SU861934A2 - Интерференционное устройство дл измерени перемещений - Google Patents

Description

(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УеТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕПЩНИЙ

...

Изобретение относитс  к измери тельной технике и предназначено дл  измерени  малых перемещений в широком диапазоне частот, например, при поверке вибродатчиков или проведении испытаний изделий электронной техни-ки .

Известно ийтерференционное устройство дл  измерени  перемещений, содержащее оптически св занные источник монохроматического излучени  светоделитель, опорное зеркало, фотоприемник, электромеханический преобразователь, скрепленный с onoipным зеркалом, к блок, регистрации, св занный входом с-выходом фотоприемника р .

Недостатком устройства  вл етс  ограниченный динамический диапазон измерений и невысока  точность

По основному авт. св. № 679789 известно устройств9 Дл  измерени  перемещений, содержащее оптически- св занные источник монохроматического

излучени , светорасщепитель, светоде1литель , опорное зеркало, электро ,механический преобразователь, на котором жестко закреплено опорное зеркало, -зеркало, закрепленное на йбщем основании с объектом, опти-. ческий элемент, первый фотоприемник и второй фотоприемник, св занный с электромеханическим преобразователем, и блок регистрации, --электри10 чески св занный с первым фотоприемником 2,

Недостатком этого устройства  вл етс  ограниченцьШ динамический диапа15 зон измерений, что обусловлено коротким линейньм участком характеристики аналогового преобразовани  (завнсимости интенсивности выходного оптического сигнала от разности хода

Ю интерференцирующих световых пучков), что приводит к возникновению иск)ажений выходного сигнала и снижению точности измерений.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности и расширение динамического диапазона измерений.

Цель достигаетс  тем, что устройство снабжено вторым электромеханическим преобразователем, жестко скрепленным с первым, и вторым опорным зеркалом , св занным со вторым преобразователем и электрически св занным с выходом второго фотоприемника., а вход блока регистрации св зан с выходами фотоприемников.

На чертеже предствалена принципиальна  схема устройства.

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени , светорасщепитель 2, светоделитель 3, первое опорное зеркало Ч, закрепленное на первом электромеханическом преобразббателе 5, второй электромеханический преобразователь 6, жестко св занный с первым преобразователем 5, второе опорное зеркало 7, св занное со вторым преобразователем 6, зеркало 8, расположенное на-общем основании с объектом 9, оптический элемент 10, два фотоприемника,I1 и 12, установленньГе симметрично относительно Оптического элемента 10. Устройство работает следующим обра Пучок света от источника I делитс  светорасщепителем 2 на два параллельных пучка, по ходу одного из них создана система компенсации внешних воздействий , включающа  светоделитель 3, дел щий этот пучок на два взаимно перпендикул рньк пучка, один из которых , отразившись от первого опорного зеркала 4, а второй - от зеркала 8, установленного на общем основании с объектом 9, и отразившись от опти Ческого элемента; 10, формируют первую интерференционную картину, интенсивность кбторой преобразуетс  фотоприемником 12 в электрический сигнал , который подаетс  на первый электромеханический преобразователь 5с закрепленным на нем первым опорным зеркалом 4. По ходу второго пучка система измерени  полезного сигнала, включающа  светоделитель 3, дел щий второй пучок на два взаимно перпендикул рных пучка, один-из которых, отразившись от второго, опорного зеркала . 7, а второй от объекта 9 и отравившись от оптического элемента 10, формируют вторую интерференционную картину, интенсивность которой преобразуетс  фотоприемником 11 в электрический сигнал, который подаетс  на второй преобразователь 6, на котором закреплено второе опорное зеркало . 7. Благодар  тому, что при формировании первой интерференционной картины используютс  те же элементы, что и дл  формировани  второй, и интерферируюнще пары пучков проход т близко друг с другом, вредное воздействие оказываемое на них,  вл етс  одинаковым , но тракты формировани  интерференционных картин оказываютс .раз-, деленными.

При действии внешних вредных воздействий происходит смещение элементов и изменение разности хода интерферирующих пучков, В этом случае

Claims (2)

1. Отчет по НИР Разработка и исследование метрологических характеристик экспериментальной установки дл  градуировки и поверки льезоэлек .трическюс преобразователей ультразвуковой аппаратуры, IV Госрегистг рации 71011427, инвентарный номер 6221177.

2. Авторское свидетельство СССР № 679789, -кл. G01 В 11/00, 1979 (прототип).