SU871127A1 - Микрообъектив дл отраженного света - Google Patents

Description

(54) МИКРООБЪЁКТИВ ДЛЯ ОТРАЖЕННОГО СВЕТА

1

Изобретение относитс  к области оптико-механического приборостроени  и может быть использовано, например, в металлографических и рудных микро- скопах .

Известны линзовые микрообъективы, разрешающа  способность которых повышаетс  за счет использовани  коротко-JQ волновой частей спектра, например ультрафиолетовые объективы (l.

Однако эти объективы отличаютс  сложностью конструкции, недостаточным исправлением аберраций дл  внеосёвых точек объекта. Кроме того, в этих микрообъективах могут бы±ь использованы лишь специальные материалы - прозрачные в ультрафиолетовой области спек: ра. Все это, а также трудности при эреобразовании ультрафиолетового 20 излучени  в видимое, ограничивают возможности применени  этих микрообъективов .

Известны микрообъективы,-разрешающа  способность которых повышаетс  за счет введени  иммерсии,например микрообъективы дл  рудных и петрографических микроскопов 2.

..При введении иммерсии устран ютс  рефлексы от фронтальной поверхности 30

объектива. Но неудобства работы, вызванные малым рабочим рассто нием и наличием иммерсии, недостаточна  коррекци  аберраций дл  внеосёвых точек объекта не позвол ют широко использовать объективы данного типа.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  микрообъектив дл  отраженного света, содержащий мениск, обращенный вогнутостью к объекту, и два расположенные за ним двухсклеенные из положительной и отрицательной линз компонента 3 J.:

Однако апертура объектива не обеспечивает возможности наблюдени  мелких структур; теоретическа  разрешающа  способность равна 1,5 мкм. Он обладает значительными рефлексами от оптических поверхностей, что приводит к ухудшению качества изображени . Микрообъектив имеет недостаточную коррекцию хроматических аберраций осевой точки объекта. Минимальна  разность волновых аберраций в спектральном интервале от F дсь С достигает -0,67 ) при апертуре объектива 0,20.

Claims (1)

1. Целью изобретени   вл етс  повышение разрешающей способности и улучше-. ние качества изображени . Указанна  цель достигаетс  тем, что в микрообъект ве дл  отраженного CBeta, содержащем мениск, обращенный вогнутостью к объекту, и два располо женные за ним двухсклебнные из положительной и отрицательной лийз компонента , положительна  линза первого ,двухсклеенного компонента расположена перед отрицательной линзой, при этом оптическа  сила мениска составл ет по абсолютной величине 0,2-0,4 оптической силы объектива, разностькоэффициентов дисперсий стекол линз второго двухсклеенного компонента со тавл ет не менее 25, а поверхность мениска и последн   поверхность отри цательной линзы первого двухсклеенного компонента выполнены апланатическими . На чертеже представлена оптическа  схема микрообъектива дл  отражен ного света. Микрообъектив дл  отраженного све та состоит из от зицательного мениска 1, обращенного вогнутостью к объекту и расположенных за ним двухсклеенных положительных компонентов 2 и 3, разделенньлх воздушным промежутком. Поверхности 4 и 5 мениска выполненыапланатическими апертурному лучу. Линза 6 склеенного компонента 2 выполнена в виде положительной дво ковыпуклой линзы. Линза 7 склеенного компонента 2 выполнена в виде отрицательной линзы, причем поверхность 8 - апланатическа  апертурному лучу Склеенный положительный компонент 3 включает отрицательную линзу 9 и положительную линзу 10. Разность коэ фициентов дисперсий стекол 10 и 9 равна 31,7. Фронтальный отрицательный мениск 1 проецирует изображение объекта, ра положенного в плоскости объекта с увеличением 1 , первый склеенный пол жительный компонент 2 проецирует изо ражение объекта с увеличением 2.5 в переднюю фокальную плоскость второго склеенного положительного ком понента 3. ВтЪрой склеенный положительный компонент 3 и дополнительна  система, не показанна  на-чертеже, создают изображение в задней фокальной плоскости дополнительной системы , которое регистрируетс  приемником излучени . При наблюдении непрозрачных объек тов в режиме светлого пол  пучок све та осветительной системой и микро ,объективом направл етс  на изучае{лый объект. При этом часть светового потока отражаетс  от оптических по верхностей линз 1, б, 7, 9 и 10 и накладываетс  на свет, отраженный от объекта. Световой поток, отраженный оптическими поверхност ми 4 и 5 мениска 1 и наружными поверхност ми линз 6 и 7, рассеиваетс  в значительном телесном угле, что позвол ет достигнуть существенного снижени  коэффициентом засветки. Микрообъектив отраженного света имеет достаточно высокое качество изображени  по всему полю зрени , максимальна  разность волновых аберраций осевой точки в спектральном , интервале от F до С не превышает С, и значительно уменьшенный коэффициент засветки. I Применение предлагаемого объектива обеспечит, при удобстве эксплуатации , возможность наблюдени  и исследовани  мелких структур р да слабоотражающих объектов. Известно, что теоретическа  разрешающа  способность равна 1,2 мКм. За счет увеличени  апертуры объектива повышаетс  освещенность изображени  примерно в 1,5 раза, что дает возможность при эксплуатации приборов использовать менее мощные источники света. Кроме того, благодар  малой чувствительности к ошибкам изготовлени  и децентрировке фронтального мениска, объектив обладает большей эффективностью дл  серийного производства . Формула изобретени  Микрообъектив дл  отраженного света, содержащий мениск, обращенный вогнутостью к объекту, и два расположенных за ним двухсклеенных из положительной и отрицательной линз компонента , отличающийс  тем, что, с целью повышени  разрешающей способности и улучшени  качества изображени , положительна  линза первого двухсклеенного компонента расположена леред отрицательной линзой, при этом оптическа  сила мениска составл ет по абсолютной величине 0,2-0,4 оптической силы объектива,разность коэффициентов дисперсий стекол линз второго двухсклеенного компонента составл ет не менее 25, а поверхность мениска и последн   поверхность отрицательной линзы первого двухсклеенного компонента выполнены апланатическими. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Скворцов Г.Е. и др. Микроскопы . Л., Машиностроение, 1969, с.207. 2 . Там же , с. 210 . 3. Там же, с.501-502 (прототип).