SU843028A1 - Устройство дл осаждени слоев изгАзОВОй фАзы - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

1

Изобретение относитс  к изготовлению установок дл  осаждени  слоев из парогазовой фазы с лучистым нагревом и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем дл  проведени  процессов эпитаксиального наращивани  кремни ,, нитрида кремни  низкотемпературного осаждени  легированных слоев SiO,j и т.д.

Известна установка осаждени  слоер из парогазовой фазы с лучистым нагревом 1.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  устройство дл  осаждени  слоев из газовой фазы, содержащее реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкодержателем , водоохлаждаемые отражатели с излучател ми, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси 2.

Недостатками известных устройств вл ютс  неравномерность нагрева подложек и низка  надежность.

Цель изобретени  - повышение равномерности нагрева подложек и повышение надежности.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  осаждени  елоев из газовой фазы, содержащем реактор , выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкЬдержателем , водоохлаждаемые отражатели с излучател ми, расположенные с его внешней стороны, и систему

0 подачи и отвода газовой смеси, наружна  кварцева  оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающих друг к другу по образующим.

5

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Устройство дл  осаждени  слоев из газовой фазы включает -в себ  че0 тыре водоохлаждаемых отражател  1, вн-утри которых установлены .в ша хматном пор дке по высоте излучатели 2 типа галогенных,или газоразр дных ламп. С отражател ми 1 состыкованы

5 фланцы 3 с коллекторами подачи 4 и отвода 5 воздуха, охлаждающего уплотненный в них кварцевый реактор 6. В фланцах 3 закреплена кварцева  оболочка 7,  вл юща с  внешней стенкой реактора 6. Кварцева  оболочка 7

выполнена в виде набора цилиндривеских стержней 8, плотно прилегающих друг к другу по обраэукш.им. Кварцевый реактор 6 уплотнен крышкой 9 и имеет устройства подачи 10 и отвода 11 газовой смеси. В крышке 9 установлен вращаемый подложкодержатель 12 в виде тонкосте.нной усеченной пирамиды, на гран х которой размещены полупроводниковые подложки 13.

Отражатели 1 с установленными на них элементами закреплены в герметичном каркасе 14, в который нагнетаетс  охлаждающий колбу излучателей 2 воздух.

Устройство работает следующим образом .

Оболочка 7 обеспечивает светорассеивание лучистых потоков, так как каждый цилиндрический стержень 8  вл етс  линзой с минимальным фокусным рассто нием. В результате наличи  большого числа- линз обеспечиваетс  перераспределение и выравнивание лучистых потоков по поверхности пирамиды, что уменьшает вли ние  влени  полосатости нагрева Воздушное охлаждение реактора б и излучателей 2 осуществл етс  двум  параллельными потоками воздуха, один из которых поступает из коллектора 4, другой - из каркаса 14 через отверсти  15 дл  установки излучателей 2. Потоки воздуха объедин ютс  в коллекторе 5, причем воздух от излучателей 2 поступает через неплотности между стержн ми 8 за счет избыточного статического давлени  в каркасе 14. При взрыве реактора б куски кварца удар ютс  в цилиндрические стержни 8 и их кинематическа  энерги  гаситс , в то врем 

как взрывна  волна может беспреп тственно пройти через неплотности между ними и погаситьс  в большом объеме. f

Таким образом, кварцева  оболочка 7 выполн ет несколько функций: рассеивает лучистые потоки, падающие на подложкодержатель, выравнивает температурные пол , организует воздушные потоки в щелевом зазоре у поверхности реактора б, гасит взрывную волну и защищает излучатели и отражатели от механических повреждений . При этом конструкци  устройства упрощаетс .

Claims (2)

1. Обзоры по электронной технике.

Полупроводниковые приборы

Сер.

вып. П, Ч.1, ПМ., 1975.

2. Авторское свидетельство СССР 180271, кл. 21 h S/02, 1964 (прототип).