SU804649A1 - Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций - Google Patents

Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций Download PDF

Info

Publication number
SU804649A1
SU804649A1 SU792747986A SU2747986A SU804649A1 SU 804649 A1 SU804649 A1 SU 804649A1 SU 792747986 A SU792747986 A SU 792747986A SU 2747986 A SU2747986 A SU 2747986A SU 804649 A1 SU804649 A1 SU 804649A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
copolymer
meth
solution
bezoin
photopolymerized
Prior art date
Application number
SU792747986A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Юрьевич Гординский
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1120
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1120 filed Critical Предприятие П/Я А-1120
Priority to SU792747986A priority Critical patent/SU804649A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU804649A1 publication Critical patent/SU804649A1/ru

Links

Landscapes

  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

(54) ЛИНЕЙНЫЙ СТАТИСТИЧЕСКИЙ СОПОЛИМЕР
БЕНЗОИКЙЕТ(АКРИЛАТА) ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ФОтополимЕРизущихс  композиций
хании политого на подложку сло . Такой сополимер пригоден дл  использовани  в качестве полимерной основы ФПК и в то же врем  содержит звень  бенэоинметакрилата или -акрилата в количестве достаточном дл  инициировани  фотополимеризации сло  ФПК.
ФПК, содержащие предла.гаемый сополимер , подвергаютс  фотополимеризции при облучении их светом с длино волны от 275 им до 400 нм. Синтез сополимера производитс  в этанольном .или изопропанольном растворе или в другом подход щем растворителе по следующему способу.
В трехгорлую круглодонную колбу емкостью 1-5 л с механической мешалкой , обратным холодильником и термометром , установленную на вод ной бане дл  обогрева, загружают, вес.ч.: Метакрилова  (МАК) или акрилова  кислота (АК) 12-86 Алкилметакрилат или стирол45-100
Бензоин(мет)акрилат или бензоинакрилат 2,6-92 Перекись бензоила 0,3-2,8 Растворитель50-420
Перекись бензоила беретс  в количестве от 0,5 до 1%, а растворители в количестве от 80 до 150% от общей массы мономеров.
Реакционную массу нагревают при непрерывном перемешивании до 80-82 и выдерживают при этой температуре до завершени  полимеризации. После этого реакционную смесь быстро охлаждают и разбавл ют этанолом или изопропанолом до необходимой в зкости . В результате полимеризации получаетс  бесцветный или слегка жетоватый прозрачный раствор. Выход сополимера 75-90%. Полученные растворы используют дл  получени  ФПК. Дл  получени  сополимера в твердом виде его раствор вливают тонкой струйкой при энергетическом перемешивании в 5-10-кратное количество воды. Выпавший сополимер отдел ют, измельчают и сушат.
Сополимеры бензоинакрилата и бензоин (мет) акрилата хорошо растворимы в этаноле и изопропаноле и их смес х, нерастворимы в воде, углеводородах и их хлорпроизводных.
При содержании метакриловой или акриловой кислот более 40 мол.% сополимер растворим также в водных щелочных растворах. Перед анализом сополимер очищают от непрореагировавших мономеров и примесей гомополмеров .
Дл  очистки раствор сополимера вливают при перемешивании в 3-5-краный объем н-гексана или петролейног эфира. Выпавший осалок раствор ют в .чцетопе иг.ч чзопропаноле и осаждают
влива  в 5-10 кратный объем дистиллированной воды.
Выпавший осадок отдел ют, измельчают и сушат.
В очищенном сополимере определ ю эквивалент путем титровани  навески 0,1-0,15 г сополимера, растворенной в 15-20 мл этанола, .0,1 н раствром едкого натра.
Пример 1. Синтез сополимера метакриловой кислоты, бутилметакрилата и бензоинакрилата(
9 в общей формуле сполимера )
В описанный выше прибор загружаю |89,6 г бутилметакрилата (ВМА); 51,65 г метакриловой кислоты (МАК); 8,8 г бензоинакрилата; 0,75 г перекиси бензоила и 177 г изопропанола. Реакционную смесь нагревают при непрерывном перемешивании на вод ной бане до завершени  полимеризации. К полученному в зкому бесцветному раствору добавл ют дл  разбавлени  80 мл изопропанола и перемешивают. Концентраци  полученного раствора сополимера 34,05%. Выход сополимера 88,1%. Дл  очистки раствор сополимера осгшдают в 5-кратном количестве петролейного эфира, осадок раствор ют в изопропаноле, осаждают в воде, выпавшие хлопь  отдел ют , измельчают и высушивают.Сополимер хорошо растворим в этаноле и изопропаноле, ацетоне и метилэтилкетоне , диэтиловом эфире,диоксане, в водных щелочах, нерастворим в углводородах и их хлорпрои3водных,воде
Эквивалент: найдено 259,86, вычислено 251,3.
Аналогично получают сополимер с m 15,6; п 64,6; р 19,8 мол.%.
Дп  этого сополимеризуют 34,4 г МАК; 213,3 БМА и 79,9 г бензоинакрилата в 400 мл изопропанола в присутствии 3,3 г перекиси бензоила Выход сополимера 91%.
Эквивалент: найдено 1016,5, вычислено 1054,35.
По такому же способу получают сополимер акриловой кислоты с гексилметакрилатом и другими алкилметакрилатами .
Пример 2. Синтез сополимера Метакрилова  кислота-бутилметакрилат-бензоин (мет)акрилат
( R з -СОО-С4Н9-Н) .
В описанный в примере 1 прибор загружают 43,1 г МАК; 56,9 г БМА; 28,0 г бензоин(мет)акрилата;0,64 г перекиси бензоила; 155 г этанола и нагревают при непрерывном перемешивании до конца сополимеризации. К загустевщей реакционной массе добавл ют дл  разбавлени  100 г этанола , охлаждают и перэмешивают до образовани  однородного раствора.
Выделени  и очистка сополимера производитс  аналогично примеру . Выход 87,5%. Эквивалент: найдено 254,2,вычис лено 257,3 m 49,8; п 41,2; р 9,О мол.%. Аналогичные по свойствам сополимеры получают при других соотношени х сополимеров, при использовании других алкилметакрилатов и АК. Пример 3. Синтез сополимер IlAK-стирол-бензоинакрилат (R СНз R2 R4 R5 CgH5-) В описанный выше прибор загружают 86,1 г МАК 93,7 г стирола (СТ); 26,6 г бензоинакрила та; 2,1 г перекиси бензоила и 250 мл изопропанола. Реакционную смесь нагревают до 50-82 с при пере мешивании до конца полимеризации. Очистку и анализ провод т как описа но выше. Выход 82,5%. Эквивалент: найдено 205,7, вы- числено 208,45 m 49,9; п 45,5; р 4,6 мол.% Аналогично получаетс  сополимер при других соотношени х мономеров. П р и м е р 4. Синтез сополимера МАК-БМА-бензоинакрилат ,,CH,,R -СООСдН -Н ) а)m 16,5; п 82,7; р 0,8 мол. В прибор, описанный выше,загружают 22,7 г метакриловой кислоты; 188,7 г бутилметакрилата; 3,53 г бензоинакрилата; 1,07 перекиси бензоила и 200 г изопропанола. Реакционную массу нагревают до при непрерывном перемешивании до ко ца полимеризации. Полученный в зкий бесцветный раствор разбавл ют 120 г изопропанола и перемешивают. Концен граци  раствора 30,64%. Выход сопол лера 69%. Дл  очистки сополимер дважды переосаждают гексаном, затем дистил лированной водой. Очищенный и высушенный сополимер представл ет собой белые хлопь , растворимые в низших спиртах и кетонах, их смес х и в диоксане. Эквивалент: найдено 784,3, вычислено 814,39; характеристическа  в зкость в ацетоне 0,33 дл/г. б)m 60,0; п 20,0; р 20,0 мол. Дл  синтеза берут 28,7 г МАК; 15,7 г БМА; 29,3 г бензоинакрилата; 0,37 г перекиси бензоила и 110 г изопропанола. Полученный в результате сополимеризации раствор разбавл ют 75 г изопропанола и 45 г ацетона. Получаетс  светло-желтый раствор сополимера концентрацией 31,6%. Выход сополимера 100%. Очистка сополимера производитс  аналогично примеру 4а. Эквивалент: найдено 242,66, вычислено 221,9. Характеристическа  в зкость в ацетоне 0,16 дл/г. Пример 5. Синтез сополимера МЛК-метил 1ср11ллт-бс -.чпи акрилат {R R2 CHjR3 COOCH3 ) m 42,1; п 52,6;.р 5,3 мол.% Дл  синтеза берут 17,2 г МАК; 25,0 г метилметакрилата; 6,66 г бензоинакрилата; 0,25 г перекиси бенэоила; .60 г этанола. i Синтез производитс  как в предыдущих прикерах. Полученный светложелтый раствор.разбавл ют 25 г этанола . Концентраци  полученного раствора 30,2%, выход сополимера 70,8%. Очищенный по описанному вьпне методу сополимер представл ет собой белые хлопь ,растворимые в низших спиртах и кетонах и их смес х. Эквивалент: найдено 239,4,вычислено 245,5. Характеристическа  в зкость в ацетоне 0,33 дл/г. ФПК сополимеров бензоин(мет)акрилата даже с небольшим его содержанием обладают светочувствительностью не ниже, чем ФПК С обычным инициатором фотополимеризации, а разрешающа  способность их выше. Так дл  ФПК из сополимера бензоинакрилата , содержащего 2,6 мол.% его, врем  экспонировани  5,-10 мин как у обычных ФПК, а разрешающа  способность 50-75 лин/мм, что значительно выше. Отсюда следует, что сополимеры бензоин(мет)акрилата могут примен тьс  дл  получени  ФПК, обеспечива  хорошую светочувствительность и повышенную по сравнению с ФПК, содержащими обычные инициаторы фотополимеризации, разрешающую способность. I . Состав и свойства ФПК на основе линейного статистического сополимера бензоинакрилата представлены в табл.1 и 2. Таблица 1 нициатор беноинформальдеидной смолы етиловый фиоетовый танол В ФПК 1 использован линейный сополимер бензоинакрилата,метакриловой . кислоты и бутилметакрилата состава.
n - 42,1 мол. % ;,m 52,5 мол.%; p «a 5,3 мол. %.
b ФПК 2 использован линейные сополимер метакриловой кислоты и мет; метакрилата (сравнительный) Таблица 5-10(15-20) 5-10(154%-ный раствор NaHCO,
75 25 13 Более 2 Более 2
- , 5%-ный5%-ный растворраствор NaOHNaOH
Таким образом, новый линейный статистический сополимер бензоин (мет) акрилата позвол ет получить ФПК,обладающие высокой разрешающей способностью .

Claims (1)

1. PhofosenSItIve composition containing poly (benzoiпаеryI ate), Okhaba, Genshin, Konishizo Ku Phofoco L1 mi ted Japan , 2826 j. - Chemical abstracts, 75, 28262 j, 1971.
SU792747986A 1979-01-30 1979-01-30 Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций SU804649A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792747986A SU804649A1 (ru) 1979-01-30 1979-01-30 Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792747986A SU804649A1 (ru) 1979-01-30 1979-01-30 Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU804649A1 true SU804649A1 (ru) 1981-02-15

Family

ID=20820075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792747986A SU804649A1 (ru) 1979-01-30 1979-01-30 Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU804649A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6369181B1 (en) Copolymer resin, preparation thereof, and photoresist using the same
US4339561A (en) N-(2,5-Dihydroxy-3,4,6-trimethyl-benzyl)-acrylamide and - methacrylamide polymers
US6132926A (en) ArF photoresist copolymers
US6348296B1 (en) Copolymer resin, preparation thereof, and photoresist using the same
DE69329392T2 (de) Neue ringöffnende monomere
JPH02281013A (ja) ジケトン化合物系共重合体
US4277536A (en) Bead polymers of viscous dimethacrylates
KR100313150B1 (ko) 리소콜릴에시딜(메타)아크릴레이트 단량체와 그를 도입한 공중합체 수지 및 이 수지를 이용한 포토레지스트
KR100362938B1 (ko) 신규의포토레지스트가교제,이를포함하는포토레지스트중합체및포토레지스트조성물
DE69607620T2 (de) Acrylamid-derivate als chromophore lichtvernetzbare verbindungen
DE60216926T2 (de) Verfahren zur Erhöhung der Weissanlaufwiderständigkeit von Druck-empfindlichen Klebstoffen
JPH0124141B2 (ru)
US2310780A (en) Vinyl esters of tertiary carboxylic acids
SU804649A1 (ru) Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций
US6720430B2 (en) Monomer for chemical amplified photoresist compositions
EP0434446A2 (en) Radical-curing polyvinyl alcohol derivative
US2728746A (en) Alpha-hydroxy acrylic acid polymers, and salts thereof
JPH09132615A (ja) N−ビニルホルムアミド/アルキルアクリレートマイケル付加物
DE69501831T2 (de) Verfahren zur Kontrolle einer Acrylatpolymerization
EP0048214A2 (de) Gefärbte lichtvernetzbare Polymere
Hrabák et al. 3‐and 4‐dimethylaminobenzyl acrylate and methacrylate and their polymers
JPS6233241B2 (ru)
JPH02193958A (ja) メタルクリル酸エステル及びその製造法
US2456318A (en) Esters of p-di(omega-hydroxyalkoxy)benzenes
Marvel et al. Polymerization reactions of the acrylate and methacrylate esters of alcohols from jojoba oil