SU720292A1 - След ща система дл оптических интерферометров - Google Patents
След ща система дл оптических интерферометров Download PDFInfo
- Publication number
- SU720292A1 SU720292A1 SU752121634A SU2121634A SU720292A1 SU 720292 A1 SU720292 A1 SU 720292A1 SU 752121634 A SU752121634 A SU 752121634A SU 2121634 A SU2121634 A SU 2121634A SU 720292 A1 SU720292 A1 SU 720292A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- raster
- servo system
- galvanometer
- mirror
- optical interferometers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
отражающего растра и снабжен срещством перемещени , которое через усилитель мощности и интегратор подключено к выходу дифференциал:ьного усилител .
На чертеже показана схема след щей системы дл оптических интерферометров .
След ща система содержит гальванометр , включающий в сео зеркало 1, рамку 2, фокусирующую линзу 3; дискриминатор в виде прозрачноотражательного растра 4, коллиматор 5, фотоприемники 6,7, дифференциальный усилитель 8, балластное сопротиление 9, регистрирующее устройство 10, интегратор 11, усилитель мощности 12 и средство перемещени растра в виде серводвигател 13 с индикатором 14. При этом последовательно включенные балластные сопротивлени 9, и рамка 2 гальванометра соединены с выходом дифференциального усилител , а последователно включенные интегратор 11, усилитель мощности 12 и серводвигат 2ль 13 подключены к входу усилител 8
Система работает следующим образом .
Сфокусированные линзой 3 лучи а и б, отража сь от зеркала 1 гальванометра , интерферируют в плоскост растра 4. Часть света, отраженна растрсм, фокусируетс на фотоприемнике 7, а часть света прошедша через растр, фокусируетс на :фотоприемнике 6. Электрические сих- налы с фотоприемников 6 и 7 поступают на дифференииальный усилитель
При смещении интерференционных полос вдоль решетки в рамке 2 гальванометра возбуждаетс ток, которы поворачивает зеркало 1 таким oeipaзом , чтобы скомпенсировать возникшее смещение полос. Ток, протекающий через гальванометр, регистрируетс устройством 10. Он вл етс сигналом рассогласовани , пропорционален углу поворота зеркала 1 и св зан с измер емой величиной смещени полос.
Дл расширени динамического диапазона измер емых смещений полос сигнал с выхода усилител 8 поступает на интегратор 11, а затем на усилитель мощности 12, который приВОДИТ В движение серводвигатель 13. При значительных поворотах зеркала 1, т.е. при больших сдвигах полос, серводвигатель 13 перемещает растр 4 так, чтобы повернуть зеркало гальванометра в исходное положение. Перемещение растра фиксируетс индикатором 14 .
При использовании изобретени диапазон регистрируемых перемещений интерференционных полос определ етс числом штрихов в используемой решетке и составл ет 10 полос. Быстродействие системы зависит QT инерцийнности зеркального гальванометра и может принимать значени от О до 100 Гц.
Claims (1)
1. Еали и Востром. Приборы дл научных исследований , 1968, № 9, с.59.
2, Воронцов Л.Н, Фотоэлектрические системы контрол линейных величин . М., Машиностроение, 1965, с.60-61 (прототип).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU752121634A SU720292A1 (ru) | 1975-04-08 | 1975-04-08 | След ща система дл оптических интерферометров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU752121634A SU720292A1 (ru) | 1975-04-08 | 1975-04-08 | След ща система дл оптических интерферометров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU720292A1 true SU720292A1 (ru) | 1980-03-05 |
Family
ID=20615344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU752121634A SU720292A1 (ru) | 1975-04-08 | 1975-04-08 | След ща система дл оптических интерферометров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU720292A1 (ru) |
-
1975
- 1975-04-08 SU SU752121634A patent/SU720292A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3244895A (en) | Shaft encoders | |
JPS63231217A (ja) | 移動量測定装置 | |
SU720292A1 (ru) | След ща система дл оптических интерферометров | |
JPS6155047B2 (ru) | ||
JPS632323B2 (ru) | ||
US3122601A (en) | Interferometer | |
GB917058A (en) | Apparatus for sensing the position of a movable reflective surface | |
JPS6041287B2 (ja) | 微小角測定方法 | |
SU523376A1 (ru) | Автоколлимационный прибор | |
JPS62200224A (ja) | 変位測定装置 | |
JPS6122243Y2 (ru) | ||
JPS6165165A (ja) | 回転情報検出計 | |
SU1647239A1 (ru) | Лазерный измеритель | |
SU695307A1 (ru) | Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени | |
SU767696A2 (ru) | Нуль-индикатор | |
SU958852A1 (ru) | Устройство дл измерени углового перемещени объекта | |
JPH0317210Y2 (ru) | ||
SU794365A1 (ru) | Устройство дл контрол пЕРЕМЕщЕНий | |
SU823849A1 (ru) | Фотоэлектрический измеритель круговыхпЕРЕМЕщЕНий | |
SU574741A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код | |
SU1716360A1 (ru) | Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объектива | |
SU853378A1 (ru) | Интерференционное устройство измерени лиНЕйНыХ и углОВыХ пЕРЕМЕщЕНий | |
SU678274A1 (ru) | Устройство дл измерени кинематической погрешности механизмов | |
SU731283A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
SU868340A1 (ru) | Преобразователь линейных перемещений |