SU794368A1 - Apparatus for monitoring object geometrical characteristics - Google Patents
Apparatus for monitoring object geometrical characteristics Download PDFInfo
- Publication number
- SU794368A1 SU794368A1 SU792757567A SU2757567A SU794368A1 SU 794368 A1 SU794368 A1 SU 794368A1 SU 792757567 A SU792757567 A SU 792757567A SU 2757567 A SU2757567 A SU 2757567A SU 794368 A1 SU794368 A1 SU 794368A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- light
- reference object
- screen
- plane
- monitoring object
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
одного из которых располагаетс исследуемый объект 4, а на пути другого - эталонный объект 5, пол роид 6, поворачивающий плоскость пол ризации па 90°, оптическую систему совмещени световых мпучков , состо щую из призмы 7 (или полупрозрачного зеркала) п зеркала S, преобразователь 5 эллиптически пол ризованного света в плоско-пол ризованный, анализатор 10 пол ризованного света, экран 11, датчик 12, срабатывающий при по влении светового образа па экране 11, узел 13, осуществл ющий последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийс объект.one of which is the object under study 4, and on the path of the other is the reference object 5, polaroid 6, which turns the plane of polarization on 90 °, the optical system for combining light particles, consisting of a prism 7 (or a translucent mirror) and a mirror S, and a converter 5 elliptically polarized light in a plane-polarized, analyzer 10 polarized light, screen 11, sensor 12, triggered by the appearance of the light image on screen 11, node 13, which sequentially replaces the reference object 5 with the changed volume kt.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Свет от источника 1 когерентного плоско-пол ризованного света расщепл етс на два пучка лучей призмой 2 (или полупрозрачным зеркалом) и зеркалом 3, и одним пучком освещаетс исследуемый объект 4, а другим - эталонный объект 5. На пути одного из пучков лучей имеетс пол- роид 6, поворачивающий плоскость пол ризации на 90°. Далее свет поступает на оптическую систему совмещени световых пучков , состо щую также из призмы 7 , (или полупрозрачного зеркала) и зеркала 8. Система, состо ща из зеркал 5 и S, призм 2 и 7 и пол роида 6, составл ет двухплечевой интерферометр, в один из лучей которого помещаетс исследуемый объект 4, а в другой - эталонный объект 5. Интер/ферированный свет эллиптически пол ризован и преобразуетс в пол ризованпый свет посредством преобразовател 9. Анализ света производитс с помощью анализатора 10 пол ризованного света. Световой образ фиксируетс на экране //. . . При полной идентичности геометрических характеристик исследуемого объекта и эталонного объекта 5 свет на выходе интерферометра полностью интерферирует и полностью эллиптически пол ризован. Преобразователем 9 свет полностью преобразуетс в плоско-пол ризованный свет и при скрещении плоскости пол ризации света и оптической оси анализатора 10 экран // остаетс темным.The light from coherent flat-polarized light source 1 is split into two beams by a prism 2 (or a semi-transparent mirror) and a mirror 3, and the object under study 4 is illuminated with one beam, and the reference object 5 is illuminated by one beam. - roid 6, which turns the polarization plane through 90 °. Then the light enters the optical system of combining the light beams, also consisting of a prism 7, (or a semitransparent mirror) and a mirror 8. The system consisting of mirrors 5 and S, prisms 2 and 7, and poloid 6 is a two-arm interferometer, The object under study 4 is placed in one of the beams, and the reference object 5 is placed in the other. Interviewed light is elliptically polarized and converted into polarized light by means of a converter 9. The light is analyzed using a 10 polarized light analyzer. The light image is captured on the screen. . . With the full identity of the geometric characteristics of the object under investigation and the reference object 5, the light at the output of the interferometer completely interferes and is completely elliptically polarized. By the converter 9, the light is completely transformed into plane-polarized light and when the plane of polarization of the light and the optical axis of the analyzer 10 intersects, the screen // remains dark.
При малейшем расхождении геометрических характеристик исследуемого объекта 4 и эталонного объекта 5. свет на выходе интерферометра эллиптически пол ризован не полностью. В месте расхождени геометрических характеристик присутствуетWith the slightest discrepancy between the geometric characteristics of the object under study 4 and the reference object 5. The light at the output of the interferometer is not fully elliptically polarized. At the place of divergence of the geometric characteristics is present
плоско-пол ризованна составл юща све та, плоскость пол ризации которой после прохождени преобразовател 9 не совпадает с плоскостью пол ризации света в местах .идентичности геометрических характеристик . Это расхождение анализируетс анализатором и на экране 11 в месте расхождени по вл етс световое п тно, полностью соответствующее геометрическому образу разности характеристик эталонного объекта и,исследуемого объекта, что регистрируетс датчиком .12, срабатывающим при по влении светового образа, который ггриводит в действие узел 13, осуществл ющий последовательную замену эталонного объекта на изменившийс объект.the plane-polarized component of light, the plane of polarization of which, after passing through the converter 9, does not coincide with the plane of polarization of light in places of identity of the geometric characteristics. This discrepancy is analyzed by the analyzer and on the screen 11 at the point of discrepancy a light spot appears, completely corresponding to the geometrical image of the difference between the characteristics of the reference object and the object under study, which is detected by the sensor .12 triggered by the appearance of the light pattern that activates the node 13 that sequentially replaces the reference object with the changed object.
Узел 13 осуществл ет последовательную замену эталонного объекта 5 на изменившийс объект 4, в результате чего самThe node 13 sequentially replaces the reference object 5 with the changed object 4, as a result of which
изменившийс исследуемый объект 4 становитс эталонным объектом. Эталонным объектом 5 становитс изображение очередной стадии исследуемого объекта 4. Если изменений исследуемого объекта не происходит , то световой образ, регистрируемый датчиком 12, не возникает. При очередных изменени х объекта устройство производит аналогичные замены эталонного и исследуемого объектов.changed object 4 becomes a reference object. The reference object 5 becomes the image of the next stage of the object under study 4. If the object under study does not change, then the light image recorded by the sensor 12 does not occur. At the next changes of the object, the device makes the same replacements of the reference and investigated objects.
Замена эталонного объекта исследуемым изменившимс объектом позвол ет зафиксировать последовательные стадии изменени геометрии объекта, что может найти применение при исследовании процессов , св занных с изменени ми геометрических характеристик объектов.Replacing a reference object with an object under study that is being changed allows one to fix successive stages of changing the object's geometry, which can be used to study the processes associated with changes in the geometric characteristics of objects.
Фор1мула изобретени Formula of invention
Устройство дл контрол геометрических характеристик объекта по авт. св. № 590596, отличающеес тем, что, с целью расширени функциональных возможностей , оно снабжено датчиком, срабатывающим при по влении светового образа и установленным: по ходу световых лучей за экраном, и св занным с ним узлом, осуществл ющим последовательную замену эталонного объекта на изменившийс Device for controlling the geometric characteristics of the object on the author. St. No. 590596, characterized in that, in order to expand its functionality, it is equipped with a sensor that is triggered by the appearance of a light image and is installed: along the light rays behind the screen, and the associated node that sequentially replaces the reference object
объект.an object.
Источник информации, прин тый во внимание при экспертизе:The source of information taken into account in the examination:
. Авторское свидетельство СССР № 590596, кл. G 01 В М/02, 1976 (прототип ) .. USSR Author's Certificate No. 590596, cl. G 01 In M / 02, 1976 (prototype).
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792757567A SU794368A1 (en) | 1979-04-23 | 1979-04-23 | Apparatus for monitoring object geometrical characteristics |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792757567A SU794368A1 (en) | 1979-04-23 | 1979-04-23 | Apparatus for monitoring object geometrical characteristics |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU794368A1 true SU794368A1 (en) | 1981-01-07 |
Family
ID=20824051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792757567A SU794368A1 (en) | 1979-04-23 | 1979-04-23 | Apparatus for monitoring object geometrical characteristics |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU794368A1 (en) |
-
1979
- 1979-04-23 SU SU792757567A patent/SU794368A1/en active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3614232A (en) | Pattern defect sensing using error free blocking spacial filter | |
NO941768L (en) | Apparatus and method for carrying out thin film layer thickness metrology with high room resolution | |
US3502415A (en) | Optical measuring instrument for measurements in two coordinate directions | |
US3751170A (en) | Method and apparatus for positioning bodies relative to each other | |
SU794368A1 (en) | Apparatus for monitoring object geometrical characteristics | |
JPH03249550A (en) | Pattern defect inspecting device | |
GB1477625A (en) | Focussing of optical systems | |
JP3417640B2 (en) | Phase difference measuring apparatus and method | |
SU590596A1 (en) | Device for checking geometrical characteristics of an object | |
JP3255589B2 (en) | Lens evaluation device | |
JP2949847B2 (en) | Optical surface roughness measuring device | |
JPH06137814A (en) | Minute displacement measuring method and its device | |
JPS5560842A (en) | Failure checking unit | |
JP3184914B2 (en) | Surface shape measuring method and surface shape measuring instrument | |
SU1140085A1 (en) | Stereoscopic photography method | |
JPS60211306A (en) | Adjusting method of optical system of fringe scan shearing interference measuring instrument | |
JPS62124405A (en) | Thermal dilatometer | |
JPH09288064A (en) | Foreign-body detection apparatus | |
JPS55124008A (en) | Defect inspecting apparatus | |
JPH05226224A (en) | Alignment device of aligner | |
JPS6386429A (en) | Strain measurement of x-ray mask | |
JPS62263428A (en) | Apparatus for measuring phase change | |
SU378793A1 (en) | JS!: ': ^ UNION | |
JPH0251005A (en) | Depth measuring method and apparatus | |
JPS62132153A (en) | Mask defect inspector |