SU847017A1 - Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи - Google Patents
Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи Download PDFInfo
- Publication number
- SU847017A1 SU847017A1 SU792822815A SU2822815A SU847017A1 SU 847017 A1 SU847017 A1 SU 847017A1 SU 792822815 A SU792822815 A SU 792822815A SU 2822815 A SU2822815 A SU 2822815A SU 847017 A1 SU847017 A1 SU 847017A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflector
- reflectors
- light
- measuring small
- coherent light
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени малых перемещений объекта.
Известен способ измерени малых перемещений объекта путем определени положени отверсти в тонкой непрозрачной пленке с помощью отраженного лазерного импульса 1 .
Однако этот способ не позвол ет измер ть перемещение исследуемого объекта,перемещающегос со сложной траекторией.
Наиболее близким к предлагаемому по теЛнической сущности вл етс способ измерени малых перемещений объекта, заключающийс s том, что с объектом св зывают отражатель, направл ют на него пучок когерентного cBeia, регистрируют положение отраженного от отражател световогопучг ка, по которому и суд т о величине перемещени объекта
Недостаток данного способа заключаетс в том, что он не позвол ет определить сложную траекторию перемещен и каждой отдельной точки исследуемого объекта. Поэтому нет возмож- ности исследовать сдвиговые деформации г например, пьезокерамических
преобразователей, кажда отдельна точка которых перемещаетс с разной траекторией, причем величина этих сдвиговых деформаций, в зависимости от конструктивнЬюс параметров преобразователей и питающего напр жени , колеблетс от 1 до 100 кГц.
Наиболее близким устройством по технической сущности дл осуществле10 ни способа вл етс устройство дл измерени малых перемещений объекта, содержащее отражатель,, св зываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под углом к от15 ражателю, и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател световой луч 2.
Недостатком этого устройства вл етс невозможность сложной траек20 тории перемещени каждой отдельной точки исследуемого объекта.
Цель изобретени - измерение сложной траектории перемещений каждой отдельной точки объекта.
25
Поставленна цель достигаетс тем, что в способе используют не менее двух отражателей, расщепл ют иМи пучок когерентного света на число вза ,имно перпендикул рных световых лучей,
30 соответствующее числу отражателей,
и по суммарной траектории перемещени определ ют траекторию и величину перемещени исследуемой точки объекта .
Поставленна цель достигаетс тем что в устройстве дл осуществлени предлагаемого способа установлено |Не менее двух отражателей, каждый из которых вьшолнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напылённых на тонкий слой кле , наносимого на исследуемую точку объекта.
На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл измерени малых перемещений объекта.
Устройство содержит отражатели 1 и 2 (не менее двух), источник 3 когерентного света и регистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател световой луч. Регистрирующий блок выполнен в виде экранов 4-6 и узлов обработки (на чертеже не показаны). Каждый отражатель выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, например корунда , напыленных на тонкий слой кле , наносимого на исследуемую Точку объекта 7. Источник 3 когерентного света подвижно установлен на стойке 8. Как известно, кристаллы минералов имеют зеркальные плоскости, величина которых- еще меньше самого кристалла , поэтому сечение отраженного от такой плоскости луча имеет еще меньшую, чем микроскопический кристалл , величину. Это позвол ет получить на экранах 4-6 четкие траектории перемещений, величина которых несколько больше сечений лучей.
Устройство работает следующим образом .
При включении источника 3 когерентного света пучок этого света направл ют на кристаллы минерала и перемещают источник 3 когерентного света по направл ющей стойке 8, до тех пор, пока узлы обработки регистрирукицего блока не сигнализируют о по влении расщепленных лучей света на всех экранах 4-6. Тогда включаетс устройство, привод щее исследуемый объект в движение (На Чертеже не показано), и регистрируютс траектории 9--11 перемещени исследуемой точки на экранах, по которым суд т о траектории перемещени этой точки.
Claims (2)
1. Способ измерени малых перемещений объекта, заключающийс в
том, что с объектом св зывают отражатель , направл ют на него пучок когерентного света, регистрируют положение отраженного от отражател
светового пучка, по которому и суд т о величине перемещени объекта, отличающийс тем, что, с целью измерени сложной траектории перемещений каждой отдельной
точки объекта, используют не менее двух отражателей, расщепл ют ими пучок когерентного света на число взаимно перпендикул рных световых лучей , соответствующее числу отражателей ., и по суммарной траектории перемещени определ ют траекторию и величину перемещени исследуемой точки объекта..
2. Устройство дл измерени малых перемещений объекта, содержащее отражатель , св зываемый с объектом, источник когерентного света, расположенный под угломК отражателю, и ре- гистрирующий блок, на который падает отраженный от отражател световой
луч, отличающеес тем, что в нем установлено не менее двух отражателей, каждый из которых выполнен в виде микроскопических кристаллов минерала, напыленных на тонкий
слой кле , наносимого на исследуемую точку объекта.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3810699, кл. G 01 В 11/26, 1974.
2. Патент Японии № 51-17062, кл. G 01 В 11/02, 1976 (прототип).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792822815A SU847017A1 (ru) | 1979-10-02 | 1979-10-02 | Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792822815A SU847017A1 (ru) | 1979-10-02 | 1979-10-02 | Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU847017A1 true SU847017A1 (ru) | 1981-07-15 |
Family
ID=20851953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792822815A SU847017A1 (ru) | 1979-10-02 | 1979-10-02 | Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU847017A1 (ru) |
-
1979
- 1979-10-02 SU SU792822815A patent/SU847017A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4707129A (en) | Three dimensional position measurement system using an interferometer | |
US3572937A (en) | Method and apparatus for interferometric measurement of machine slide roll | |
US2870671A (en) | Autocollimator for measuring angle of incident light beam | |
US3734626A (en) | Light apparatus for testing surfaces | |
US3619070A (en) | Method and apparatus for measuring thickness | |
US3323408A (en) | Optical alignment system | |
SU847017A1 (ru) | Способ измерени малых перемещенийОб'ЕКТА и уСТРОйСТВО дл ЕгО ОСущЕСТВ-лЕНи | |
US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
US3347130A (en) | Optical measuring instruments | |
US3820902A (en) | Measuring method and apparatus which compensate for abbe s error | |
US3814495A (en) | Apparatus for producing a moving beam displaced parallel to itself | |
JPS5593003A (en) | Measuring method for plate thickness of plate-shape transparent body | |
Murty et al. | Method for measurement of parallelism of optically parallel plates | |
SU1620823A1 (ru) | Устройство дл измерени вибраций | |
SU450077A1 (ru) | Устройство дл контрол формы параболической поверхности | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU1693371A1 (ru) | Интерференционный способ определени толщины прозрачных плоскопараллельных объектов | |
SU1464046A1 (ru) | Устройство дл измерени амплитуды угловых колебаний | |
SU1523907A1 (ru) | Сферометр | |
US2821881A (en) | Optical arrangement for analysis of refractive index | |
RU2251682C2 (ru) | Лазерный центратор для рентгеновского излучателя | |
SU739346A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров вибрации | |
JP2527176B2 (ja) | 縞走査シアリング干渉測定装置 | |
SU1397718A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени | |
SU1603190A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров |