SU720292A1 - След ща система дл оптических интерферометров - Google Patents

След ща система дл оптических интерферометров Download PDF

Info

Publication number
SU720292A1
SU720292A1 SU752121634A SU2121634A SU720292A1 SU 720292 A1 SU720292 A1 SU 720292A1 SU 752121634 A SU752121634 A SU 752121634A SU 2121634 A SU2121634 A SU 2121634A SU 720292 A1 SU720292 A1 SU 720292A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
raster
servo system
galvanometer
mirror
optical interferometers
Prior art date
Application number
SU752121634A
Other languages
English (en)
Inventor
Мстислав Николаевич Дубров
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср
Priority to SU752121634A priority Critical patent/SU720292A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU720292A1 publication Critical patent/SU720292A1/ru

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Description

отражающего растра и снабжен срещством перемещени , которое через усилитель мощности и интегратор подключено к выходу дифференциал:ьного усилител .
На чертеже показана схема след щей системы дл  оптических интерферометров .
След ща  система содержит гальванометр , включающий в сео  зеркало 1, рамку 2, фокусирующую линзу 3; дискриминатор в виде прозрачноотражательного растра 4, коллиматор 5, фотоприемники 6,7, дифференциальный усилитель 8, балластное сопротиление 9, регистрирующее устройство 10, интегратор 11, усилитель мощности 12 и средство перемещени  растра в виде серводвигател  13 с индикатором 14. При этом последовательно включенные балластные сопротивлени  9, и рамка 2 гальванометра соединены с выходом дифференциального усилител , а последователно включенные интегратор 11, усилитель мощности 12 и серводвигат 2ль 13 подключены к входу усилител  8
Система работает следующим образом .
Сфокусированные линзой 3 лучи а и б, отража сь от зеркала 1 гальванометра , интерферируют в плоскост растра 4. Часть света, отраженна  растрсм, фокусируетс  на фотоприемнике 7, а часть света прошедша  через растр, фокусируетс  на :фотоприемнике 6. Электрические сих- налы с фотоприемников 6 и 7 поступают на дифференииальный усилитель
При смещении интерференционных полос вдоль решетки в рамке 2 гальванометра возбуждаетс  ток, которы поворачивает зеркало 1 таким oeipaзом , чтобы скомпенсировать возникшее смещение полос. Ток, протекающий через гальванометр, регистрируетс  устройством 10. Он  вл етс  сигналом рассогласовани , пропорционален углу поворота зеркала 1 и св зан с измер емой величиной смещени  полос.
Дл  расширени  динамического диапазона измер емых смещений полос сигнал с выхода усилител  8 поступает на интегратор 11, а затем на усилитель мощности 12, который приВОДИТ В движение серводвигатель 13. При значительных поворотах зеркала 1, т.е. при больших сдвигах полос, серводвигатель 13 перемещает растр 4 так, чтобы повернуть зеркало гальванометра в исходное положение. Перемещение растра фиксируетс  индикатором 14 .
При использовании изобретени  диапазон регистрируемых перемещений интерференционных полос определ етс  числом штрихов в используемой решетке и составл ет 10 полос. Быстродействие системы зависит QT инерцийнности зеркального гальванометра и может принимать значени  от О до 100 Гц.

Claims (1)

1. Еали и Востром. Приборы дл  научных исследований , 1968, № 9, с.59.
2, Воронцов Л.Н, Фотоэлектрические системы контрол  линейных величин . М., Машиностроение, 1965, с.60-61 (прототип).
SU752121634A 1975-04-08 1975-04-08 След ща система дл оптических интерферометров SU720292A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU752121634A SU720292A1 (ru) 1975-04-08 1975-04-08 След ща система дл оптических интерферометров

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU752121634A SU720292A1 (ru) 1975-04-08 1975-04-08 След ща система дл оптических интерферометров

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU720292A1 true SU720292A1 (ru) 1980-03-05

Family

ID=20615344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU752121634A SU720292A1 (ru) 1975-04-08 1975-04-08 След ща система дл оптических интерферометров

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU720292A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3244895A (en) Shaft encoders
JPS63231217A (ja) 移動量測定装置
SU720292A1 (ru) След ща система дл оптических интерферометров
JPS6155047B2 (ru)
JPS632323B2 (ru)
US3122601A (en) Interferometer
GB917058A (en) Apparatus for sensing the position of a movable reflective surface
JPS6041287B2 (ja) 微小角測定方法
SU523376A1 (ru) Автоколлимационный прибор
JPS62200224A (ja) 変位測定装置
JPS6122243Y2 (ru)
JPS6165165A (ja) 回転情報検出計
SU1647239A1 (ru) Лазерный измеритель
SU695307A1 (ru) Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени
SU767696A2 (ru) Нуль-индикатор
SU958852A1 (ru) Устройство дл измерени углового перемещени объекта
JPH0317210Y2 (ru)
SU794365A1 (ru) Устройство дл контрол пЕРЕМЕщЕНий
SU823849A1 (ru) Фотоэлектрический измеритель круговыхпЕРЕМЕщЕНий
SU574741A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код
SU1716360A1 (ru) Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объектива
SU853378A1 (ru) Интерференционное устройство измерени лиНЕйНыХ и углОВыХ пЕРЕМЕщЕНий
SU678274A1 (ru) Устройство дл измерени кинематической погрешности механизмов
SU731283A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
SU868340A1 (ru) Преобразователь линейных перемещений