SU828262A1

SU828262A1 - Электростатический анализатор

Info

Publication number: SU828262A1
Application number: SU792738462A
Authority: SU
Inventors: Александр Евгеньевич Белиовский
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4937
Priority date: 1979-03-11
Filing date: 1979-03-11
Publication date: 1981-05-07

Description

Изобретение относится к области спектроскопии пучков заряженных частиц, в частности к электростатическим анализаторам типа «цилиндрическое зеркало», и может быть использовано при спектроскопии 5 Оже и фотоэлектродов.

Известен электростатический анализатор энергий заряженных частиц типа «цилиндрическое зеркало», содержащий пары коаксиальных цилиндрических электродов [1]. 10

К наружному электроду прикладывается медленно меняющийся потенциал U_o, однополярный заряду анализируемых частиц. Внутренний цилиндрический электрод находится обычно под нулевым потенциалом 15 и имеет кольцевые апертурные щели, затянутые мелкоструктурной сеткой для обеспечения цилиндричности эквипотенциальных поверхностей вблизи самых щелей. Этот анализатор содержит также источник 20 заряженных частиц, приемную диафрагму и детектор заряженных частиц.

Недостатком его является повышенная сложность конструкции устройства.

Наиболее близким к предложенному яв- 25 ляется электростатический анализатор энергии заряженных частиц, содержащий источник заряженных частиц, цилиндрические наружный электрод и основной внутренний электрод, выполненный с входной и 30 выходной апертурными щелями, затянутыми металлическими мелкоструктурными сетками, диафрагму и приемник заряженных частиц [2].

Основным недостатком этого анализатора является невысокая разрешающая способность, обусловленная большим абстракционным размытием пучка в приемнике.

Целью изобретения является повышение разрешающей способности анализатора.

Эта цель достигается тем, что в электростатическом анализаторе энергии заряженных частиц, содержащем источник заряженных частиц, цилиндрические наружный электрод и основной внутренний электрод, выполненный с входной и выходной кольцевыми апертурными щелями, затянутыми мелкоструктурными сетками, диафрагму и приемник заряженных частиц, имеется по крайней мере один дополнительный сетчатый электрод цилиндрической формы и два дополнительные кольцевые электроды, причем дополнительный сетчатый электрод установлен внутри основного внутреннего электрода против выходной апертурной щели соосно этому электроду, а кольцевые дополнительные электроды — между внутренним основным и дополнительным сетчатым электродами по разные стороны от вы3 ходной апертурной щели соосно внутреннему основному электроду.

Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором представлена схема устройства.

Устройство состоит из внутреннего основного электрода 1 с входной апертурной щелью, затянутой сеткой 2 и выходной апертурной щелью, затянутой сеткой 3, наружного цилиндрического электрода 4, торцовых систем защиты 5, диафрагмы 6 и приемника-детектора 7 заряженных частиц. Кроме того, в устройство входят дополнительный сетчатый электрод 8 и дополнительные кольцевые электроды 9 и 10, а также источник 11 заряженных частиц. На чертеже показаны также траектории крайних частиц пуска, определяющие угол расходимости пучка Ad.

Энергоанализатор работает следующим образом.

Расходящийся от источника 11 пучок заряженных частиц попадает в область анализирующего радиального поля через щель

2. Отклоненные полем заряженные частицы выходят из области поля через кольцевую щель 3 и далее движутся к приемной диафрагме 6 в поле линзы, образующейся электродами 8—10, сконструированной таким образом, чтобы аберрационное размытие сходящегося пучка на оси было минимальным.

На наружный электрод подается потенциал Uo относительно внутреннего электрода с полярностью, совпадающей с полярностью заряда анализируемых частиц. Электрод 8 имеет потенциал, совпадающий с потенциалом электрода 1. На электроды 9 и 10 подаются потенциалы, пропорциональные U_o. Проведенное численное моделирование показало, что можно подобрать та828262 кое соотношение потенциалов на этих электродах, при котором аберрационное размытие пучка снижается в несколько раз.

Таким образом, реализация предложен5 ного решения позволяет значительно повысить разрешающую способность анализатора.

Claims

Формула изобретения

Электростатический анализатор энергии заряженных частиц, содержащий источник заряженных частиц, цилиндрические наружный электрод и основной внутренний электрод, выполненный с входной и выходной кольцевыми апертурными щелями, затянутыми металлическими мелкоструктурными сетками, диафрагму и приемник заряженных частиц, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, он снабжен по крайней мере одним дополнительным сетчатым электродом цилиндрической формы и двумя дополнительными кольцевыми электродами, причем дополнительный сетчатый электрод установлен внутри основного внутреннего электрода против выходной апертурной щели соосно этому электроду, а кольцевые дополнительные электроды — между основным внутренним и дополнительным сетчатым электродами по разные стороны от выходной апертурной щели соосно внутреннему основному электроду.