SU776389A1 - Устройство дл исследовани диэлектриков ионными пучками - Google Patents

Description

щенного над образцом и снабженного отверсти ми дл  входа ионного пучка и выхода излучени , причем внутрен-г н   поверхность экрана выполнена из материала с высоким коэффициентом ионно-электронной эмиссии;

На чертеже показана схема ус|Тройства .

Оно включает источник 1 ионов, экран 2 узла нейт рализации зар да и приемник 3 излучени . Экран 2 полусферической размещен над металлическим держателем 4 с исследуемым образцом 5. Схема измерений включает измерит(эль б тока   йотенциометр 7. Экран 2 перекрывает пространство вблизи мишени, а дл  входа пучка и выхода излучени  снабжен соответствующими отверсти ми. Он изолирован от другихэлементов устройства и заземлен через потенциометр 7 Металлический держатель 4 образца заземлен через измеритель б .

Устройство работает следуивдим обpasoMV .,:

Ускоренный до некЬто роЙ э нёйгйй пучок первичньк ионов из источника 1 через отверстие в экране 2 пбсту пает на образец 5.

При взаимодействии первичного пучка ионов с поверхностью образца последний распыл етс  в виде нейтральных атомов, положительньк и отрицательных ионов. Часть пе1рвичных иопбё, претерпева  ynpyioe взаимодействие с атомами, рассеиваетс . Как вторйчИНё, так и рассе нные иОны несут информацию о составе и CTDVтуре поверхности, поскольку обладают определенной массой, зар дом и энергией. Анализируемые иЬны, попадан в щель приемника 3 излучени / ускор ютс  до необходимой энергии и поступают в камеру масс-анализатора и на коллектор, или поступают В энергоанализатор.

Нейтрализаци  положительного зар да на образце осуществл етс  электронами , эмиттируемыми экраном 2 в результате бомбардировки частью рассе нных и вторичных ионов, не попавших в апертуру приемника излучени . Энерги  падающих на экран частиц превышает пороговую энергию, при которой становитс  существенной ионно-элёктронна  эмисси . В диапазоне энергий падак цих на экран ионов 10010000 эв коэффициент вторичной ионно-электронной эмиссии достигает 515 . ИнтейейвШй йбнно-элёк 15онна  эмиси  дополнительно усиливаетс  за счет бомбардировки экрана распылен776389

ными нейтральными атомами, поэтому количество электронов, покидающих экран и ускор ющихс  в направлении положительно зар женной диэлектрической мишени может превысить необходимое дл  нейтрализации. Дл  установлени  нужного уровн  нейтрализации потенциометром 7 измен ют соотношение потенциалов экрана и образца соответственно интенсивности сигналов анализируемых ионов. Стабилизаци  нейтрализации на определенном уровне достигаетс  благодар  оОратной св зи, функцию которой выполн ет электрическое поле, свйэа1Сйое с зар дом. Ув еличениё Нар да стийулирует более интенсивную эМ1ссик электронов с поверхности экрана, которые ускор ютс  Hei полокитёльно зар женный образец, и наоборот,уменьшение зар да создаеттормоз гщее поле дл  электронов с экрана на образец. Инерционносг ь этих процессов достаточно МаЛй; По показани м нэмерИтел  тока контролируетс  стабильность нейтралйэа1лйи . -. . г.-: -/Описанное устройство обеспечивает высокую стабильность нейтрализации, имеет простую конструкцию и отличаетс  высоКоЯ надежностью в эксплуатации . .f.-;-;- ;---;. .; ;,: ,--., -;{:

Claims (2)

1.Шульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторичноэмиссирнные Методы исследовани  твердого тела. М., Наука, 1977, с. 327-329.

2.Патент США № 3665185,

кл. 250-495, опублик. 1975 (прототип

.