SU823851A1 - Method of measuring displacements - Google Patents

Method of measuring displacements Download PDF

Info

Publication number
SU823851A1
SU823851A1 SU792801124A SU2801124A SU823851A1 SU 823851 A1 SU823851 A1 SU 823851A1 SU 792801124 A SU792801124 A SU 792801124A SU 2801124 A SU2801124 A SU 2801124A SU 823851 A1 SU823851 A1 SU 823851A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
images
scale
signals
photoelectric conversion
measuring displacements
Prior art date
Application number
SU792801124A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Константин Михайлович Шестаков
Алексей Вячеславович Романов
Леонид Иванович Павлов
Василий Сергеевич Садов
Валентин Евгеньевич Василевский
Original Assignee
Институт электроники АН Белорусской ССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН Белорусской ССР filed Critical Институт электроники АН Белорусской ССР
Priority to SU792801124A priority Critical patent/SU823851A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU823851A1 publication Critical patent/SU823851A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Г Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, а именно к способам измерени  перемещений с применением растра, и может найти применение, например в отсчетных уст ройствах станков с числовым программ ным управлением. Известен способ измерв-ни  перемещений с помощью растров, заключающий с  в том, что освещают растровое соп р жение, образованное двум  растрами один из которых неподвижен, перемещают второй растр, производ т ф6то- электрическое преобразование светово го потока, получают с двух участков растрового сопр жени  два сигнала, сдвинутые по фазе на ti/2, производ т интерпол цию сигналов, регистрируют число импульсов интерпол ции, пропор циональное перемещению fl. Недостатком способа  вл етс  Нйзка  точность измерени , обусловленна  неидентичностью сигналов, полу4aeivB:3X е различных участков шкалы, из-за вариации светового потока по сечению освещающего пучка и из-за вариации прозрачности растров. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ измерени  перемещени заключающийс  в том,что. освещают уча ток растровой шкалы когерентным моно-, хроматическим излучением,формируют два изображени  участка шкалы,перемещают шкалу,производ т фотоэлектрическое преобразование световых пучков, лучей,получают два сигналу,сдвинутые .по фазе li /2,производ т интерпол цию сигналов, регистрируют число импульсов интерпол ции, по которому суд т О; перемещении 2. Недостатком способа  вл етс  низ-; ка  точность измерени , обусловленна  неидентичностью сигналов, получаемых с различных участков шкалы из-за вариации прозрачности растра и наличи  накопленной ошибки шага растра. Цель изобретени  - повышение точности измерени . Поставленна  цель достигаетс  тем, что перед фотоэлектрическим преобразованием раздваивают сформированные изображени , получа  из каждого йо два движущихс  навстречу друг другу изображени , совмещают эти изббражени  с образованием минимума интерференционного пол  пучков лучей, формирующих изображейи . На чертеже изображена принципиальна  схема устройства реализующего способ измерени  перемещений.The invention relates to instrumentation engineering, in particular, to methods for measuring displacements using a raster, and can be used, for example, in readout devices of machine tools with numerical program control. The known method of measuring displacements using rasters, which concludes with that illuminating the raster congruence formed by two rasters, one of which is stationary, displacing the second raster, producing a f6to-electric conversion of the luminous flux. When two signals are shifted in phase by ti / 2, the signals are interpolated, the number of interpolation pulses proportional to the movement fl is recorded. The disadvantage of this method is the Nizka accuracy of measurement, due to the nonidentity of the signals, semi-AEB: 3X e different parts of the scale, due to the variation of the light flux over the cross section of the illuminating beam and due to the variation of the transparency of the rasters. Closest to the present invention is a method for measuring movement consisting in the fact that. illuminate the raster scale section with coherent mono-, chromatic radiation, form two images of the scale section, move the scale, perform photoelectric conversion of light beams, rays, receive two signals shifted in phase li / 2, interpolate signals, record the number interpolation pulses according to which O is judged; movement 2. The disadvantage of the method is low; ka measurement accuracy due to the nonidentity of signals received from different parts of the scale due to variations in the raster transparency and the presence of accumulated raster step errors. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy. The goal is achieved by splitting the formed images in front of the photoelectric conversion, obtaining from each image two moving towards each other images, combine these reflections with the formation of a minimum of the interference floor of the beams forming the images. The drawing shows a schematic diagram of a device implementing a method for measuring displacements.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Способ измерения перемещений, з аключающийся в том, что освещают участок растровой шкалы когерентным монохроматическим излучением, формируют два изображения участка шкалы, перемещают шкалу, производят фотоэлектрическое преобразование световых пучков лучей, получают два сигнала, сдвинутые по фазе на к/2/ производят интерполяцию сигналов, регистрируют число импульсов интерполяции, по которому судят о перемещении, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед фотоэлектрическим преобразованием раздваивают сформированные изображения, Получая из каждого по два движущихся навстречу друг другу изображения’, совмещают эти изображения, с образованием минимума интерференцйонного поля пучков лучей, формирующих изображения.A method of measuring displacements, which consists in illuminating a portion of a raster scale with coherent monochromatic radiation, forming two images of a portion of the scale, moving the scale, making photoelectric conversion of light beams of rays, receiving two signals shifted in phase by k / 2 / and interpolating the signals, register the number of interpolation pulses, which are used to judge the movement, characterized in that, in order to increase the measurement accuracy, the formations are bifurcated before the photoelectric conversion These images, Obtaining from each of two images moving towards each other ’, combine these images, with the formation of a minimum of the interference field of the beam of rays forming the image.
SU792801124A 1979-07-24 1979-07-24 Method of measuring displacements SU823851A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792801124A SU823851A1 (en) 1979-07-24 1979-07-24 Method of measuring displacements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792801124A SU823851A1 (en) 1979-07-24 1979-07-24 Method of measuring displacements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU823851A1 true SU823851A1 (en) 1981-04-23

Family

ID=20842722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792801124A SU823851A1 (en) 1979-07-24 1979-07-24 Method of measuring displacements

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU823851A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0134597B1 (en) Measuring system based on the triangulation principle for the dimensional inspection of an object
CN101324422B (en) Method and apparatus of fine distribution of white light interference sample surface shapes
JPS6333604A (en) Relative-displacement measuring device
GB1400253A (en) Gauging dimensions
US3856400A (en) Apparatus for no-contact measurement having a multi-colored grating
SU823851A1 (en) Method of measuring displacements
DE58904975D1 (en) ANGLE MEASURING DEVICE.
US4902135A (en) Object movement measuring apparatus
KR20000053779A (en) Three dimension measuring system using two dimensional linear grid patterns
US3989378A (en) Method for no-contact measurement
JPH0143243B2 (en)
GB1383320A (en) Measurement of the shape of strip material
SU968602A1 (en) Photoelectric raster device for measuring linear and angular displacements
JPS61221616A (en) Optical measuring method for fine displacement
JPS58150804A (en) Optical position detector
JPS59212773A (en) Optical speed detecting device
JPS61712A (en) Optical scale reader
SU1093889A1 (en) Linear displacement pickup
SU418725A1 (en)
JPS621203B2 (en)
JP2629965B2 (en) Shape measuring device
SU1237904A1 (en) Method of measuring gap between rasters of photoelectric scanning shift transducers
SU526826A1 (en) Linear velocity measuring device
JPS57160006A (en) Optical measuring method and auxiliary device therefor
SU1693380A1 (en) Photoelectric displacement converter