.1 . Изобретение относитс к абразивн обработке и может быть использовано дл полировани полупроводниковых/ пластин, сапфира, рубина.и т.п. твердых и хрупких материалов. Известны устройства дл обработ ки плоских поверхностей, содержащие( верхний и нижний доводочные диски и механизм нагружени 1 . Недостатками известных устройств вл ютс наличие пневмо- или гидроцилиндров , используемых в качестЕге. механизма нагружени , имекнцих сложную в изготовлении и эксплуатации конструкции, отличающихс громоздкостью , в св зи с наличием пневмоблоков или гидроблоков, необходимых дл управлени цилиндрами и бсольших нагрузок на нижний доводочный диск/ что приводит к увеличению и повышению жесткости нижнего Ь одочного диска, его привода и станины. Цель изобретени - упрощение конструкции и снижение ее металлоемкости . Цель достигаетс тем, что механизм нагружени содержит дискретные идентичные магнитные элементы, встр енные внутрь верхнего и нижнего диС ков и расположенные по окружност м, симметричным относительно оси вращени дисков. В одном из дисков упом нутые элементыпредствл ют собой посто нные магниты, а. в другом электромагниты, магнитные полюса которых направлены перпендикул рно рабочим поверхност м доводочных дисков. На фиг. 1 изображено устройство дл обработки плоских поверхностей деталей, продольный разрез; на фиг.2вид А на фиг. 1. Устройство дл обработки плоских поверхностей деталей содержит доводоч ные диски, верхний 1 и нижний 2,.выполненные из немагнитного материала . Внутрь верхнего доводочного диска 1 встроены дискретные идентич- ные-элементы 3, выполненные, например , в В1аде стержней пр моугольной формы и представл ющие собой посто нные магниты. Внутрь нижнего дoвo дочного диска 1 встроены магнитные элементы 4 (пр моугольные стержни), представл ющие собой электромагниты. В верхний диск 1 и нижний диск 2 мргут быть встроены соответственно электромагниты и посто нные магниты,
Магнитные полюса элементов 3 и ,4 должны быть перпендикул рны к рабочим поверхност м соответствующих доводочных дисков 1 и 2, при этом как стержни 3, расположенные в верхнем доводочном диске 1, так и стержни 4-, расположенные в нижнем доводочном диске 2, размещены по окружности симметричной относительно оси вращени упом нутых дисков. Между доводоч ными дисками 1 и 2 устанавливаютс обрабатываемые издели 5 (например полупроводниковые пластиныJ, которые во врем обработки помещаютс в сепаратор (на чертеже условно не показано ) .
Устройство работает следующим образом .
На электромагниты 4 подаетс посто нный ток заданной величины такой пол рности, при которой на полюсах магнитных стержней 3 и 4, расположенных на рабочих поверхност х доводочных дисков 1 и 2, создаютс одноименные полюса. Диски 1 ,,и 2 отталкиваютс друг от друга, создава нулевую нагрузку на обрабатываемые пластины 5. В процессе обработки с помощью электромагнитов 4,размещенных внутри нижнего доводочного диска 2, содаетс плавное нагружение (от нул до зал.анной величины) . Это происходит следующим образом . Вначале понижаетс .- плавно (до нул ) напр жение определенной пол рности полюсов электромагнитов 4 а затем производитс плавное пойышение напр жени по обратной пол рности тока. В результате этого мен ютс полюса электромагнитов 4 на противоположные и доводочные диски 1 и 2 начинают прит гиватьс друг к другу что обеспечивает создание заданного усили нагружени (прижима ).
Процесс разгрузки осуществл етс в обратном пор дке.
Такое исполнение механизма нагружени позвол ет избежать наличи сложных прецизионных элементов, в том числе узлов, содержащих трущиес прецизионные пары, что упрощает конструкцию устройства в целом. Кроме того, в процессе работы усил.с нагружени не передаетс на нижний доводоч ный диск, а следовательно, на опорйый подшипник и станину. Это обусловлено замыканием сил, возникающих при нагружении непосредственно между доводочными дисками. На станину станка в этом случае передаетс только вес доводочного диска, что позвол ет уменьщить жесткость станины и металлоемкость устройства в целом. При этом повышаетс долговечность опорных подшипников и приводного узла.