SU838633A1 - Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА - Google Patents
Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА Download PDFInfo
- Publication number
- SU838633A1 SU838633A1 SU792815859A SU2815859A SU838633A1 SU 838633 A1 SU838633 A1 SU 838633A1 SU 792815859 A SU792815859 A SU 792815859A SU 2815859 A SU2815859 A SU 2815859A SU 838633 A1 SU838633 A1 SU 838633A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- image
- composite mirror
- composite
- holes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
Изобретение относитс к оптико-элек-рронному приборостроению и может быть использовано дл механической сборки объектива из -cocTafiiTbix аьркап, а также дл автоматического контрол качества юстировки составного зеркапа в процессе работы Телескопа.
Известные устройства автоматической юстировки составных зеркал содержат датчик углсжых и линейных раатьюстировок зеркапа, св занных с фотоприемным устройством , и бпок формировани управп юших сигналов. Датчик угловых и линейных рааъюстировок зеркала состоит из Vii 1 (п - число элементов зеркала) интерн ({«рометров белого света, расположенных на стыках элементов зеркала и выдающих информацию об осевых смешени х зеркал, интерферометра Майкельсона, выдающего информацию об угловых разьюстировках элементов зеркала. Интёрферо метр Майкельсона содержит источник све-i та-лазер, расширитель светового пучхамонокул тор , светоделитепьную пластинку с точными пове)хност мн из высокооднородного стекла, плоское эталонное зеркало, закрепленное дл осуществлени модул ции пучка на пьезодвижителе , двухлинзовый объектив, обеспечивающий нужный диаметр интерференцион- ной картины в датчике. В качестве (Jx топриемника применен диссектор. Способ построени электронного устройства выделени сигналов вытекает из последовательности юстировочных операций.
Перва операци -остировки предназначена дл грубых юстировок ошибок наклона на каждом элементе зеркала и выполн етс по достижении минимума числа полос в интер({)еренционной картине при последовательном сканировании в двух вз:нмно перпендикул рных направлени х. х: Втора операци - тонка юстирсжка навлонов и груба юстировка фокуса каждого элемента зеркала - выполн етс последовательно. В результате единственно присутствующими полосами будут колыш, центрированные в центре изображени элемента .и указь1вающие осевую ошибку.
Треть операци - юстировка осевой ошибки относительно положени элементов зеркала , выполн етс с помощью датчика неоп зеделейности (ннтер(|)ероме ра; белого света) одновременно дл каждого элемента зеркала.
Четверта операци фазовое измерение всех видов ошибок в монохроматИ песком датчике в аредепах А /4«
П та операци фазовое измерениэ всех видов ошибок в пределах всего зеркала с точностью /20 на всем зер1шле . Сравниваютс все эталонные точки с одной маркированной точкой
Недостаток известного устройства состоит в его сложности, так как в качеств датчика осевых и угловых разъюстиро . вок требуетс применение интерфером тра Майкельсона, работаюпего в монохромтическом свете, и (п - 1) интерферометров белого света. Спожнь;й процесс гостировки диктует сложное построение электроной схемы обработки и выделени управл ющих сигналов.
Цепь изобретени - создание устройства значительно менее сложного по конструкции с простым электронным бло. ком формирсжанн управл ющих сигналов и, следовательно9 более надежногс§ в эксп луатации.
Указанна цель достигаетс тем, что в указанном устройстве датчик угловых и линейных разъюстировок зеркала соетоит из точечного источника света, выполненного в виде светодиода, установленного в центре кривизны составного зеркала, и питаемого от генератора опоного напр жени , визуализирующего ножа , установленного в плоскости дифракционного изображени , источника с возможностью перекрывани его в двух взаимно- перпендикул рных направлени х относительно оптической оси, и проакдйонного объектива, а фотолриемное устройство выполнено в виде маски с набором отверстий, установленной в плоскости теневого изображени ,, составного зеркала и блока фртоприемников, установленных в отверсти х маски.
Причем отверсти в маске расположены таким образом, что на каждом изображении элемента зеркала приходитс по четыре отверстрш, размешенных по парно симметрично относительно центра изображени , в двух взаимно перпенди кул рных направлени х.
I На фиг, 1 изображена блок- схема устройства юстировки составного зеркала, на фиг, 2 - маскл накладываема па теневую картину составного зеркала, . на фиГо 3 - функциональна схема блоке формировани управл ющхтх сигналов
Устройство содержит составное зеркало 1, источник 2 света в виде светодиода , питающегос от генератора 3 опорного напр жени , точечную диафрагму 4; визуализирующий нож 5 с приводом 6, проекционный объектив 7, маску 8 с от15ерсти ми, блок 9 фотоприемников, электронный блок 10 формировани управл ющих сигналов и приводы 11.
Нож 5 устанавливаетс в плоскос-и дкракционного изображени точечного источника 2, Нож 5 с помощью приводв б может перекрывать дифракиионкое изображение точки по центру в двух взаимно пепендикул рных направ;1ен1-ог% отвосительно оптической оси, Е плоскссти тевевогс изображени составного зеркала устаказливаетс непрозрачна маске с отверсп-шм таким образоМ; ч.то на каждое изображение элемента зеркала приходитс по четыре отверсти , расположенных попарно симметрично на рассто нии О,-8 ч от цент™ ра (г редиус теневого изображени элемента составного зеркала). Маска 8 изображена на фиг,, 2, Напротив каждого из отверстий маски устанавливаетс фотоприемник, общее число фотокриемников 4п , В качестве приводов могут быть использовань5 пьезодвижители.
Устройство работает следующим обра азм„
Известно, что при продольном смещении элемента зеркала наблюдаетс неревномерное .потемнение теневой картины этого элемента в направлении:, перпендикул рном лезвию ножа,, что фиксируетс соответствующей парой фотоприеь ников Устройство чувствительно к знаку дефо™ кусировки, так как при его изменении мен етс направление потемнени в теневой картине, что соответствующим образом фиксируетс фотоприемЕ гым уст. ройством. При наклонах элемента зеркла освещенность теневой картины этого элемента либо равномерно уменьшаетс , либо равномерно увеличиваетс , 3 случае отъюстированно1 о элемента зеркала при ОДНОМ положении ножа имеем-О,-, - 3,,-- 0
- iaV 2/ DaeAS соответствующих фотопрттеникое,
БЛОК формировани зшравп ющих сю -н;-1- пов (фиг„ З) содержит генератор 12 опорного иагф жени 12, подключенный к источ нику 1М света, логический элемент 12 (п - число элементов составног эеркапа 14, дза0.с, триггера 15, 16, привод ножа 17, логические элементы п 14-НЕ 18 , 2 14-НЕ 19, , иптздентичных схем обработки сигналов с фотоприемников , кажда из которых содержит канал отработки дефокусировки, состо щий из фотоприемников 20, 21, вычитающего усили ел 22, полосового усилите п 23, синхронного детектора 24, ключа 25, привода фокусировки 26, двухпорогового компаратора 27 и два канала отработки наклонов, oi-,cL- , состо щие из фотопре им НИКОВ 20, 21 и 28, 29, суммируюших усилителей 30, 31, полосовых усилителей 32, 33, детекторов 34, 35, вычитающих усилителей 36, 37, ключей 38, 39, приводов и , двухпороговых компараторов 42, 43 соо ветственно. Бпок работает следующим образом. Фотоприемники 20, 21, 28, 29 освещаютс модулированным лучистым потоком от источника 13, в качестве которо го используетс светодиод. Модул ци ос ществл етс генератором 12, Если элемент составного зеркала сфокусирован, т сигналы с фотоприемников 20, 21 одинаковы , и на выходе вычитающего усили тел 22 сигнал отсутствует В случае дефокусировки на выхода усилител 22 по вл етс , сигнал, который усиливаетс полосовым усилители/ 23, настроенным на частоту модул ции, и подаетс на синхронный детектор 24. С выхода синхронного детектора 24 сигнал, соответству ощий величине и знаку .дефокусировки,, поступает через ключ 25 на привод фоку сировки 26, перемещающий элемент составного зеркала вдоль его оси до тех пор, пока дефокусировка не станет меньше допу|;ттлой, т.е. напр жение на выходе синхронного детектора не станет меньше некоторого значени При этом двухпороговый компаратор 27, подключенный к выходу синхронного детектора 24, переходит из -.состо ни логического О в состо ние логической 1. Одновременно-с фокусировкой производитс отработка наклона ОС Сигналы с фотоприемникЪв, 20, 21 суммируютс суммирующим усилителем 30, усиливаютс полосовым усилителем32 и поступают на амплитудный детектЬр 34 Напр жение с выхода детектора 34 сравниваетс в вычитающем усилителе 36 с onopKbttvf напр жением UQP , соответствую- шйм полностью от1зюстированному элементу составного зеркала. С выхода усилител 36 сигнал, соответствующтй величине и знаку наклона су1- , через ключ 38 подаетс на привод по О, наклон ющий элемент составного зеркала до тех пор, пока наклон no,oixt не станет меньше допустимого. При этом двухпороговый компаратор 42, подключенный к выходу вычитающего устотител 36, переходит из состо ни логического О ,в состо ние лоптческой 1. После отработки дефокусировки и наклона о ;Всех апементов составного зеркала на выходе пог1 ческого элемента 2 п И-НЕ 14, входыкоторого -Подключены к выходам компараторов 27, 42 всех р схем обработки сигналов с фотоприемников, установитс С11гнал ;логического О, вызывающий установку псгического О на пр мом выходе триггера 15 с и срабатывание ключей 25, 38, отключающих пр1тводы фокусировки и наклона всех . п элементов составного зеркала, и установку зеркала, и установку логической 1 на выходе триггера 16, котора вызывает подключение привода по 0//у 41 к выходу вычитающего усилител 37 ключом 39. Сигнал логической I с инверсного выхода триггера 15 включает привод ножа 17, перевод щий нож во второе положение. Далее производитс отработка наклонао ч -аналогично отработ ке наклона ctx После отработки лакгюна oL всех п элементов на выходе логического элемента 18 установ.итс сигнал логттческого 0, вызывающий переключение триггера 16 и установку .логического О на пр мом выходе и срабатывание ключей, отключающих приводы посбу всех элементов составного зеркала . При этом на выходе логического элемента 2 И-НЕ 19, входы которого подключены к инверсным выходам триггеров 15, устанавливаетс сигнал логического О, который можно использовать как кокеи юстировки составного зеркала . Эффективность устройства состоит в том, что отпадает необходимость исполь зозани интерферометров, ОКГ и специального вычислительного устройства, обрабатывающего информацию интерфере ционных картин. При использовании, например , в космических телескопах все это снижает массу, электропотребление, вепнчивает надежнос.ть телескопа.
Формула и-э обретен
.1о Устройство автоматической юстировки составного зерка гв, сойержииее латчик уг овык и линейных разъгсютйрсз вок зеркала, соединенных с фотоприемным устройством, и блок формированЕЯ управл ющих сигналов, отличающеес , т&л, что, с цепьх) упрста&ни .конструкции устройства, угловых и линейнык разъ остйрово.к зерка бсостоит из точечного зжточнйкв света;, выполненного в виде светгодйОйа, установленного в центре кривизны составного зеркала, к питаемого от генератора опорного напр жени , ввауат нрующего ножа, установленного в. JBICCKOCTH дифракционного изображени |к;тсрэника с воэможностью перекрываний его в дву . взаимно перпендикуп ршйх кагаравлени х.
относительно оптической оси, и проекиионного объектива а фотоприемное уст - ройтсво выполнено в виде, маски с набором отверстий;, ус танов пенной в ппоско-ти теневого изображени , составного зеркала и блока фотоприемниковд установлбнныж в отверсти х маски
2 Устройство оо п. Ij о т п и ч а ю та е -е с тем, что отверсти в маске рас положены таким с-брааом, что на каждое изображение элемента зеркепа приходйтс по 4 отверсти , раамещекных попарно сйь/(метрично относительно цек-рра изображени в двук взаимно перпендкisynsipiibVfi направлени Хе
Источники -информации, прин тые во вш-5мание при экспертизе 1„ Исследование возможнехзти изгстовленн зеркал. Отчет ГОИ глл С, И, Ве .вйпова,, 1972 (прототип).
Claims (2)
- Ί Формула и-э обретения .1, Устройство автоматической юстировки составного зеркала, содержащее датчик угловых и линейных разъюстировок зеркала, соединенных с фотоприемным устройством, и блок формирования управляющих сигналов, отличающееся. тел, что, с целью упрощения конструкции устройства, датчик угловых и линейных разъюстировок зеркаласостоит из точечного источника света, выполненного в виде светодиода, установленного в центре кривизны составного зеркала, и питаемого от генератора опорного напряжения, визуализирующего ножа, установленного и., · jbicckocth дифракционного изображении источника с__воэможностью перекрывания его в двух, взаимно перпендикулярных направлениях)8 относительно оптической оси, и проекционного объектива, а фотоприемное уст ройтсво выполнено в ввде, ' маски с набором отверстий, установленной в плос— ζ кости теневого изображения, составного зеркала и блока фотоприемников, установленных в отверстиях маски»
- 2. Устройство по» п« ^отличающееся тем, что отверстия в маеЧб ке расположены таким образом, что на каждое изображение элемента зеркепа приходится по 4 отверстия, размещенных попарно симметрично относительно центра изображения в двух взаимно перпенди?5 купярных направлениях.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792815859A SU838633A1 (ru) | 1979-09-10 | 1979-09-10 | Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792815859A SU838633A1 (ru) | 1979-09-10 | 1979-09-10 | Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU838633A1 true SU838633A1 (ru) | 1981-06-15 |
Family
ID=20848988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792815859A SU838633A1 (ru) | 1979-09-10 | 1979-09-10 | Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU838633A1 (ru) |
-
1979
- 1979-09-10 SU SU792815859A patent/SU838633A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8938317B2 (en) | System and method for calibrating laser cutting machines | |
US3715165A (en) | Investigating the topography of reflecting surfaces | |
US4576480A (en) | Optical alignment system | |
US3943359A (en) | Apparatus for relatively positioning a plurality of objects by the use of a scanning optoelectric microscope | |
US4636626A (en) | Apparatus for aligning mask and wafer used in semiconductor circuit element fabrication | |
CN107765426B (zh) | 基于对称离焦双探测器的自聚焦激光扫描投影装置 | |
US4872756A (en) | Dual path interferometer with varying difference in path length | |
CN102288113A (zh) | 光学位置测量设备 | |
KR20200099614A (ko) | 저 잡음, 높은 안정성, 심 자외선, 연속파 레이저 | |
US11977035B2 (en) | Surface shape detection device and detection method | |
CN112577431A (zh) | 光栅尺测量装置及测量方法 | |
JP3162458B2 (ja) | 自動アライメント調整装置 | |
SU838633A1 (ru) | Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА | |
CN109946711B (zh) | 基线伸缩与旋转的合成孔径光学成像试验系统 | |
US4740677A (en) | Axis separator electronic translator | |
US5362956A (en) | Piston error sensor for phased optical arrays | |
SU662796A1 (ru) | Устройство дл настройки сканирующего интерферометра | |
US3322953A (en) | Crossed slot scanner for developing a lissajous scanning pattern | |
KR100194598B1 (ko) | 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치 | |
RU1567058C (ru) | Способ юстировки лазерного резонатора | |
JPH03152490A (ja) | レーザビーム方向制御装置 | |
RU2044272C1 (ru) | Устройство для измерения дальности | |
SU1281950A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
JPS6318208A (ja) | 面形状測定装置 | |
WO2024149725A1 (en) | Laser writer and method for operating a laser writer |