плосковогнутой линз, при этом перва  линза первого компонента выполнена одиночной, а втора  его линза - отрицате: ьна , а второй компонент дополнен двум  одиночными положительны ми линзами, последн   из которых выполнена в виде мениска, ВОГНУТОСТЬЮ обращенного к изображению. На чертеже представлена принципиальна  оптическа  схема объектива. Объектив содержит три компонента 1-3. Компонент 1 состоит из двух лин 4 и 5,линза 4 - положительна ,линза отрицательна .Компонент 2 содержит д положительные линзы б и 7 и мениск 8 обращенный вогнутостью к изображению Компонент 3 выполнен из положительно го мениска 9 и дво ковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз. . Компонент 1  вл етс  коррекционны и служит дл  коррекции комы и сферической аберрации BIобъективе, что и определ ет форму его линз: - линза 4 - одиночна  дво ковыпукла , а линза 5 - отрицательна  плосковогнута . Компонент 2  вл етс  силовым и обеспечивает увеличение пол  зрени  и размера кадра объектива за счет то го, что позади его первой положитель ной линзы 6 размещены положительные линзы 7 и 8, последн  из которых линза 8 выполнена в виде мениска, об ращенного вогнутостью к изображению, что позвол ет получить поле зрени  2ш 30° при относительном отверстии объектива 1;1 и увеличить диагональ кадра до 75 мм, кроме того, компонент 2 служит дл  коррекции аберраций широких наклонных пучков, а также астигматизма. Компонент 3  вл етс  силовым и ко рекционным Одновременно.В качестве силового он обеспечивает увеличение угла пол  зрени  и размера кадра в объективе при высоком относительном отверстии, а как коррекционный - слу жит дл  исправлени  остаточной отрицательной кривизны пол  зрени  и тонкой коррекции комы в широких наклонных пучках, это достигаетс  тем, что он выполнен из положительного мениска 9, дво ковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз. Все линзы объектива выполнены одиночными и материалом дл  них,служит кварцевое стекло с п. 1,47455, и 67,96. Это объ сн етс  необходимостью работы объектива в УФ области спектра. Объектив обладает следующими техническими преимуществами: iдаeличeниe пол  зрени  в 2,5 раза. увеличением размера кадра более чем в 3 раза, приотносительном отверстии 1:1 и улучшенном качестве аберрационной коррекции дл  УФ участка спектра. Формула изобретени  Светосильный объектив дл  ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из которых выполнен из двух линз, а второй, включает одиночную положительную линзу , отлич с  тем, что, с целью увеличени  угла пол  зрени  с одновременным улучшением качества коррекции аберраций, он снабжен расположенным за вторым компонентом третьим компонентом, выполненным из, одиночных положительного мениска, вогнутостью обращенного к изображению, дво ковогнутой и плоскрвогнутой линз, при этом перва  линза первого компонента выполнена одиночной, втора  .его линза - отрицательной, а второй компонент дополнен двум  одиночными положительными линзами, последн   из которых выполнена в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент Франции № 2339872, кл. G 02 В 9/06, опублик. 1977.
2. 2.Авторское свидетельство СССР по за рке 2536533/18-10, Q 02 В 9/64, 1977.
3. 3. Авторское свидетельство СССР № 634222, кл. G 02 В 11/34, 1977 (прототип ) .

   I

   ,1

   11