SU855072A1 - Vacuum unit for coating - Google Patents

Vacuum unit for coating Download PDF

Info

Publication number
SU855072A1
SU855072A1 SU742067215A SU2067215A SU855072A1 SU 855072 A1 SU855072 A1 SU 855072A1 SU 742067215 A SU742067215 A SU 742067215A SU 2067215 A SU2067215 A SU 2067215A SU 855072 A1 SU855072 A1 SU 855072A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
substrate holder
rods
coating
vacuum
installation
Prior art date
Application number
SU742067215A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Генрих Александрович Алексеев
Виктор Александрович Дубинский
Николай Степанович Яшкин
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1614
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1614 filed Critical Предприятие П/Я А-1614
Priority to SU742067215A priority Critical patent/SU855072A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU855072A1 publication Critical patent/SU855072A1/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks

Description

(54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ (54) VACUUM INSTALLATION FOR APPLICATION

1one

Изобретение относитс  к вакуумному машиностроению и предназначено дл  вакуумного нанесени  пленочных покрытий преимущественно на издели  электронной техники. The invention relates to vacuum mechanical engineering and is intended for the vacuum deposition of film coatings primarily on electronics products.

Известна вакуумна  установка дл  нанесени  покрытий, содержаща  рабочую камеру с размещенными а ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство l.The known vacuum coating system contains a working chamber with a source of applied material and a substrate holder and a lock transport device l.

Недостатком установки  вл етс  ее низка  производительность и большие габариты. The disadvantage of the installation is its low productivity and large dimensions.

Цель изобретени  - повышение производительности и уменьшение габа .ритов.The purpose of the invention is to increase productivity and reduce gaba. Ritov.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в вакуумной установке, содержащей рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателе и шлюзовое транспортирующее устройство, шлюзовое транспортирукмцее устройство выполнено в виде двух параллельных штоков, жестко соединенных между собой, рабоча  камера снабжена толкателем, установленным перпендикул рно продольной оси штоков, а подложкодержатель расположен между иггоПОКРЫТИЙThe goal is achieved by the fact that in a vacuum unit containing a working chamber with a source of applied material and a substrate holder and a sluice transportation device placed in it, the sluice transportation device is made in the form of two parallel rods rigidly interconnected, the working chamber is equipped with a pusher mounted perpendicularly the longitudinal axis of the rods, and the substrate holder is located between the coatings

ками. Причем подложкодержатель выполнен в виде двух направл ющих.kami. Moreover, the substrate holder is made in the form of two guides.

На чертеже схематически представлена вакуумна  установка дл  нанесени  покрытий.The drawing shows schematically a vacuum coater.

Установка -содержит вакуумную технологическую камеру 1, технологические позиции 2 и 3 (например предварительного нагрева и напылени ), The installation contains a vacuum process chamber 1, technological positions 2 and 3 (for example, preheating and spraying),

10 высоковакуумный откачной агрегат 4 и шлюзовые систекы, состо щие, например из двух входных шлюзовых камер 5 и 6 и выходных камер 7 и 8 с насосами 9 и 10 ступенчатой откач15 ки, Кс1ждый из которых откачивает одновременно по две шлюзовые камеры, соответствующие давлению в камерах 6 и 7 и 5 и 8. Внутри шлюзовых камер расположено шлюзовое транспортирующее устройство, выполненное в виде штоков 11 и 12, жестко соединенных между собой поперечиной 13 и соединенных с приводом 14 возвратно-поступательного движени . Каж25 дый из штоков имеет пазы 15 и 16, в которых располагаютс  подложки 17. Съем подложек с загрузочного штока на направл ющие 18 производитс  толкателем 19, кинематически соеди30 ненным с приводом 14. Защита зоны10 high vacuum pumping unit 4 and sluice systems consisting, for example, of two inlet sluice chambers 5 and 6 and output chambers 7 and 8 with pumps 9 and 10 of the step pumping 15, Ks1 each of which pumps out two sluice chambers simultaneously, corresponding to pressure in chambers 6 and 7 and 5 and 8. Inside the sluice chambers there is a sluice conveying device, made in the form of rods 11 and 12, rigidly interconnected by a crossbar 13 and connected to the reciprocating actuator 14. Each of the rods has grooves 15 and 16 in which the substrates 17 are located. The substrates are removed from the loading rod to the rails 18 produced by a pusher 19, kinematically connected with the drive 14. Zone protection

Claims (2)

Формула изобретенияClaim 1. Вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру с размещенными в ней источником наносимого материала и подложкодержателем и шлюзовое транспортирующее устройство, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и уменьшения габаритов установки, шлюзовое транспортирующее устройство выполнено в виде двух параллельных штоков, жестко соединенных между собой, рабочая камера снабжена толкателем, установленным перпендикулярно продольной оси штоков, а подложкодержатель расположен между штоками.1. Vacuum installation for coating, containing a working chamber with a source of applied material and a substrate holder and a lock transporting device, characterized in that, in order to increase productivity and reduce the dimensions of the installation, the lock transporting device is made in the form of two parallel rods, rigidly interconnected, the working chamber is equipped with a pusher mounted perpendicular to the longitudinal axis of the rods, and the substrate holder is located between the rods. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что подложкодержатель выполнен в виде двух направляющих.2. Installation according to claim 1, characterized in that the substrate holder is made in the form of two guides.
SU742067215A 1974-09-19 1974-09-19 Vacuum unit for coating SU855072A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU742067215A SU855072A1 (en) 1974-09-19 1974-09-19 Vacuum unit for coating

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU742067215A SU855072A1 (en) 1974-09-19 1974-09-19 Vacuum unit for coating

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU855072A1 true SU855072A1 (en) 1981-08-15

Family

ID=20598313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU742067215A SU855072A1 (en) 1974-09-19 1974-09-19 Vacuum unit for coating

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU855072A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20030232150A1 (en) CVD coating device
US5340454A (en) Method and apparatus for the coating of substrates
US5294464A (en) Method for producing a reflective surface on a substrate
GB1309650A (en) Vacuum processing apparatus
KR970013175A (en) Substrate processing apparatus
GB1466790A (en) Deposition of layers in a vacuum
EP0122092A3 (en) Vacuum coating apparatus
JPS57149748A (en) Treating device for substrate
US5215638A (en) Rotating magnetron cathode and method for the use thereof
US6517692B1 (en) Apparatus for flow-line treatment of articles in an artificial medium
GB1360934A (en) Device for transporting substrate to be deposited upon through a vacuum plant
SU855072A1 (en) Vacuum unit for coating
GB1168131A (en) Method of and Apparatus for Conveying Materials or Articles Into or Out of a High or Low Pressure Vessel
US3717119A (en) Vacuum processing machine for aluminizing headlamp reflectors
FR2131390A5 (en) Conveyor belt cathode sputtering installation - - with lock and antechambers
US2906637A (en) Method of forming a film a short distance from a surface
JPS61170568A (en) Continuous vacuum treatment device
JPH07507601A (en) Equipment for producing plasma polymer protective layers on workpieces, especially on headlamp reflectors
SU788831A1 (en) Installation for applying coatings in vacuum
GB1189714A (en) A Continuous Process of Coating by Vapour Deposition.
US2748026A (en) Method and apparatus for thermal evaporation
RU2338006C2 (en) Device for application of coating by method of chemical deposition from gas phase
US2341603A (en) Device for metallizing
JPH08232062A (en) Coating apparatus
JP7219140B2 (en) Deposition method