SU764557A1 - Способ получения отверстий в пленочных композициях - Google Patents

Способ получения отверстий в пленочных композициях

Info

Publication number
SU764557A1
SU764557A1 SU2667742/25A SU2667742A SU764557A1 SU 764557 A1 SU764557 A1 SU 764557A1 SU 2667742/25 A SU2667742/25 A SU 2667742/25A SU 2667742 A SU2667742 A SU 2667742A SU 764557 A1 SU764557 A1 SU 764557A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
film composition
making holes
holes
making
film
Prior art date
Application number
SU2667742/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Н.М. Манжа
А.Д. Сулимин
А.И. Одиноков
Ю.Д. Чистяков
Original Assignee
Н.М. Манжа
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Н.М. Манжа filed Critical Н.М. Манжа
Priority to SU2667742/25A priority Critical patent/SU764557A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU764557A1 publication Critical patent/SU764557A1/ru

Links

Landscapes

  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Detergent Compositions (AREA)
  • Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)

Abstract

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОТВЕРСТИЙ В ПЛЕНОЧНЫХ КОМПОЗИЦИЯХ, включающий формирование первого и второго маскирующих слоев, фотолитографию и травление, отличающийся тем, что, с целью получения узких отверстий, после формирования на первое максирующее покрытие наносят слой поликристаллического кремния, формируют на его поверхности вспомогательное маскирующее покрытие, устойчивое к травителю для поликристаллического кремния и первого маскирующего покрытия, методом фотолитографии, формируют островки из поликристаллического кремния и вспомогательного маскирующего покрытия в местах требуемого расположения узких отверстий, под защитой вспомогательного покрытия подтравливают поликристаллический кремний по периметру вышеупомянутых островков, затем формируют второе маскирующее покрытие, травлением вспомогательного маскирующего покрытия удаляют второе маскирующее покрытие с поверхности островков, удаляют участки поликристаллического кремния и вытравливают отверстия в первом маскирующем покрытии.
SU2667742/25A 1978-09-29 1978-09-29 Способ получения отверстий в пленочных композициях SU764557A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) 1978-09-29 1978-09-29 Способ получения отверстий в пленочных композициях

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) 1978-09-29 1978-09-29 Способ получения отверстий в пленочных композициях

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU764557A1 true SU764557A1 (ru) 1996-03-20

Family

ID=60524676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) 1978-09-29 1978-09-29 Способ получения отверстий в пленочных композициях

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU764557A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2507219C1 (ru) * 2012-10-16 2014-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" Фотоактивированная композиция для травления пленок нитрида кремния

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2507219C1 (ru) * 2012-10-16 2014-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" Фотоактивированная композиция для травления пленок нитрида кремния

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5565551A (en) Film composition
JPS5514299A (en) Method of producing heattbonded polyolefin film
JPS54145781A (en) Anaerobic composition and stabilizing method
SU764557A1 (ru) Способ получения отверстий в пленочных композициях
SU980465A1 (ru) Способ возведения искусственного острова на акватории
JPS5573548A (en) Weatherrproof heattcontractible film and making method thereof
SU1259873A1 (ru) Способ изготовления пленочных резисторов
SU701000A1 (ru) Способ непрерывного литья
SU586662A1 (ru) Способ получения биомассы
SU751256A1 (ru) Способ нанесения тонких пленок
SU741618A1 (ru) Центробежно-шестеренный насос
SU1032912A1 (ru) Фотохромный материал
JPS54129396A (en) Method of producing piezoothin film
SU811519A1 (ru) Способ получения белкового раствора
SU749049A1 (ru) Способ получения периклаза, используемого в электротехнике
SU1072616A1 (ru) Способ регистрации нейтронов
SU1066281A1 (ru) Двигатель
SU892881A1 (ru) Способ получения этилового эфира 2,3-диметилиндолкарбоновой-5-кислоты
SU788672A1 (ru) Способ получения (со)полимеров бутадиена
SU705934A1 (ru) Способ изготовления интегральных схем
SU668304A1 (ru) Способ получения азотсодержащих полимеров
SU669588A1 (ru) Способ изготовления изделий из ячеистобетонных смесей
SU738325A1 (ru) Способ получения 2-замещенных октагидро-4,7-метаноизоиндола
SU1081999A1 (ru) Способ получения клея
SU704277A1 (ru) Лигатура