SU804649A1 - Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций - Google Patents
Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций Download PDFInfo
- Publication number
- SU804649A1 SU804649A1 SU792747986A SU2747986A SU804649A1 SU 804649 A1 SU804649 A1 SU 804649A1 SU 792747986 A SU792747986 A SU 792747986A SU 2747986 A SU2747986 A SU 2747986A SU 804649 A1 SU804649 A1 SU 804649A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- copolymer
- meth
- solution
- bezoin
- photopolymerized
- Prior art date
Links
Landscapes
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
(54) ЛИНЕЙНЫЙ СТАТИСТИЧЕСКИЙ СОПОЛИМЕР
БЕНЗОИКЙЕТ(АКРИЛАТА) ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ФОтополимЕРизущихс композиций
хании политого на подложку сло . Такой сополимер пригоден дл использовани в качестве полимерной основы ФПК и в то же врем содержит звень бенэоинметакрилата или -акрилата в количестве достаточном дл инициировани фотополимеризации сло ФПК.
ФПК, содержащие предла.гаемый сополимер , подвергаютс фотополимеризции при облучении их светом с длино волны от 275 им до 400 нм. Синтез сополимера производитс в этанольном .или изопропанольном растворе или в другом подход щем растворителе по следующему способу.
В трехгорлую круглодонную колбу емкостью 1-5 л с механической мешалкой , обратным холодильником и термометром , установленную на вод ной бане дл обогрева, загружают, вес.ч.: Метакрилова (МАК) или акрилова кислота (АК) 12-86 Алкилметакрилат или стирол45-100
Бензоин(мет)акрилат или бензоинакрилат 2,6-92 Перекись бензоила 0,3-2,8 Растворитель50-420
Перекись бензоила беретс в количестве от 0,5 до 1%, а растворители в количестве от 80 до 150% от общей массы мономеров.
Реакционную массу нагревают при непрерывном перемешивании до 80-82 и выдерживают при этой температуре до завершени полимеризации. После этого реакционную смесь быстро охлаждают и разбавл ют этанолом или изопропанолом до необходимой в зкости . В результате полимеризации получаетс бесцветный или слегка жетоватый прозрачный раствор. Выход сополимера 75-90%. Полученные растворы используют дл получени ФПК. Дл получени сополимера в твердом виде его раствор вливают тонкой струйкой при энергетическом перемешивании в 5-10-кратное количество воды. Выпавший сополимер отдел ют, измельчают и сушат.
Сополимеры бензоинакрилата и бензоин (мет) акрилата хорошо растворимы в этаноле и изопропаноле и их смес х, нерастворимы в воде, углеводородах и их хлорпроизводных.
При содержании метакриловой или акриловой кислот более 40 мол.% сополимер растворим также в водных щелочных растворах. Перед анализом сополимер очищают от непрореагировавших мономеров и примесей гомополмеров .
Дл очистки раствор сополимера вливают при перемешивании в 3-5-краный объем н-гексана или петролейног эфира. Выпавший осалок раствор ют в .чцетопе иг.ч чзопропаноле и осаждают
влива в 5-10 кратный объем дистиллированной воды.
Выпавший осадок отдел ют, измельчают и сушат.
В очищенном сополимере определ ю эквивалент путем титровани навески 0,1-0,15 г сополимера, растворенной в 15-20 мл этанола, .0,1 н раствром едкого натра.
Пример 1. Синтез сополимера метакриловой кислоты, бутилметакрилата и бензоинакрилата(
9 в общей формуле сполимера )
В описанный выше прибор загружаю |89,6 г бутилметакрилата (ВМА); 51,65 г метакриловой кислоты (МАК); 8,8 г бензоинакрилата; 0,75 г перекиси бензоила и 177 г изопропанола. Реакционную смесь нагревают при непрерывном перемешивании на вод ной бане до завершени полимеризации. К полученному в зкому бесцветному раствору добавл ют дл разбавлени 80 мл изопропанола и перемешивают. Концентраци полученного раствора сополимера 34,05%. Выход сополимера 88,1%. Дл очистки раствор сополимера осгшдают в 5-кратном количестве петролейного эфира, осадок раствор ют в изопропаноле, осаждают в воде, выпавшие хлопь отдел ют , измельчают и высушивают.Сополимер хорошо растворим в этаноле и изопропаноле, ацетоне и метилэтилкетоне , диэтиловом эфире,диоксане, в водных щелочах, нерастворим в углводородах и их хлорпрои3водных,воде
Эквивалент: найдено 259,86, вычислено 251,3.
Аналогично получают сополимер с m 15,6; п 64,6; р 19,8 мол.%.
Дп этого сополимеризуют 34,4 г МАК; 213,3 БМА и 79,9 г бензоинакрилата в 400 мл изопропанола в присутствии 3,3 г перекиси бензоила Выход сополимера 91%.
Эквивалент: найдено 1016,5, вычислено 1054,35.
По такому же способу получают сополимер акриловой кислоты с гексилметакрилатом и другими алкилметакрилатами .
Пример 2. Синтез сополимера Метакрилова кислота-бутилметакрилат-бензоин (мет)акрилат
( R з -СОО-С4Н9-Н) .
В описанный в примере 1 прибор загружают 43,1 г МАК; 56,9 г БМА; 28,0 г бензоин(мет)акрилата;0,64 г перекиси бензоила; 155 г этанола и нагревают при непрерывном перемешивании до конца сополимеризации. К загустевщей реакционной массе добавл ют дл разбавлени 100 г этанола , охлаждают и перэмешивают до образовани однородного раствора.
Выделени и очистка сополимера производитс аналогично примеру . Выход 87,5%. Эквивалент: найдено 254,2,вычис лено 257,3 m 49,8; п 41,2; р 9,О мол.%. Аналогичные по свойствам сополимеры получают при других соотношени х сополимеров, при использовании других алкилметакрилатов и АК. Пример 3. Синтез сополимер IlAK-стирол-бензоинакрилат (R СНз R2 R4 R5 CgH5-) В описанный выше прибор загружают 86,1 г МАК 93,7 г стирола (СТ); 26,6 г бензоинакрила та; 2,1 г перекиси бензоила и 250 мл изопропанола. Реакционную смесь нагревают до 50-82 с при пере мешивании до конца полимеризации. Очистку и анализ провод т как описа но выше. Выход 82,5%. Эквивалент: найдено 205,7, вы- числено 208,45 m 49,9; п 45,5; р 4,6 мол.% Аналогично получаетс сополимер при других соотношени х мономеров. П р и м е р 4. Синтез сополимера МАК-БМА-бензоинакрилат ,,CH,,R -СООСдН -Н ) а)m 16,5; п 82,7; р 0,8 мол. В прибор, описанный выше,загружают 22,7 г метакриловой кислоты; 188,7 г бутилметакрилата; 3,53 г бензоинакрилата; 1,07 перекиси бензоила и 200 г изопропанола. Реакционную массу нагревают до при непрерывном перемешивании до ко ца полимеризации. Полученный в зкий бесцветный раствор разбавл ют 120 г изопропанола и перемешивают. Концен граци раствора 30,64%. Выход сопол лера 69%. Дл очистки сополимер дважды переосаждают гексаном, затем дистил лированной водой. Очищенный и высушенный сополимер представл ет собой белые хлопь , растворимые в низших спиртах и кетонах, их смес х и в диоксане. Эквивалент: найдено 784,3, вычислено 814,39; характеристическа в зкость в ацетоне 0,33 дл/г. б)m 60,0; п 20,0; р 20,0 мол. Дл синтеза берут 28,7 г МАК; 15,7 г БМА; 29,3 г бензоинакрилата; 0,37 г перекиси бензоила и 110 г изопропанола. Полученный в результате сополимеризации раствор разбавл ют 75 г изопропанола и 45 г ацетона. Получаетс светло-желтый раствор сополимера концентрацией 31,6%. Выход сополимера 100%. Очистка сополимера производитс аналогично примеру 4а. Эквивалент: найдено 242,66, вычислено 221,9. Характеристическа в зкость в ацетоне 0,16 дл/г. Пример 5. Синтез сополимера МЛК-метил 1ср11ллт-бс -.чпи акрилат {R R2 CHjR3 COOCH3 ) m 42,1; п 52,6;.р 5,3 мол.% Дл синтеза берут 17,2 г МАК; 25,0 г метилметакрилата; 6,66 г бензоинакрилата; 0,25 г перекиси бенэоила; .60 г этанола. i Синтез производитс как в предыдущих прикерах. Полученный светложелтый раствор.разбавл ют 25 г этанола . Концентраци полученного раствора 30,2%, выход сополимера 70,8%. Очищенный по описанному вьпне методу сополимер представл ет собой белые хлопь ,растворимые в низших спиртах и кетонах и их смес х. Эквивалент: найдено 239,4,вычислено 245,5. Характеристическа в зкость в ацетоне 0,33 дл/г. ФПК сополимеров бензоин(мет)акрилата даже с небольшим его содержанием обладают светочувствительностью не ниже, чем ФПК С обычным инициатором фотополимеризации, а разрешающа способность их выше. Так дл ФПК из сополимера бензоинакрилата , содержащего 2,6 мол.% его, врем экспонировани 5,-10 мин как у обычных ФПК, а разрешающа способность 50-75 лин/мм, что значительно выше. Отсюда следует, что сополимеры бензоин(мет)акрилата могут примен тьс дл получени ФПК, обеспечива хорошую светочувствительность и повышенную по сравнению с ФПК, содержащими обычные инициаторы фотополимеризации, разрешающую способность. I . Состав и свойства ФПК на основе линейного статистического сополимера бензоинакрилата представлены в табл.1 и 2. Таблица 1 нициатор беноинформальдеидной смолы етиловый фиоетовый танол В ФПК 1 использован линейный сополимер бензоинакрилата,метакриловой . кислоты и бутилметакрилата состава.
n - 42,1 мол. % ;,m 52,5 мол.%; p «a 5,3 мол. %.
b ФПК 2 использован линейные сополимер метакриловой кислоты и мет; метакрилата (сравнительный) Таблица 5-10(15-20) 5-10(154%-ный раствор NaHCO,
75 25 13 Более 2 Более 2
- , 5%-ный5%-ный растворраствор NaOHNaOH
Таким образом, новый линейный статистический сополимер бензоин (мет) акрилата позвол ет получить ФПК,обладающие высокой разрешающей способностью .
Claims (1)
1. PhofosenSItIve composition containing poly (benzoiпаеryI ate), Okhaba, Genshin, Konishizo Ku Phofoco L1 mi ted Japan , 2826 j. - Chemical abstracts, 75, 28262 j, 1971.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792747986A SU804649A1 (ru) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792747986A SU804649A1 (ru) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU804649A1 true SU804649A1 (ru) | 1981-02-15 |
Family
ID=20820075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792747986A SU804649A1 (ru) | 1979-01-30 | 1979-01-30 | Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU804649A1 (ru) |
-
1979
- 1979-01-30 SU SU792747986A patent/SU804649A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6369181B1 (en) | Copolymer resin, preparation thereof, and photoresist using the same | |
US4339561A (en) | N-(2,5-Dihydroxy-3,4,6-trimethyl-benzyl)-acrylamide and - methacrylamide polymers | |
US6132926A (en) | ArF photoresist copolymers | |
US6348296B1 (en) | Copolymer resin, preparation thereof, and photoresist using the same | |
DE69329392T2 (de) | Neue ringöffnende monomere | |
JPH02281013A (ja) | ジケトン化合物系共重合体 | |
US4277536A (en) | Bead polymers of viscous dimethacrylates | |
KR100313150B1 (ko) | 리소콜릴에시딜(메타)아크릴레이트 단량체와 그를 도입한 공중합체 수지 및 이 수지를 이용한 포토레지스트 | |
KR100362938B1 (ko) | 신규의포토레지스트가교제,이를포함하는포토레지스트중합체및포토레지스트조성물 | |
DE69607620T2 (de) | Acrylamid-derivate als chromophore lichtvernetzbare verbindungen | |
DE60216926T2 (de) | Verfahren zur Erhöhung der Weissanlaufwiderständigkeit von Druck-empfindlichen Klebstoffen | |
JPH0124141B2 (ru) | ||
US2310780A (en) | Vinyl esters of tertiary carboxylic acids | |
SU804649A1 (ru) | Линейный статистический сополимербЕНзОиН(MET)АКРилАТА дл пОлучЕНи фОТОпОлиМЕРизующиХС КОМпОзиций | |
US6720430B2 (en) | Monomer for chemical amplified photoresist compositions | |
EP0434446A2 (en) | Radical-curing polyvinyl alcohol derivative | |
US2728746A (en) | Alpha-hydroxy acrylic acid polymers, and salts thereof | |
JPH09132615A (ja) | N−ビニルホルムアミド/アルキルアクリレートマイケル付加物 | |
DE69501831T2 (de) | Verfahren zur Kontrolle einer Acrylatpolymerization | |
EP0048214A2 (de) | Gefärbte lichtvernetzbare Polymere | |
Hrabák et al. | 3‐and 4‐dimethylaminobenzyl acrylate and methacrylate and their polymers | |
JPS6233241B2 (ru) | ||
JPH02193958A (ja) | メタルクリル酸エステル及びその製造法 | |
US2456318A (en) | Esters of p-di(omega-hydroxyalkoxy)benzenes | |
Marvel et al. | Polymerization reactions of the acrylate and methacrylate esters of alcohols from jojoba oil |