SU175584A1 - Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям - Google Patents

Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям

Info

Publication number
SU175584A1
SU175584A1 SU919144A SU919144A SU175584A1 SU 175584 A1 SU175584 A1 SU 175584A1 SU 919144 A SU919144 A SU 919144A SU 919144 A SU919144 A SU 919144A SU 175584 A1 SU175584 A1 SU 175584A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
analyzer
charged particles
particles
kinetic energy
axis
Prior art date
Application number
SU919144A
Other languages
English (en)
Publication of SU175584A1 publication Critical patent/SU175584A1/ru

Links

Description

Известпы анализаторы дл  определени  энергетического состава пучков зар женных частиц но кинетическим энерги м, выполненные в виде двух параллельных пластин, между которыми создано однородное электрическое поле.
В предложенном анализаторе электроды выполнены в виде двух коаксиальных цилиндров , внешний из которых зар жен одноименно с зар дом частиц, а внутреппий имеет две кольцевые щели, расположенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, расположены па оси цилиндров , b результате чувствительность анализатора значительно новысилась.
ria чертеже изображена схема прибора.
Анализатор состоит из двух коаксиальных цилиндрических электродов , между которыми создаетс  тормоз щее зар женные частицы поле. Внутренний электрод имеет две кольцевые щели i и 4, расположенные на некотором рассто нии одна от другой по оси прибора.
Источник зар женных частиц 5 размещаетс  на оси прибора. Он так же, как и впутрепний электрод, находитс  под нулевым потенциалом . Взаимное расположение источника и кольцевых щелей выбираетс  таким образом , чтобы центральный луч ионного пучка, попадающий от источпика через щель 3 в область между цилиндрическими электродами, образовал с осью Z прибора угол а 42°20.
Внещнему электроду сообщаетс  потенциал и, абсолютна  величина которого должна VI siii:i
оыть не менее, чем(где q - зар д
ч
частицы, W - кинематическа  энерги  частиц ) , а знак должен совпадать со знаком анализируемых частиц. Таким образом, между
цилиндрическими электродамп создаетс  тормоз щее зар женные частицы поле, обладающее свойствами электростатического зеркала. Отразивщись от пол , пучок моноэнергетических ионов проходит через кольцевую щель 4
и возвращаетс  в область пулевого потенциала , создава  в точке А изображение источника .
В плоскости изображени  располагаетс  диафрагма 6 с малым круглым отверстием,
центр которого находитс  на оси прибора. За диафрагмой помещаетс  детектор зар л енных частиц 7, в качестве которого может быть использован фарадеев цилиндр.
25
Предмет изобретени 
повышени  чувствительности, электроды выполнены в виде двух коаксиальных цилиндров , внешний из которых зар жен одноимеино С зар дом частиц, а внутренний имеет две
кольцевые ш,ели, расположенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, расположены на оси цилиндров .
SU919144A Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям SU175584A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU175584A1 true SU175584A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7141800B2 (en) Non-dispersive charged particle energy analyzer
US6984821B1 (en) Mass spectrometer and methods of increasing dispersion between ion beams
US3761707A (en) Stigmatically imaging double focusing mass spectrometer
SU175584A1 (ru) Анализатор заряженных частиц по кинетическим энергиям
GB1533526A (en) Electro-static charged particle analyzers
RU136237U1 (ru) Анализатор энергий и масс заряженных частиц
RU87565U1 (ru) Фотоэмиссионный электронный спектрометр
RU2294579C1 (ru) Анализатор энергий заряженных частиц
CN106971934B (zh) 一种质谱仪
RU176329U1 (ru) Электростатический анализатор энергии заряженных частиц
RU2326465C2 (ru) Пылеударный масс-спектрометр
RU2459310C2 (ru) Способ анализа заряженных частиц по энергиям и массам и устройство для его осуществления
DK144898B (da) Ionoptisk apparat til undersoegelse af et proeveemnes overfladeved ionbeskydning og analyse af de fra det beskudte overfladeomraade udgaaende ioner
SU1191981A1 (ru) Ионный микроанализатор
RU2448389C2 (ru) Электростатический энергоанализатор с угловым разрешением
SU1755333A1 (ru) Масс-спектрометр с одновременным анализом отрицательных и положительных ионов
RU2076387C1 (ru) Спектрометр заряженных частиц
RU2490749C1 (ru) Изотраекторный масс-спектрометр
RU93581U1 (ru) Монохроматор для электронов с низкой энергией
SU1746428A1 (ru) Электростатический анализатор энергий зар женных частиц
RU2235386C2 (ru) Пылеударный масс-спектрометр
SU1742901A1 (ru) Ионно-циклотронный масс-спектрометр
SU1269216A1 (ru) Энергоанализатор
SU683516A1 (ru) Электростатический анализатор зар женных частиц
SU1714720A1 (ru) Способ юстировки электростатического секторного энергоанализатора