SU783607A2 - Устройство дл измерени разности давлени - Google Patents

Устройство дл измерени разности давлени Download PDF

Info

Publication number
SU783607A2
SU783607A2 SU792745056A SU2745056A SU783607A2 SU 783607 A2 SU783607 A2 SU 783607A2 SU 792745056 A SU792745056 A SU 792745056A SU 2745056 A SU2745056 A SU 2745056A SU 783607 A2 SU783607 A2 SU 783607A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pressure difference
measuring pressure
diaphragm
shaped
measuring
Prior art date
Application number
SU792745056A
Other languages
English (en)
Inventor
Садык Азимович Азимов
Шавкат Джалялович Бурханов
Полина Львовна Коропова
Original Assignee
Физико-Технический Институт Им. С.В.Стародубцева Ан Узбекской Сср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-Технический Институт Им. С.В.Стародубцева Ан Узбекской Сср filed Critical Физико-Технический Институт Им. С.В.Стародубцева Ан Узбекской Сср
Priority to SU792745056A priority Critical patent/SU783607A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU783607A2 publication Critical patent/SU783607A2/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения и предназначено для использования в контрольно-измерительной технике и пневмоавтоматике.'
В основном изобретении по авт. св. Н 5917 32 описано устройство для измерения разности давлений, включающее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, упор, расположенный в одном из отсеков, и закрепленные между упором и диафрагмой тензопреобразователи, выполненные в виде упругой подложки с нанесенным,на нее полупроводниковым слоем [1].
Недостатком известного устройства является его низкая чувствительность при измерении малых перепадов давления, когда величина деформации тензопреобразователей мала, следовательно, мало и изменение их сопротивления . .
Целью изобретения является повышение чувствительности устройства.
Указанная цель достигается тем, что упругая подложка выполнена S—образной формы. 30
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Оно содержит камеру 1, которая раз- делена на два отсека упругой диафрагэ мой 2. В одном из отсеков расположен упор, выполненный в виде решетки 3. К диафрагме 2 и упору 3 прикреплены тензопленки 4 и 5, напыленные на S— образные подложки 6 и 7. Тензопленки включены в два плеча мостовой схемы 8, в диагональ которой включен регистрирующий прибор 9, фиксирующий разбаланс моста, Штуцеры 10 и 11 служат для подведения измеряемых давлений.
Устройство работает следующим образом. Под действием измеряемой разности давлений диафрагма 2 прогибается и изменяет сопротивления тензопленок 4 и 5. Это изменение сопротивления, пропорциональное разности давлений, измеряется мостовой схемой 8.
Напыление тензопленок на S-образную подложку обеспечивает их S—образный прогиб, что в 2 раза увеличивав деформацию, а следовательно, и изменение сопротивления тензопреобраэоват· лей при одной и той же деформации диафрагмы.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  разности давлени  по авт. св. 591732, о т личающеес  тем, что, с целью повьшюни  чувствительности, упругие подложки выполнены S-образноп формы.
    Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
    1 Авторское свидетельство СССР fv 591732, кл. G 01 L 13/02, 05.04.76.
SU792745056A 1979-04-04 1979-04-04 Устройство дл измерени разности давлени SU783607A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792745056A SU783607A2 (ru) 1979-04-04 1979-04-04 Устройство дл измерени разности давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792745056A SU783607A2 (ru) 1979-04-04 1979-04-04 Устройство дл измерени разности давлени

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU591732A Addition SU140197A1 (ru) 1958-02-06 1958-02-06 Способ получени резино-битумной массы дл изол ционных материалов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU783607A2 true SU783607A2 (ru) 1980-11-30

Family

ID=20818792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792745056A SU783607A2 (ru) 1979-04-04 1979-04-04 Устройство дл измерени разности давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU783607A2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1999021057A3 (en) System and method for performing bulge testing of films, coatings and/or layers
US4500864A (en) Pressure sensor
CN105066870A (zh) 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥双叉指型金属应变片
US20080317401A1 (en) Optic fiber bragg grating sensor
US3230763A (en) Semiconductor pressure diaphragm
CN104008311A (zh) 一种确定横向集中载荷下环形预应力薄膜弹性能的方法
US4439752A (en) Semiconductor pressure transducer
JPH01132902A (ja) クリープの補償可能な歪ゲージ及びそのような歪ゲージを得る方法
SU783607A2 (ru) Устройство дл измерени разности давлени
JPH01197621A (ja) デュアルサイド形圧力センサ
US3235826A (en) Pressure transducer
FI102114B1 (fi) Anturi äänenpaineen ja kiihtyvyyden mittaamiseksi
US3034341A (en) Devices for the determination of mechanical strains
SU591732A1 (ru) Устройство дл измерени разности давлений
CN204924166U (zh) 可测量表面应变横向偏导的横向偏差双敏感栅叉指型金属应变片
CN204924168U (zh) 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥全叉指型金属应变片
CN204924169U (zh) 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差全桥双叉指型金属应变片
SU647535A1 (ru) Расходомер
CN204924171U (zh) 可测量表面应变轴向偏导的轴向偏差双敏感栅叉指型金属应变片
SU723456A1 (ru) Устройство дл измерени угла скоса взвесенесущего потока жидкости
RU2231023C1 (ru) Способ изготовления тензорезисторных чувствительных элментов
US3161042A (en) Method and apparatus for measuring corrosion rates
SU1603185A1 (ru) Мера толщины покрытий
SU569874A1 (ru) Дроссельный преобразователь температуры
SU1525505A1 (ru) Тензопреобразователь высокого давлени