(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ I , Изобретение относитс к технике нанесени металлических покрытий в вакууме и может быть использовано в общем и химическоммашиностроении, радиоэлектронике и других област х науки и техники, использующих металлические пленки. По основному авт.св. № 307666 известен электродуговой испаритель металлов , содержащий корпус, поджигающий электрод и анод, причем последний снабжен соленоидом, расположенным снаружи.выполненного из немагнит ного материала корпуса, внутри котоiporo коаксиально расположен катод. Однако акое устройство имеет не .большой коэффициент использовани ма териала катода. - , Цель изобретени - увеличение коэффициента материала катода. Дл этого в электродуговом испарителе металлов, содержащем корпус, поджигающий электрод и анод, снабженный расположенным снаружи выполне ного из немагнитного материала корпу са, внутри которого касательно распрложен катод, последний-снабжен обечайкой, размещенной на ёгЬ нерабочей поверхности и выполненной иэ .материала катода. На чертеже .представлена конструк ци предлагаемого эдектродугового испарител . Он состоит из корпуса 1,катода 2 , поджигсцощего электрода 3, 4, соленоида 5 и обечайки .6. Устройство работает следующим образом . ., Назначение соленоида 5- удерживать катодные п тна на поверхности испарени катода. Однако катодные .п тна, хаотически перемеща сь по поверхности испарени , забегают на боковую поверхность катода 2 на рассто ние 20-45 мм в зависимости, от тока дуги. Магнитные силовые линии солен6ш1а образую бстрый угоЛ с боковой поверхностью катода, поэтому катодные п тна выталкиваютс на поверхность испарени . Когда толщина катода достигает величины меньше 20 мм, катодные п тна попадают на торец, противоположный поверхности испарени . -. -. К торцу катода 2 со -стороны, противоположной поверхности испарени , укреплена металлическа обечайка 6 длиной 20-45 №1, вл юща с пЬодолже кием боковой поверхности катода 2. . ;длина обечайки 6 определена экспери(54) ELECTRON-ARC METAL EVAPORATOR I, The invention relates to a technique of applying metallic coatings in a vacuum and can be used in general and chemical engineering, electronics and other fields of science and technology using metallic films. According to the main auth. No. 307666 is known for an electric arc evaporator of metals, comprising a housing, a firing electrode and an anode, the latter being equipped with a solenoid located outside. Made from a nonmagnetic housing material, inside which is a cathode located cathodely. However, this device does not have a large coefficient of use of the cathode material. -, The purpose of the invention is to increase the coefficient of the cathode material. To do this, in an electric arc evaporator of metals, a housing, a firing electrode and an anode, equipped with an outer body made of a non-magnetic material, inside which there is a cathode, the latter is equipped with a shell placed on the non-working surface and made of cathode material. In the drawing, the construction of the proposed electric arc evaporator is shown. It consists of a housing 1, a cathode 2, a burning electrode 3, 4, a solenoid 5 and a shell .6. The device works as follows. ., The purpose of the solenoid 5 is to hold the cathode spots on the evaporation surface of the cathode. However, the cathode cells, randomly moving along the evaporation surface, run to the lateral surface of the cathode 2 at a distance of 20–45 mm, depending on the arc current. The magnetic field lines of saline form a bright arc with the lateral surface of the cathode; therefore, the cathode spots are pushed onto the evaporation surface. When the cathode thickness reaches a value less than 20 mm, the cathode spots fall on the end opposite to the evaporation surface. -. -. To the end of the cathode 2 on the side opposite to the evaporation surface, a metallic shell 6 with a length of 20-45 No. 1 is strengthened, which is the lateral surface of the cathode 2 side surface. ; shell length 6 is determined by experiment
,,.«745189,,. "745189
ментально из рассто ни , на которое забегают катодные п тна на боковую поверхность катода 2 при различныхmentally from the distance that cathode spots run onto the lateral surface of cathode 2 at different
iPblcax дуги и величины, магнитного пол соленоида 5 Установка обечайки б заподлицо с боковой поверхностью катода 2 исключает погасание дуги на тыкё ее с катодом. Обечайку б целесообразно изготавливать из лйстев61:ю материала толщиной 1-2 мм. Дл .исключени загр зйениА металлического покротий металл обечайки должен быть идентичен металлу испар емого катода 2. Катод с обечайкой горит стабильно и мо5кет быть испарен, практически полностью . Толщина 1-2 ;им неиспаренного катода определ етс креплением обечайки б..iPblcax arc and magnitude, magnetic field of the solenoid 5 Installing the shell b flush with the side surface of the cathode 2 eliminates the extinction of the arc on its tyke with the cathode. It is advisable to make the shell b from listev61: a material 1-2 mm thick. To exclude metal contamination, the shell metal must be identical to the metal of the vaporized cathode 2. The cathode with the shell is stable and the fuel can be evaporated almost completely. The thickness is 1-2; the non-evaporated cathode is determined by fastening the shell b ..
Применение обечайки позволило значительно увеличить коэффициент исЙдЛьШёйййй испар емого металла. Например , в испарителе катод с диаметром 100 мм, толщиной 60 мм из Т без обечайки прекргицает стабильно работать при толщине 20-25 мм, т.е. используетс 60% запаса металла, при Наличии обечайки шириной 25 мм толщина неиспаренного катода 2 мм, т.е. испсгльзуетс 95% металла. Таким образом , на каждом катоде из т можно сэкономить 700 г, а из Мо - 1,5 кг.The use of a shell made it possible to significantly increase the coefficient of the IDEAL OF THE EVAPORATED METAL. For example, in an evaporator, a cathode with a diameter of 100 mm and a thickness of 60 mm from T without a shell prevents working steadily at a thickness of 20-25 mm, i.e. 60% of the metal reserve is used, with a shell of 25 mm wide, the thickness of the non-evaporated cathode is 2 mm, i.e. 95% of the metal is absorbed. Thus, 700 g can be saved on each cathode from m, and from Mo - 1.5 kg.