SU1237904A1

SU1237904A1 - Method of measuring gap between rasters of photoelectric scanning shift transducers

Info

Publication number: SU1237904A1
Application number: SU823494746A
Authority: SU
Inventors: Суня Абрамович Бармаш; Стасис Альгимантас Юозович Будгинас; Лия Израилевна Герберене; Борис Афанасьевич Кравченко; Альгирдас Томович Ушинскас
Original assignee: Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority date: 1982-09-27
Filing date: 1982-09-27
Publication date: 1986-06-15

Abstract

Изобретение позвол ет повысить точность измерений перемещений фотоэлектрического растрового измерительного преобразовател путем юстировки его по значению величины зазора между растрами, образующими растровое сопр жение. Способ осуществл етс следующим образом. Формируют два кол- лимированных пучка света и направл -. ют их на один и тот же участок растрового сопр жени под разными углами падени в плоскости, нормальной к плоскости сопр жени и штрихам первого ПС ходу пучков растра. Перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедших сопр жение, в электрические сигналы и регистрируют разность фаз этих сигналов . Измен ют угол is/ падени на участок растрового сопр жени одного из пучков света на величину л.о(, регистрируют изменение разности фаз ЛЧ электрических сигналов и опреде-г л ют величину зазора h по формуле h Т .AW/360rtg(oi -НдЫ) - tguJj, где Т - линейный шаг растров. 1 ил. (Л ю со ;оThe invention makes it possible to increase the accuracy of measurements of the movements of a photoelectric raster measuring converter by adjusting it according to the value of the size of the gap between the rasters forming the raster conjugation. The method is carried out as follows. Form two collimated light beams and directions. They are placed on the same raster conjugation area at different angles of incidence in a plane normal to the interface plane and the strokes of the first PS in the course of the raster beams. They move rasters relative to each other, convert the power of the coupled beams into electrical signals, and record the phase difference of these signals. Change the is / angle to the raster conjugation area of one of the light beams by the value of lo (the change in the phase difference of the LP of electrical signals is recorded and the gap size h is determined using the formula h T.AW / 360rtg (oi –DO ) - tguJj, where T is a linear step of raster. 1 ill. (L yu; o

Description

Из(5бретенне относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени зазора между растрами при сборке и юстировке измерительных преобразователей линейных и круговых перемещений.From (5, the breasts do not belong to the instrumentation engineering and can be used, in particular, to measure the gap between the rasters during the assembly and alignment of the linear and circular displacement measuring transducers.

Целью изобретени вл етс повьиие- ние точности измерени перемещений за счёт измерени зазора между рас-- трами.- The aim of the invention is to improve the accuracy of the measurement of displacements by measuring the gap between the frames.

На Изображена схема, по сн юща способ измерени перемещений,Figure 2 shows a diagram explaining how to measure displacements,

Спос об осуществл етс следующим образом.The procedure is as follows.

Формируют с помощью осветителей 1 и 2 два коллимированных пучка света , направл ют их на один и тот же участок растрового сопр жени , образованного растрами 3 и 4 под разными углами и oi падени в плоскости , нормальной к плоскости сопр жени и штрихам первого по ходу пучков растра 3,. перемещают растры 3 и А один относительно другого, преобразуют с помощью фотоприемнйков 5 и 6 мощности пучков, прошедших сопр жение, в электрические сигналы, регистрируют фазометром 7 разность фаз этих сигналов, измен ют угол cJ. падени на участок растрового сопр жени одного из пучков света на величину йы, регистрируют фазомет ром 7 изменение разности фазлч элекUsing illuminators 1 and 2, they form two collimated beams of light, direct them to the same area of the raster mate formed by rasters 3 and 4 at different angles and oi fall in a plane normal to the interface plane and strokes of the first along the beams raster 3 ,. the rasters 3 and A are moved relative to each other, are converted with the help of photo detectors 5 and 6 of the power of the mated beams into electrical signals, the phase difference of these signals is recorded with a phase meter 7, the angle cJ is changed. falling on the area of raster conjugation of one of the light beams by magnitude

грич€ ских сиг-налов и лпреде.ч ют величину зазора h тю ф рмулеGric signals and give the size of the gap h h ff rmule

360rtg( -+ д, ) . Г где Т - линейный шаг растров .360rtg (- + d,). G where T is a linear step of rasters.

h h

Claims

Invention Formula

A way of measuring the gap between the rasters of photoelectric raster displacement transducers, which consists in forming two collimated light beams, directing them to the same raster conjugation area at different angles of incidence in the plane normal to the conjugation plane and strokes first along the raster beams, move the rasters relative to each other, convert the power of the beams passed through the mating into electrical signals, record the phase difference of these signals and determine the controlled pairs so that, in order to improve the accuracy of measuring displacements, they change the angle of o / fall to the area of raster conjugation of one of the light beams by the value of Co (, the change in the phase difference l h electrical signals and determine the size of the gap h by the formula

ZgO tgCo / + Lo)

where T is a linear step of rasters.

VNIIPI Zak-. 32 /// 41 FMF 670 Subscription Free Polygr. , Uzhgorod, st. Project, 4