SU838633A1 - Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА - Google Patents

Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА Download PDF

Info

Publication number
SU838633A1
SU838633A1 SU792815859A SU2815859A SU838633A1 SU 838633 A1 SU838633 A1 SU 838633A1 SU 792815859 A SU792815859 A SU 792815859A SU 2815859 A SU2815859 A SU 2815859A SU 838633 A1 SU838633 A1 SU 838633A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
image
composite mirror
composite
holes
Prior art date
Application number
SU792815859A
Other languages
English (en)
Inventor
Валерий Иванович Костюкевич
Марьям Ахметовна Агеева
Александр Владимирович Семенов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3771
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3771 filed Critical Предприятие П/Я А-3771
Priority to SU792815859A priority Critical patent/SU838633A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU838633A1 publication Critical patent/SU838633A1/ru

Links

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

Изобретение относитс  к оптико-элек-рронному приборостроению и может быть использовано дл  механической сборки объектива из -cocTafiiTbix аьркап, а также дл  автоматического контрол  качества юстировки составного зеркапа в процессе работы Телескопа.
Известные устройства автоматической юстировки составных зеркал содержат датчик углсжых и линейных раатьюстировок зеркапа, св занных с фотоприемным устройством , и бпок формировани  управп юших сигналов. Датчик угловых и линейных рааъюстировок зеркала состоит из Vii 1 (п - число элементов зеркала) интерн ({«рометров белого света, расположенных на стыках элементов зеркала и выдающих информацию об осевых смешени х зеркал, интерферометра Майкельсона, выдающего информацию об угловых разьюстировках элементов зеркала. Интёрферо метр Майкельсона содержит источник све-i та-лазер, расширитель светового пучхамонокул тор , светоделитепьную пластинку с точными пове)хност мн из высокооднородного стекла, плоское эталонное зеркало, закрепленное дл  осуществлени  модул ции пучка на пьезодвижителе , двухлинзовый объектив, обеспечивающий нужный диаметр интерференцион- ной картины в датчике. В качестве (Jx топриемника применен диссектор. Способ построени  электронного устройства выделени  сигналов вытекает из последовательности юстировочных операций.
Перва  операци  -остировки предназначена дл  грубых юстировок ошибок наклона на каждом элементе зеркала и выполн етс  по достижении минимума числа полос в интер({)еренционной картине при последовательном сканировании в двух вз:нмно перпендикул рных направлени х. х: Втора  операци  - тонка  юстирсжка навлонов и груба  юстировка фокуса каждого элемента зеркала - выполн етс  последовательно. В результате единственно присутствующими полосами будут колыш, центрированные в центре изображени  элемента .и указь1вающие осевую ошибку.
Треть  операци  - юстировка осевой ошибки относительно положени  элементов зеркала , выполн етс  с помощью датчика неоп зеделейности (ннтер(|)ероме ра; белого света) одновременно дл  каждого элемента зеркала.
Четверта  операци  фазовое измерение всех видов ошибок в монохроматИ песком датчике в аредепах А /4«
П та  операци  фазовое измерениэ всех видов ошибок в пределах всего зеркала с точностью /20 на всем зер1шле . Сравниваютс  все эталонные точки с одной маркированной точкой
Недостаток известного устройства состоит в его сложности, так как в качеств датчика осевых и угловых разъюстиро . вок требуетс  применение интерфером тра Майкельсона, работаюпего в монохромтическом свете, и (п - 1) интерферометров белого света. Спожнь;й процесс гостировки диктует сложное построение электроной схемы обработки и выделени  управл  ющих сигналов.
Цепь изобретени  - создание устройства значительно менее сложного по конструкции с простым электронным бло. ком формирсжанн  управл ющих сигналов и, следовательно9 более надежногс§ в эксп луатации.
Указанна  цель достигаетс  тем, что в указанном устройстве датчик угловых и линейных разъюстировок зеркала соетоит из точечного источника света, выполненного в виде светодиода, установленного в центре кривизны составного зеркала, и питаемого от генератора опоного напр жени , визуализирующего ножа , установленного в плоскости дифракционного изображени , источника с возможностью перекрывани  его в двух взаимно- перпендикул рных направлени х относительно оптической оси, и проакдйонного объектива, а фотолриемное устройство выполнено в виде маски с набором отверстий, установленной в плоскости теневого изображени ,, составного зеркала и блока фртоприемников, установленных в отверсти х маски.
Причем отверсти  в маске расположены таким образом, что на каждом изображении элемента зеркала приходитс  по четыре отверстрш, размешенных по парно симметрично относительно центра изображени , в двух взаимно перпенди кул рных направлени х.
I На фиг, 1 изображена блок- схема устройства юстировки составного зеркала, на фиг, 2 - маскл накладываема  па теневую картину составного зеркала, . на фиГо 3 - функциональна  схема блоке формировани  управл ющхтх сигналов
Устройство содержит составное зеркало 1, источник 2 света в виде светодиода , питающегос  от генератора 3 опорного напр жени , точечную диафрагму 4; визуализирующий нож 5 с приводом 6, проекционный объектив 7, маску 8 с от15ерсти ми, блок 9 фотоприемников, электронный блок 10 формировани  управл ющих сигналов и приводы 11.
Нож 5 устанавливаетс  в плоскос-и дкракционного изображени  точечного источника 2, Нож 5 с помощью приводв б может перекрывать дифракиионкое изображение точки по центру в двух взаимно пепендикул рных направ;1ен1-ог% отвосительно оптической оси, Е плоскссти тевевогс изображени  составного зеркала устаказливаетс  непрозрачна  маске с отверсп-шм таким образоМ; ч.то на каждое изображение элемента зеркала приходитс  по четыре отверсти , расположенных попарно симметрично на рассто нии О,-8 ч от цент™ ра (г редиус теневого изображени  элемента составного зеркала). Маска 8 изображена на фиг,, 2, Напротив каждого из отверстий маски устанавливаетс  фотоприемник, общее число фотокриемников 4п , В качестве приводов могут быть использовань5 пьезодвижители.
Устройство работает следующим обра азм„
Известно, что при продольном смещении элемента зеркала наблюдаетс  неревномерное .потемнение теневой картины этого элемента в направлении:, перпендикул рном лезвию ножа,, что фиксируетс  соответствующей парой фотоприеь ников Устройство чувствительно к знаку дефо™ кусировки, так как при его изменении мен етс  направление потемнени  в теневой картине, что соответствующим образом фиксируетс  фотоприемЕ гым уст. ройством. При наклонах элемента зеркла освещенность теневой картины этого элемента либо равномерно уменьшаетс , либо равномерно увеличиваетс , 3 случае отъюстированно1 о элемента зеркала при ОДНОМ положении ножа имеем-О,-, - 3,,-- 0
- iaV 2/ DaeAS соответствующих фотопрттеникое,
БЛОК формировани  зшравп ющих сю -н;-1- пов (фиг„ З) содержит генератор 12 опорного иагф жени  12, подключенный к источ нику 1М света, логический элемент 12 (п - число элементов составног эеркапа 14, дза0.с, триггера 15, 16, привод ножа 17, логические элементы п 14-НЕ 18 , 2 14-НЕ 19, , иптздентичных схем обработки сигналов с фотоприемников , кажда  из которых содержит канал отработки дефокусировки, состо щий из фотоприемников 20, 21, вычитающего усили ел  22, полосового усилите п  23, синхронного детектора 24, ключа 25, привода фокусировки 26, двухпорогового компаратора 27 и два канала отработки наклонов, oi-,cL- , состо щие из фотопре им НИКОВ 20, 21 и 28, 29, суммируюших усилителей 30, 31, полосовых усилителей 32, 33, детекторов 34, 35, вычитающих усилителей 36, 37, ключей 38, 39, приводов и , двухпороговых компараторов 42, 43 соо ветственно. Бпок работает следующим образом. Фотоприемники 20, 21, 28, 29 освещаютс  модулированным лучистым потоком от источника 13, в качестве которо го используетс  светодиод. Модул ци  ос ществл етс  генератором 12, Если элемент составного зеркала сфокусирован, т сигналы с фотоприемников 20, 21 одинаковы , и на выходе вычитающего усили тел  22 сигнал отсутствует В случае дефокусировки на выхода усилител  22 по вл етс , сигнал, который усиливаетс  полосовым усилители/ 23, настроенным на частоту модул ции, и подаетс  на синхронный детектор 24. С выхода синхронного детектора 24 сигнал, соответству ощий величине и знаку .дефокусировки,, поступает через ключ 25 на привод фоку сировки 26, перемещающий элемент составного зеркала вдоль его оси до тех пор, пока дефокусировка не станет меньше допу|;ттлой, т.е. напр жение на выходе синхронного детектора не станет меньше некоторого значени  При этом двухпороговый компаратор 27, подключенный к выходу синхронного детектора 24, переходит из -.состо ни  логического О в состо ние логической 1. Одновременно-с фокусировкой производитс  отработка наклона ОС Сигналы с фотоприемникЪв, 20, 21 суммируютс  суммирующим усилителем 30, усиливаютс  полосовым усилителем32 и поступают на амплитудный детектЬр 34 Напр жение с выхода детектора 34 сравниваетс  в вычитающем усилителе 36 с onopKbttvf напр жением UQP , соответствую- шйм полностью от1зюстированному элементу составного зеркала. С выхода усилител  36 сигнал, соответствующтй величине и знаку наклона су1- , через ключ 38 подаетс  на привод по О, наклон ющий элемент составного зеркала до тех пор, пока наклон no,oixt не станет меньше допустимого. При этом двухпороговый компаратор 42, подключенный к выходу вычитающего устотител  36, переходит из состо ни  логического О ,в состо ние лоптческой 1. После отработки дефокусировки и наклона о ;Всех апементов составного зеркала на выходе пог1 ческого элемента 2 п И-НЕ 14, входыкоторого -Подключены к выходам компараторов 27, 42 всех р схем обработки сигналов с фотоприемников, установитс  С11гнал ;логического О, вызывающий установку псгического О на пр мом выходе триггера 15 с и срабатывание ключей 25, 38, отключающих пр1тводы фокусировки и наклона всех . п элементов составного зеркала, и установку зеркала, и установку логической 1 на выходе триггера 16, котора  вызывает подключение привода по 0//у 41 к выходу вычитающего усилител  37 ключом 39. Сигнал логической I с инверсного выхода триггера 15 включает привод ножа 17, перевод щий нож во второе положение. Далее производитс  отработка наклонао ч -аналогично отработ ке наклона ctx После отработки лакгюна oL всех п элементов на выходе логического элемента 18 установ.итс  сигнал логттческого 0, вызывающий переключение триггера 16 и установку .логического О на пр мом выходе и срабатывание ключей, отключающих приводы посбу всех элементов составного зеркала . При этом на выходе логического элемента 2 И-НЕ 19, входы которого подключены к инверсным выходам триггеров 15, устанавливаетс  сигнал логического О, который можно использовать как кокеи юстировки составного зеркала . Эффективность устройства состоит в том, что отпадает необходимость исполь зозани  интерферометров, ОКГ и специального вычислительного устройства, обрабатывающего информацию интерфере ционных картин. При использовании, например , в космических телескопах все это снижает массу, электропотребление, вепнчивает надежнос.ть телескопа.
Формула и-э обретен
.1о Устройство автоматической юстировки составного зерка гв, сойержииее латчик уг овык и линейных разъгсютйрсз вок зеркала, соединенных с фотоприемным устройством, и блок формированЕЯ управл ющих сигналов, отличающеес , т&л, что, с цепьх) упрста&ни  .конструкции устройства, угловых и линейнык разъ остйрово.к зерка бсостоит из точечного зжточнйкв света;, выполненного в виде светгодйОйа, установленного в центре кривизны составного зеркала, к питаемого от генератора опорного напр жени , ввауат нрующего ножа, установленного в. JBICCKOCTH дифракционного изображени  |к;тсрэника с воэможностью перекрываний его в дву . взаимно перпендикуп ршйх кагаравлени х.
относительно оптической оси, и проекиионного объектива а фотоприемное уст - ройтсво выполнено в виде, маски с набором отверстий;, ус танов пенной в ппоско-ти теневого изображени , составного зеркала и блока фотоприемниковд установлбнныж в отверсти х маски
2 Устройство  оо п. Ij о т п и ч а ю та е -е с   тем, что отверсти  в маске рас положены таким с-брааом, что на каждое изображение элемента зеркепа приходйтс  по 4 отверсти , раамещекных попарно сйь/(метрично относительно цек-рра изображени  в двук взаимно перпендкisynsipiibVfi направлени Хе
Источники -информации, прин тые во вш-5мание при экспертизе 1„ Исследование возможнехзти изгстовленн  зеркал. Отчет ГОИ глл С, И, Ве .вйпова,, 1972 (прототип).

Claims (2)

  1. Ί Формула и-э обретения .1, Устройство автоматической юстировки составного зеркала, содержащее датчик угловых и линейных разъюстировок зеркала, соединенных с фотоприемным устройством, и блок формирования управляющих сигналов, отличающееся. тел, что, с целью упрощения конструкции устройства, датчик угловых и линейных разъюстировок зеркаласостоит из точечного источника света, выполненного в виде светодиода, установленного в центре кривизны составного зеркала, и питаемого от генератора опорного напряжения, визуализирующего ножа, установленного и., · jbicckocth дифракционного изображении источника с__воэможностью перекрывания его в двух, взаимно перпендикулярных направлениях)
    8 относительно оптической оси, и проекционного объектива, а фотоприемное уст ройтсво выполнено в ввде, ' маски с набором отверстий, установленной в плос— ζ кости теневого изображения, составного зеркала и блока фотоприемников, установленных в отверстиях маски»
  2. 2. Устройство по» п« ^отличающееся тем, что отверстия в маеЧб ке расположены таким образом, что на каждое изображение элемента зеркепа приходится по 4 отверстия, размещенных попарно симметрично относительно центра изображения в двух взаимно перпенди?5 купярных направлениях.
SU792815859A 1979-09-10 1979-09-10 Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА SU838633A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792815859A SU838633A1 (ru) 1979-09-10 1979-09-10 Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792815859A SU838633A1 (ru) 1979-09-10 1979-09-10 Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU838633A1 true SU838633A1 (ru) 1981-06-15

Family

ID=20848988

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792815859A SU838633A1 (ru) 1979-09-10 1979-09-10 Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU838633A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8938317B2 (en) System and method for calibrating laser cutting machines
US3715165A (en) Investigating the topography of reflecting surfaces
US4576480A (en) Optical alignment system
US3943359A (en) Apparatus for relatively positioning a plurality of objects by the use of a scanning optoelectric microscope
US4636626A (en) Apparatus for aligning mask and wafer used in semiconductor circuit element fabrication
CN107765426B (zh) 基于对称离焦双探测器的自聚焦激光扫描投影装置
US4872756A (en) Dual path interferometer with varying difference in path length
CN102288113A (zh) 光学位置测量设备
KR20200099614A (ko) 저 잡음, 높은 안정성, 심 자외선, 연속파 레이저
US11977035B2 (en) Surface shape detection device and detection method
CN112577431A (zh) 光栅尺测量装置及测量方法
JP3162458B2 (ja) 自動アライメント調整装置
SU838633A1 (ru) Устройство автоматической юстировкиСОСТАВНОгО зЕРКАлА
CN109946711B (zh) 基线伸缩与旋转的合成孔径光学成像试验系统
US4740677A (en) Axis separator electronic translator
US5362956A (en) Piston error sensor for phased optical arrays
SU662796A1 (ru) Устройство дл настройки сканирующего интерферометра
US3322953A (en) Crossed slot scanner for developing a lissajous scanning pattern
KR100194598B1 (ko) 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치
RU1567058C (ru) Способ юстировки лазерного резонатора
JPH03152490A (ja) レーザビーム方向制御装置
RU2044272C1 (ru) Устройство для измерения дальности
SU1281950A1 (ru) Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива
JPS6318208A (ja) 面形状測定装置
WO2024149725A1 (en) Laser writer and method for operating a laser writer