Изобретение относитс к арматурестроению и может найти применение в импульсных плазменных устройствах. Известны импульсные электродинамические клапаны, действие которых ос новано Hcf электродинамическом взаимодействии цилиндра и ленты, вл ющейс запорным органом, перекрываю1ДИМ отверсти в стенках цилиндра, через которые поступает газ из полости высокого давлени в камеру высокого вакуума 1. Недостатками таких клапанов вл ютс азимутальна ассиметри истекающего газового потока и неудобства эксплуатации из-за расположени ленты в камере высокого давлени . Известны также импульсные эл ктродинамические клапаны, в корпусе которых установлен кольцевой запорный , перекрывающий кольцевой канал напуска газа и управл емый магнитной катушкой, расположенной концентрично запорному органу 2. Однако расположение магнитной толкающей -катушки с большой поверхностью изол ционного материала на вы ходной стороне 1 лапана затрудн ет получение высокого вакуума, что ограничивает область применени клапана. кроме того, затрудн етс контроль за состо нием катушки. Цель изобретени - упрощение условий эксплуатации. Поставленна цель достигаетс тем, что в корпусе выполнена кольцева опора дл запорного органа, магнитна катушка расположена между кольцевой опорой и одним из торцов запорного органа, а канал напуска выполнен между кольцевой опорой и другим торцом запорного ор1ана.При таком выполнении клапана магнитна катушка изолирована от полости вакуума. На фиг. 1 показан продольный разрез предлагаемого клапана, внешний напуск газа{ на фиг. 2 - то же, внутренний напуск. Кольцевой запорный ,орган 1 с ромбовидным поперечным сечением опираетс на кольцевую опору 2 и перекрывает канал 3 напуска, имеющий уплотнитель 4. С обеих сторон запорного органа 1 размещены уплотнители 5 и 6, отдел ющие полость 7 высокого давлени и камеру 8 вакуума от внешней среды. Запорный орган управл етс магнитной толкающей катушкой 9, расположенной между кольцевой опорой и торцом запорного органа, противоположным торцу, перекрывающему канал напуска.The invention relates to rebartostroyenia and can be used in pulsed plasma devices. Pulsed electrodynamic valves are known, the action of which is based on the Hcf electrodynamic interaction of a cylinder and a tape, which is a shut-off member, blocking the holes in the cylinder walls through the cylinder, through which gas flows from the high-pressure cavity into the high-vacuum chamber 1. The disadvantages of such valves are the azimuthal asymmetry of the outgoing gas flow and inconvenience of operation due to the location of the tape in the high pressure chamber. Pulse electrodynamic valves are also known in which case an annular shut-off valve blocking the annular gas inlet channel and controlled by a magnetic coil located concentrically to the locking member 2 is installed. However, the arrangement of the magnetic pushing coil with a large surface of insulating material on the front side 1 of the valve It does not produce high vacuum, which limits the scope of application of the valve. in addition, it is difficult to monitor the state of the coil. The purpose of the invention is to simplify the operating conditions. The goal is achieved by having an annular support for the locking member in the housing, a magnetic coil is located between the annular support and one of the ends of the locking member, and an inlet channel is provided between the annular support and the other end of the locking organ. With this valve design, the magnetic coil is isolated from the cavity vacuum. FIG. 1 shows a longitudinal section of the valve proposed, the external gas inlet {in FIG. 2 - the same, internal overlap. The annular shut-off organ with a diamond-shaped cross section rests on the annular support 2 and closes the inlet channel 3 having a seal 4. On both sides of the locking member 1, there are seals 5 and 6 separating the high pressure cavity 7 and the vacuum chamber 8 from the external environment. The locking member is controlled by a magnetic pushing coil 9 located between the annular support and the end of the locking member opposite to the butt-end that overlaps the inlet channel.
После подачи электрического импульса в магнитную катушку 9 кольцо 1, опирающеес на кольцевую опору 2, под действием Магнитного давлени деформируетс и занимает положение, изображенное на чертежах штрих-пуиктирной линией. При этом между кольцом 1 и уплотнителем 4 образуетс щель, через которую поступает газ из полости высокого давлени в камёру вакуума. Кольцо 1 после сн ти импульса возвращаетс в исходное положение под действием внутренних упругих сил. Материал кольца 1 долже обладать высокой электропроводностью , малым удельным весом и достаточной упругостью. В качестве такого , материала может быть использован , например дюралюминий марки Д 16.т. After an electric pulse is applied to the magnetic coil 9, the ring 1, which is supported on the annular support 2, is deformed under the influence of the magnetic pressure and takes the position depicted in the drawings by the dotted line. A gap is formed between the ring 1 and the seal 4, through which gas flows from the high-pressure cavity into the vacuum chamber. After taking off the pulse, the ring 1 returns to its initial position under the action of internal elastic forces. The material of the ring 1 should have a high electrical conductivity, low specific weight and sufficient elasticity. As such, the material can be used, for example duralumin grade D 16.t.
Предлагаема конструкци клапана расшир ет область применени клапана , упрощает наладку, эксплуатацию и контроль за состо нием магнитной катушки.The proposed valve design expands the scope of application of the valve, simplifies commissioning, operation and monitoring of the state of the magnetic coil.