SU783607A2 - Устройство дл измерени разности давлени - Google Patents
Устройство дл измерени разности давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU783607A2 SU783607A2 SU792745056A SU2745056A SU783607A2 SU 783607 A2 SU783607 A2 SU 783607A2 SU 792745056 A SU792745056 A SU 792745056A SU 2745056 A SU2745056 A SU 2745056A SU 783607 A2 SU783607 A2 SU 783607A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pressure difference
- measuring pressure
- diaphragm
- shaped
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения и предназначено для использования в контрольно-измерительной технике и пневмоавтоматике.'
В основном изобретении по авт. св. Н 5917 32 описано устройство для измерения разности давлений, включающее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, упор, расположенный в одном из отсеков, и закрепленные между упором и диафрагмой тензопреобразователи, выполненные в виде упругой подложки с нанесенным,на нее полупроводниковым слоем [1].
Недостатком известного устройства является его низкая чувствительность при измерении малых перепадов давления, когда величина деформации тензопреобразователей мала, следовательно, мало и изменение их сопротивления . .
Целью изобретения является повышение чувствительности устройства.
Указанная цель достигается тем, что упругая подложка выполнена S—образной формы. 30
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Оно содержит камеру 1, которая раз- делена на два отсека упругой диафрагэ мой 2. В одном из отсеков расположен упор, выполненный в виде решетки 3. К диафрагме 2 и упору 3 прикреплены тензопленки 4 и 5, напыленные на S— образные подложки 6 и 7. Тензопленки включены в два плеча мостовой схемы 8, в диагональ которой включен регистрирующий прибор 9, фиксирующий разбаланс моста, Штуцеры 10 и 11 служат для подведения измеряемых давлений.
Устройство работает следующим образом. Под действием измеряемой разности давлений диафрагма 2 прогибается и изменяет сопротивления тензопленок 4 и 5. Это изменение сопротивления, пропорциональное разности давлений, измеряется мостовой схемой 8.
Напыление тензопленок на S-образную подложку обеспечивает их S—образный прогиб, что в 2 раза увеличивав деформацию, а следовательно, и изменение сопротивления тензопреобраэоват· лей при одной и той же деформации диафрагмы.
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дл измерени разности давлени по авт. св. 591732, о т личающеес тем, что, с целью повьшюни чувствительности, упругие подложки выполнены S-образноп формы.Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе1 Авторское свидетельство СССР fv 591732, кл. G 01 L 13/02, 05.04.76.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792745056A SU783607A2 (ru) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Устройство дл измерени разности давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792745056A SU783607A2 (ru) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Устройство дл измерени разности давлени |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU591732A Addition SU140197A1 (ru) | 1958-02-06 | 1958-02-06 | Способ получени резино-битумной массы дл изол ционных материалов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU783607A2 true SU783607A2 (ru) | 1980-11-30 |
Family
ID=20818792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792745056A SU783607A2 (ru) | 1979-04-04 | 1979-04-04 | Устройство дл измерени разности давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU783607A2 (ru) |
-
1979
- 1979-04-04 SU SU792745056A patent/SU783607A2/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO1999021057A3 (en) | System and method for performing bulge testing of films, coatings and/or layers | |
US4500864A (en) | Pressure sensor | |
CN105066870A (zh) | 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥双叉指型金属应变片 | |
US20080317401A1 (en) | Optic fiber bragg grating sensor | |
US3230763A (en) | Semiconductor pressure diaphragm | |
CN104008311A (zh) | 一种确定横向集中载荷下环形预应力薄膜弹性能的方法 | |
US4439752A (en) | Semiconductor pressure transducer | |
JPH01132902A (ja) | クリープの補償可能な歪ゲージ及びそのような歪ゲージを得る方法 | |
SU783607A2 (ru) | Устройство дл измерени разности давлени | |
JPH01197621A (ja) | デュアルサイド形圧力センサ | |
US3235826A (en) | Pressure transducer | |
FI102114B1 (fi) | Anturi äänenpaineen ja kiihtyvyyden mittaamiseksi | |
US3034341A (en) | Devices for the determination of mechanical strains | |
SU591732A1 (ru) | Устройство дл измерени разности давлений | |
CN204924166U (zh) | 可测量表面应变横向偏导的横向偏差双敏感栅叉指型金属应变片 | |
CN204924168U (zh) | 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥全叉指型金属应变片 | |
CN204924169U (zh) | 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥双叉指型金属应变片 | |
SU647535A1 (ru) | Расходомер | |
CN204924171U (zh) | 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差双敏感栅叉指型金属应变片 | |
SU723456A1 (ru) | Устройство дл измерени угла скоса взвесенесущего потока жидкости | |
RU2231023C1 (ru) | Способ изготовления тензорезисторных чувствительных элментов | |
US3161042A (en) | Method and apparatus for measuring corrosion rates | |
SU1603185A1 (ru) | Мера толщины покрытий | |
SU569874A1 (ru) | Дроссельный преобразователь температуры | |
SU1525505A1 (ru) | Тензопреобразователь высокого давлени |