SU813129A1 - Мера толщины пленок - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к метрологии , а именно к образцовым мерам дл  проверки и градуировки средств измерени  толщин покрытий. Известны меры толщины пленок, содержащие подложку пр моугольной или круглой формы и пленку, нанесенную на эту подложку гальваническим , химическим, диффузионным или другим способом 1. Недостатком таких мер  вл етс  высока  стоимость, св занна  со сложностью нанесени  пленки заданной толщины, трудоемкостью аттестации толщины пленки, а также неудобства в эксплуатации, св занные с отсутствием участка дл  установки толщиномера на нуль. Известна также мера толщины пленок , содержаща  подложку с участком дл  -настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку С2 Эта мера лишена эксплуатационног недостатка, однако в изготовлении еще более сложна и дорога. Цель изобретени  - упрощение тех иологни изготовлени  и снижение сто имости. Поставленна  цель достигаетс  те что на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине , пленка внесена в упом нутый паз, а верхн   поверхность пленки совпадает с верхней поверхност ью подложки. На чертеже изображена мера толщины пленок. Она содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеетс  участок 2 дл  настройки на ноль толщиномеров . На этой же поверхности подложки выполнены паз, дно 3 которого удалено от верхней поверхности иа величину h, равную требуемой толщине пленки. Пленка 4 заполн ет паз так, что ее верхн   поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Прочие размеры меры определ ютс  исход  из размеров измерительных головок толщиномеров. При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 и дно 3 паза до вод т до высокого класса шероховатости , что позвол ет с высокой точностью аттестовать его глубину, например ин-, терференционным способом. После нанесени  пленки 4 провер ют плоскостность верхней поверхности, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1. Проверку и градуировку толщиномеров выполн ют с помощью комплекта

мер с различной толщиной пленок.Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложек на участке 2,где пленочное покрытие отсутствует,а затем перемещают на участок с пленкой 4. Показани  толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной пленки.Комплект мер позвол ет проверить характеристику толщиномера в различных точках.

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Мера толщины пленок, содержаща  подложку с участком дл  настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, отличающа с  тем, что, с целью упрощени  технологии изготовлени  и снижени  стоимости, на верхней поверхности подложки выполнен паз, атте . стованный по глубине, пленка внесена в упом нутый паз, а верхн   поверхность пленки совпадает с верхней по верхностью подложки.

   Источники информации,

   . прин тые во внимание при экспертизе 1 . Измерительна  техника, 1973, № 2, с.30-31.
2. 2. Информационный листок № 650-71, Ленинградский ЦНТИ, 1971 (прототип).

   /