SU723000A1 - Шлюзовое устройство - Google Patents

Description

Огкачна  полость 3 соединена с откачным патрубком 13 второй ступени отка ки, который закреплен на корпусе 1, В корпусе 1 имеютс  загрузочное 14 и разгрузочное 15 отверсти  дл  прохода транспортируемых изделий. Дл  того, чт бы изделие не соприкасалось с внутренней поверхностью загрузочной полости ротора 4, на направл ющей Ю установ лен держатель 16 и заслонка 17, кине Матически соединенна  с ротором 4. Устройство установлено на рабочей камере 18. Регулируемые упоры 19 предназначены дл  балансировки рсггора 4 в корпусе 1. Устройство работает следующим оОра зом. Через загрузочное отверстие 14 происходит загрузка издели  в загрузоч ную полость 5 ротора 4. При этом изде лие размещаетс  в направл ющей Ю и упираетс  в держатель 16. При вращении ротора 4 загрузочна  полость 5 совмещаетс  поочередно с полост ми промежуточной откачки 2 и 3, в резуль тате чего происходит ступенчата  ее откачка. Так как направл юща  Ю жестко соединена с осью И, котора  при этом закреплена неподвижно в торцовой i epметичной крьшке 6 через ввод вращени  3.2, то направл лощо  10 остаетс  неподвижной в процессе вращени  рото{за 4 В момент совмещени  загрузочной полости 5 с разгрузочным отверстием 15 корпуса 1 заслонка 17 открывает держатель 16 и изделие поступает из направл ющей 1О в рабочую камеру

Фиг.{ О 18 под собственным весом сохран   свою ориентацию. Аналогично устройство работает при выгрузке изделий из рабочей камеры. Только установка устройства осуществ 1 етс  так, чтобы загрузочное отверстие 14 находилось со стороны вакуумной 5абочей камеры 18. В предложенном устройстве обеспечиваетс  сохранение ориентации издели  и повышаетс  надежность загрузки издели , т.е. исключена поломка издели  и выход из стро  шлюзового устройства из-за попадани  частиц издели  в зазоры между ротором и корпусом. ормула изобретени  Шлюзовое устройство, содержащее корпус с загрузочно-разгрузочнымиотверсти ми и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью, отличающеес  тем, что, с целью исключени  повреждени  обрабатьтаемых изделий, устройство ./ снабжено держателем со сквозным отверстием , соосным загрузочно-разгрузочным отверсти м корпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслонкой, кинематически соединенной с ротором расположенной в торце выходного отверси  держател . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Joorn. Vac. Sci. Tecbnotogv 973г. V ION 2 p. 393-397. 2.Авторское свидетельство СССР 451753, кл. С 21 а 9/ОО, 1973 прототип).

)

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Шлюзовое устройство, содержащее корпус ²⁰ с загрузочно—разгрузочным и отверстиями и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью, отличающееся тем, что, с цепью исключения повреждения обрабатываемых изделий, устройство / ²⁵ снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочным отверстиям корпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслонкой, кинематически соединенной с ротором ³⁰ и расположенной в торце выходного отверс· тия держателя.