SU847017A1 - Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи - Google Patents

Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи Download PDF

Info

Publication number
SU847017A1
SU847017A1 SU792822815A SU2822815A SU847017A1 SU 847017 A1 SU847017 A1 SU 847017A1 SU 792822815 A SU792822815 A SU 792822815A SU 2822815 A SU2822815 A SU 2822815A SU 847017 A1 SU847017 A1 SU 847017A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
reflector
reflectors
light
measuring small
coherent light
Prior art date
Application number
SU792822815A
Other languages
English (en)
Inventor
Стасис Юозо Гервицкас
Казимерас Миколо Рагульскис
Леонардас-Антанас Леоно Штацас
Каролис Ионо Чичинскас
Original Assignee
Каунасский Политехнический Институтим. Ahtahaca Снечкуса
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Каунасский Политехнический Институтим. Ahtahaca Снечкуса filed Critical Каунасский Политехнический Институтим. Ahtahaca Снечкуса
Priority to SU792822815A priority Critical patent/SU847017A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU847017A1 publication Critical patent/SU847017A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл  измерени  малых перемещений объекта.
Известен способ измерени  малых перемещений объекта путем определени  положени  отверсти  в тонкой непрозрачной пленке с помощью отраженного лазерного импульса 1 .
Однако этот способ не позвол ет измер ть перемещение исследуемого объекта,перемещающегос  со сложной траекторией.
Наиболее близким к предлагаемому по теЛнической сущности  вл етс  способ измерени  малых перемещений объекта, заключающийс  s том, что с объектом св зывают отражатель, направл ют на него пучок когерентного cBeia, регистрируют положение отраженного от отражател  световогопучг ка, по которому и суд т о величине перемещени  объекта
Недостаток данного способа заключаетс  в том, что он не позвол ет определить сложную траекторию перемещен и  каждой отдельной точки исследуемого объекта. Поэтому нет возмож- ности исследовать сдвиговые деформации г например, пьезокерамических
преобразователей, кажда  отдельна  точка которых перемещаетс  с разной траекторией, причем величина этих сдвиговых деформаций, в зависимости от конструктивнЬюс параметров преобразователей и питающего напр жени , колеблетс  от 1 до 100 кГц.
Наиболее близким устройством по технической сущности дл  осуществле10 ни  способа  вл етс  устройство дл  измерени  малых перемещений объекта, содержащее отражатель,, св зываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под углом к от15 ражателю, и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател  световой луч 2.
Недостатком этого устройства  вл етс  невозможность сложной траек20 тории перемещени  каждой отдельной точки исследуемого объекта.
Цель изобретени  - измерение сложной траектории перемещений каждой отдельной точки объекта.
25
Поставленна  цель достигаетс  тем, что в способе используют не менее двух отражателей, расщепл ют иМи пучок когерентного света на число вза ,имно перпендикул рных световых лучей,
30 соответствующее числу отражателей,
и по суммарной траектории перемещени  определ ют траекторию и величину перемещени  исследуемой точки объекта .
Поставленна  цель достигаетс  тем что в устройстве дл  осуществлени  предлагаемого способа установлено |Не менее двух отражателей, каждый из которых вьшолнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напылённых на тонкий слой кле , наносимого на исследуемую точку объекта.
На чертеже изображена принципиальна  схема устройства дл  измерени  малых перемещений объекта.
Устройство содержит отражатели 1 и 2 (не менее двух), источник 3 когерентного света и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател  световой луч. Регистрирующий блок выполнен в виде экранов 4-6 и узлов обработки (на чертеже не показаны). Каждый отражатель выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, например корунда , напыленных на тонкий слой кле , наносимого на исследуемую Точку объекта 7. Источник 3 когерентного света подвижно установлен на стойке 8. Как известно, кристаллы минералов имеют зеркальные плоскости, величина которых- еще меньше самого кристалла , поэтому сечение отраженного от такой плоскости луча имеет еще меньшую, чем микроскопический кристалл , величину. Это позвол ет получить на экранах 4-6 четкие траектории перемещений, величина которых несколько больше сечений лучей.
Устройство работает следующим образом .
При включении источника 3 когерентного света пучок этого света направл ют на кристаллы минерала и перемещают источник 3 когерентного света по направл ющей стойке 8, до тех пор, пока узлы обработки регистрирукицего блока не сигнализируют о по влении расщепленных лучей света на всех экранах 4-6. Тогда включаетс  устройство, привод щее исследуемый объект в движение (На Чертеже не показано), и регистрируютс  траектории 9--11 перемещени  исследуемой точки на экранах, по которым суд т о траектории перемещени  этой точки.

Claims (2)

1. Способ измерени  малых перемещений объекта, заключающийс  в
том, что с объектом св зывают отражатель , направл ют на него пучок когерентного света, регистрируют положение отраженного от отражател 
светового пучка, по которому и суд т о величине перемещени  объекта, отличающийс  тем, что, с целью измерени  сложной траектории перемещений каждой отдельной
точки объекта, используют не менее двух отражателей, расщепл ют ими пучок когерентного света на число взаимно перпендикул рных световых лучей , соответствующее числу отражателей ., и по суммарной траектории перемещени  определ ют траекторию и величину перемещени  исследуемой точки объекта..
2. Устройство дл  измерени  малых перемещений объекта, содержащее отражатель , св зываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под угломК отражателю, и ре- гистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател  световой
луч, отличающеес  тем, что в нем установлено не менее двух отражателей, каждый из которых выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напыленных на тонкий
слой кле , наносимого на исследуемую точку объекта.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3810699, кл. G 01 В 11/26, 1974.
2. Патент Японии № 51-17062, кл. G 01 В 11/02, 1976 (прототип).
SU792822815A 1979-10-02 1979-10-02 Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи SU847017A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792822815A SU847017A1 (ru) 1979-10-02 1979-10-02 Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792822815A SU847017A1 (ru) 1979-10-02 1979-10-02 Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU847017A1 true SU847017A1 (ru) 1981-07-15

Family

ID=20851953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792822815A SU847017A1 (ru) 1979-10-02 1979-10-02 Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU847017A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4707129A (en) Three dimensional position measurement system using an interferometer
US3572937A (en) Method and apparatus for interferometric measurement of machine slide roll
US2870671A (en) Autocollimator for measuring angle of incident light beam
US3734626A (en) Light apparatus for testing surfaces
US3619070A (en) Method and apparatus for measuring thickness
US3323408A (en) Optical alignment system
SU847017A1 (ru) Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
US3347130A (en) Optical measuring instruments
US3820902A (en) Measuring method and apparatus which compensate for abbe s error
US3814495A (en) Apparatus for producing a moving beam displaced parallel to itself
JPS5593003A (en) Measuring method for plate thickness of plate-shape transparent body
Murty et al. Method for measurement of parallelism of optically parallel plates
SU1620823A1 (ru) Устройство дл измерени вибраций
SU450077A1 (ru) Устройство дл контрол формы параболической поверхности
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU1693371A1 (ru) Интерференционный способ определени толщины прозрачных плоскопараллельных объектов
SU1464046A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний
SU1523907A1 (ru) Сферометр
US2821881A (en) Optical arrangement for analysis of refractive index
RU2251682C2 (ru) Лазерный центратор для рентгеновского излучателя
SU739346A1 (ru) Устройство дл измерени параметров вибрации
JP2527176B2 (ja) 縞走査シアリング干渉測定装置
SU1397718A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени
SU1603190A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров