SU764557A1 - Способ получения отверстий в пленочных композициях - Google Patents
Способ получения отверстий в пленочных композицияхInfo
- Publication number
- SU764557A1 SU764557A1 SU2667742/25A SU2667742A SU764557A1 SU 764557 A1 SU764557 A1 SU 764557A1 SU 2667742/25 A SU2667742/25 A SU 2667742/25A SU 2667742 A SU2667742 A SU 2667742A SU 764557 A1 SU764557 A1 SU 764557A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- film composition
- making holes
- holes
- making
- film
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
Abstract
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОТВЕРСТИЙ В ПЛЕНОЧНЫХ КОМПОЗИЦИЯХ, включающий формирование первого и второго маскирующих слоев, фотолитографию и травление, отличающийся тем, что, с целью получения узких отверстий, после формирования на первое максирующее покрытие наносят слой поликристаллического кремния, формируют на его поверхности вспомогательное маскирующее покрытие, устойчивое к травителю для поликристаллического кремния и первого маскирующего покрытия, методом фотолитографии, формируют островки из поликристаллического кремния и вспомогательного маскирующего покрытия в местах требуемого расположения узких отверстий, под защитой вспомогательного покрытия подтравливают поликристаллический кремний по периметру вышеупомянутых островков, затем формируют второе маскирующее покрытие, травлением вспомогательного маскирующего покрытия удаляют второе маскирующее покрытие с поверхности островков, удаляют участки поликристаллического кремния и вытравливают отверстия в первом маскирующем покрытии.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | Способ получения отверстий в пленочных композициях |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | Способ получения отверстий в пленочных композициях |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU764557A1 true SU764557A1 (ru) | 1996-03-20 |
Family
ID=60524676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU2667742/25A SU764557A1 (ru) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | Способ получения отверстий в пленочных композициях |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU764557A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2507219C1 (ru) * | 2012-10-16 | 2014-02-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" | Фотоактивированная композиция для травления пленок нитрида кремния |
-
1978
- 1978-09-29 SU SU2667742/25A patent/SU764557A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2507219C1 (ru) * | 2012-10-16 | 2014-02-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" | Фотоактивированная композиция для травления пленок нитрида кремния |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5565551A (en) | Film composition | |
JPS5514299A (en) | Method of producing heattbonded polyolefin film | |
JPS54145781A (en) | Anaerobic composition and stabilizing method | |
SU764557A1 (ru) | Способ получения отверстий в пленочных композициях | |
SU980465A1 (ru) | Способ возведения искусственного острова на акватории | |
JPS5573548A (en) | Weatherrproof heattcontractible film and making method thereof | |
SU1259873A1 (ru) | Способ изготовления пленочных резисторов | |
SU701000A1 (ru) | Способ непрерывного литья | |
SU586662A1 (ru) | Способ получения биомассы | |
SU751256A1 (ru) | Способ нанесения тонких пленок | |
SU741618A1 (ru) | Центробежно-шестеренный насос | |
SU1032912A1 (ru) | Фотохромный материал | |
JPS54129396A (en) | Method of producing piezoothin film | |
SU811519A1 (ru) | Способ получения белкового раствора | |
SU749049A1 (ru) | Способ получения периклаза, используемого в электротехнике | |
SU1072616A1 (ru) | Способ регистрации нейтронов | |
SU1066281A1 (ru) | Двигатель | |
SU892881A1 (ru) | Способ получения этилового эфира 2,3-диметилиндолкарбоновой-5-кислоты | |
SU788672A1 (ru) | Способ получения (со)полимеров бутадиена | |
SU705934A1 (ru) | Способ изготовления интегральных схем | |
SU668304A1 (ru) | Способ получения азотсодержащих полимеров | |
SU669588A1 (ru) | Способ изготовления изделий из ячеистобетонных смесей | |
SU738325A1 (ru) | Способ получения 2-замещенных октагидро-4,7-метаноизоиндола | |
SU1081999A1 (ru) | Способ получения клея | |
SU704277A1 (ru) | Лигатура |