(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСКРЕТНОГО ПО ПЛОЩАДИ . Изобретение относитс к приборостроению, в частности к автоматизации процесса Bbinojh нени прецизионных изображений фотошаблонов интегральных схем, фотошаблонов плат печатного монтажа радиоэлектронной аппаратуры , и может использоватьс в радиоэлектронике и микроэлектронике. Известно устройство двухкоординатного перемещени ,- соцержащее координатный стол и источник света. Обрабатываемый объект располагаетс иа координатном столе, имеющем возможность движени по двум координатам относительно источника света (11. Известно также устройство, содержащее координатый сто , каретку однокоординатното перемещени и каретку двухкоординатного пер мещени с приводами их перемещений, держатель экспонируемого объекта, оплмескую систему , источник излучени , дозатор излучени и блок программного управлени приводами кареток 2. Обрабатываемый объект располагаетс на поверхности стола неподвижно, а не точник света имеет возможность перемещатьс ЭКСПОНИРОВАНИЯ по двум координатам относительно обрабатываемого объекта. Однако отмечаетс мала производительность устройства, так как при значительных массах перемешающихс частив трудно достигнуть больших величин ускорений и, следовательно больших скоростей дл сравнительно небольших величин перемещений. Целью изобретени вл етс повышение производительности устройства дл дискретного по площади экспони| овани объекта. Поставленна цель достигаетс тем, что каретки вьшолнены в виде двух механически независимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейного щагового двигател , причем приводы синхронного перемещени обеих кареток по одной координате подключены к одному нз входов блока управлени приводами, выход которого по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоордкнатного перемещени , причем источник излучени и держатель экспонируемого объекта установлены не 3 подвижно, в качестве статора линейного шагового двигател использована опорна магнит на поверхность координатного стола, имеюща выраженные полюса по всей плоскости. На фиг. 1 приведена приниипиальна схема устройства; на фиг. 2 - то же, ввд сбоку. Устройство содержит пластину 1, статор 2 с полюсами 3, индукторы 4 и 5, кркала 6 и 7, обрабатываемый объект 8, держатель 9 обрабатываемого объекта, источник излучени И формирователь луча 10, дозатор 11, устройство программного управлени 12 и блок управлени приводами 13. Устройство работает следующим образом. Пучок света от источника , напри мер лазера 10, регулируемый дозатором света 11, управл емым устройством программного управлени 12, попадает на однокоординатаый индуктор 4 и, отразившись от зеркала 6, расположенного на индукторе 4 под углом 45° к направлению луча, попадает на зеркало 7, зафиксированное на индукторе 5 также под углом 45° к направлению светового луча. Луч света, отразившись от зеркала 7, будет зкспон poBliTb материал 8, закрепленный на держателе 9 экспонируемого материала При перемещении индуктора 5 в направлении координаты X лу|, отраженный от зеркала 7, будет последовательно экспонировать участк объекта 8, расположенные на пр мой, параллельной координате X. При перемещении индук торов 4 и 5 вдоль кoopд fflaты У происходит экспозици участков объекта 8, расположенных на пр мой, параллельной координате У. Таким образом, дл зкспонировани определенных участков, устройство программного управлени 12 задает перемещени индукторов 4 и 5 таки образом, чтобы луч света попадал на нужные участки экспонируемого объекта. Устройство программного управлени 12, задава скорости перемещени индукторов 4 и 5 по координатам X и У и регулиру дозатором 11 энергию излучени , может форлировать необходимую траекторию движени луча относительно экспонируемого объекта 8 и фор- 45 NoqKman. на объекте не только пр молинейные, во и криволинейные участки изображши . , bfe 4 и 5 перемещаютс по координате У синхронно, не име механической ед зи, а име только управление от общих сигналов блока управлени приводом. Несмотр на то, что исполнительный- орган устройства - индуктор 5 может перемещатьс (щвовремешю по двум координатам X н У, JQ достаточно массивный источник излучени (лазер) 10 может быть неподвижным ввиду наличи второго индуктора 4, синхронизированного первым шщуктором 5 по перемещению в направлении оси У. Так как в предлагаемом устройстве и обрабатываемый объект 8 и источник излучегш 10 вместе с дозатором излучени 11 неподвижны , то перемещающиес индукторы 4 и 5 могут быть изготовлены малоинерционными. Таким образом технико-экономические преимущества описанного устройства заключа1отс в згве ичешш быстродействи за счет малоинерционности элементов устройства, что позвол ет повысить производительность устройства. Форм, ула изобретени 1.Устройство дл дискретного по площади экспонировшш объекта, содержащее координатный стол, каретку однокоординатного перемещени и каретку двухкоординагаого перемещени с приводами их перемещений, держатель экспоifflpyeMoro объекта, оптическую систему, источник излучени , дозатор излучени ,устройство программного управлени и блок управлени приводами кареток, отличающеес тем, что, с целью повышени производительности , каретки выполнены в виде двух механически независимых установленных в од1юй плоскости подвиж1п 1х индукторов-роторов линейного шагового двигател , причем приводы синхронн ного .перемеще1ги обеих кареток по одной координате подключены к одному из входов блока управлен1Ю приводами, выход KOioporo по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоординатного перемещерш , причем источник излучени и держатель экcпo шpyeмoгo объекта установлены неподвижно . 2.Устройство по п. 1, отличающеес тем, что в качестве статора линейного шагового двигател использована опорна магнитна поверхность координатного стола, имеюпа выраженные полюса по всей шюо кости. Источники информацин, прин тые во внима}ше прн экспертизе 1.Патент США N 3617.125, НКИ 355-46, 1971. 2.Патент США tC 3641885, кл. 354-4, 1972 (прототип).
§
2
К /
/J