SU719834A1 - Инструмент дл ультразвуковой микросварки - Google Patents

Инструмент дл ультразвуковой микросварки Download PDF

Info

Publication number
SU719834A1
SU719834A1 SU782594259A SU2594259A SU719834A1 SU 719834 A1 SU719834 A1 SU 719834A1 SU 782594259 A SU782594259 A SU 782594259A SU 2594259 A SU2594259 A SU 2594259A SU 719834 A1 SU719834 A1 SU 719834A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
tool
working
cutting edge
wire
platform
Prior art date
Application number
SU782594259A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Владимирович Кулявцев
Михаил Дмитриевич Коротаев
Виктор Наумович Стримбан
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3562
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3562 filed Critical Предприятие П/Я А-3562
Priority to SU782594259A priority Critical patent/SU719834A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU719834A1 publication Critical patent/SU719834A1/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78313Wedge

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

Изобретение относится к ультразвуковой сварке мйкродеталей и мОжет быть использовано в полупроводниковой технологии при при сое ди не Пи и проволочных выводов диаметром 0,01-0,5 мм в процессе сборки полупроводниковых приборов.
Известен инструмент для ультразвуковой микросварки, выполненный в виде иглы, имеющей на рабочем торце площадку 'с продольной канавкой.
Такая геометрия рабочей площадки является оптимальной, так как продольная канабка фиксирует проволочный вывод от бокового смещения и ограничит вает его деформацию в процессе сварки СИ
Однако обрыв проволочного вывода после последней сварки производится обычно при помощи специальных губок. Для повышения надежности обрыва необходимо заднюю кромку рабочей площадки инструмента делать возможно более острой, с другой стороны, для увеличения прочности вывода переход от
УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МИКРОСВАРКИ сварной точки к недеформированному сечению должен быть плавным, для этого обе кромки рабочей площадки следует делать скругленными.
Известен также инструмент для микросварки, выполненный в виде иглы, имеющей,по крайней мере, две рабочие площадки с продольными канавками и режущую кромку на одной из площадок И.
Острая задняя кромка второй площадки деформирует только ту часть сечения вывода, которая находится под плоскостью площадки, а основная часть сечения, расположенная в канавке, практически не деформируется, что не позволяет осуществлять обрыв провблоки при помощи инструмента, так как проволока в месте предполагаемого обрыва 2D деформирована недостаточно, поэтому приходится использовать для этой цели дополнительные устройства обрыва специальные губки. Использование губок приводит к увеличению габаритов
--. . ! 719834 4 рабочего торпа инструмента, ’itO'снижает его технологические возможности.
Цель изобретения - увеличениестепени деформирования в месте обрыва проволоки.
•Поставленная цель достигается тем, что в известном инструменте для микросварки, выполненном в виде иглы, имеющей, по крайней мере, две рабочие площадки с прдольными канавками и режущую кромку на одной из площадок, режущая кромка выполнена в виде перемычки между кромкой площадки и линией пересечения плоскости площадки и плоскости, секущей ГпрбдоЛВнуЮ канавку перпендикулярно ее продольной оси.
На фиг. 1 изображен рабочий торец инструмента, общий вид; на фиг. 2 варианты (а, б, в, г) схемы присоединения выводов. · ' Инструмент выполнен в виде иглы 1 с двумя рабочими площадками, имеющими продольные канавки 2 и 3. Канавка 2 ограничена спереди перемычкой 4, образующей режущую кромку. Для подачи проволочного вывода под рабочую площНдку инструмент имеет капиллярное, отверстие 5 прямоугольного сечения.
После последней сварки (фиг. 2а) инструмент 1 перемещают относительно проволочного вывода 2 так, что режущая кромка 3 передавливает вывод непосредственно· за сварной точкой 4 (фиг.2б). Затем инструмент перемещают вдоль оси вывода и производят обрыв (фиг.2в). Первую сварку нового вывода производят этой же площадкой (фиг.2 г).
И р им е р . Инструмент изготовляют из сплава ВК6М. На рабочем торце инструмента выполняют две рабочие площадки с продольными канавками радиусом 14 мкм и глубиной 7 мкм. .Внутри одной из канавок в передней ее части на всю ее глубину выполняется перемычка шириной 15 мм, образующая режущую кромку. Длина' рабочей площадки 80 мкм. Капиллярное отверстие инструмента в поперечном сечении 5 70x40 мкм.
С помощью указанного инструмента проводят присоединение проволочных выводов диаметром 27 мкм из алюминия к контактным площадкам и траверсам 10 полупроводникового прибора методом ультразвуковой сварки.
Капиллярное Отверстие прямоугольного сечения дает возможность перемещать инструмент перпендикулярно оси 15 приваренного вывода.. Указанная схема присоединения и обрыва выводов позволяет отказаться от использования каких-либо дополнительных устройств для подачи и обрыва, что существенно упро20 шает конструкцию сборочного оборудования, повышает его надежность и универсальность.

Claims (2)

  1. (54) ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКрВОЙ МИКРОСВАРКИ рабочего торца инструмента, « тб -сНИжает ето технологические возмо}кности. Уель изобретени - увёлйЧбНйб cteneни деформировани  в месте обрыва проволоки . ПосТйвленна  цель достигаетс  тем, что в ййвестном инструменте дл  мйкросВарКй , вьпюлненном в виде иглы, имеющей , покрайней мере, jOBe рабочие площадки с прдольными канавками и режу щую кромку на одной из плшцадок, реjkyfliaa KjpbMKa выполнена в виде перемычки между кромкой площадки и пинией пересечени  плоскости площадки и плоскости, секущей ГпрбаоНйнуй канавку перпендикул рно ее продольной оси. На фиг. 1 изображен рабочий торец инструмента, общий вид; на фиг. 2 - варианты (а, б, в, г) схемы присоединени  выводов.. Инструмент выполнен в виде иглы I с друм  рабочими площадками, имеющими продольные канавки 2 и 3. Канавка 2 ограничена спереди перемычкой 4, образующей режущую кромку. Дл  под-зч проволочного вьгаода под рабочую пло щМдйу {гйсТру лёнт имеет капилл рное, отверстие 5 пр моугольного сечени . После последней сварки (фиг. 2а) и струмент 1 перемещают относительно проволочного вывода 2 так, что режуща кромка 3 передавливает вывод непосред ственно за сварной точкой 4 (фиг.2б). Затем инструмент перемещают вдоль оси вывода и производ т обрыв (фиг.2в ПерЖуй Шарку нового вывода производ  этой же площадкой (фиг.2 г). П РИМ е р . Инструмент изготовл ют из сплава ВК6М. На рабочем торце инструмента выполн ют две рабочие гщощадки с пр6дольн ыми ;1ШаЖаК1И радиусом 14 мкм иглубиной 7 мкм. .Внутри одной из канавок в передней ее части на всю ее глубину выполн етс  1 44 перемычка шириной 15 мм, образующа  режущую кромку. Длина рабочей площадки 80 мкм. Капилл рное отверстие инструмента в поперечном сечении 70x40 мкм. С помощью указанного инструмента гфовод т присоединение проволочных выводов диаметром 27 мкм из алюмини  к кЪнтактным площадкам и траверсам полупроводникового прибора методом ультразвуковой сварки. Капилл рное Отверстие пр моугольного сечени  даё-г- возможность перемещать инструмент перпендикул рно оси приваренного вьтода..,Указанна  схема присоединени  и обрыва выводов позвол ет отказатьс  от использовани  каких-либо дополнительных устройств дл  подачи и обрыва, что существенно упрощает конструкцию сборочного оборудовани , повышает его надежность и универсальность . Формула изобретени  Инструмент дл  ультразвуковой микросварки , выполненный в виде иглы, и иеющей, по крайней мере, две рабочие площадки с продольными канавками и режущую кромку на одной из плошадок, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  степени деформировани  в месте обрьгоа проволоки, режуща  кромка выполнено в виде перемычки, между кромкой площадки и линией пересечени  плоскости площадки и плоскости, секущей продольную канавку перпендикул рно ее продольной оси. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. ОСТ 11 ПО.409,003-72, с. 3. -
  2. 2. Патент США № 3934783, (сл. 228-11О, 1976.
SU782594259A 1978-03-24 1978-03-24 Инструмент дл ультразвуковой микросварки SU719834A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782594259A SU719834A1 (ru) 1978-03-24 1978-03-24 Инструмент дл ультразвуковой микросварки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782594259A SU719834A1 (ru) 1978-03-24 1978-03-24 Инструмент дл ультразвуковой микросварки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU719834A1 true SU719834A1 (ru) 1980-03-05

Family

ID=20755167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782594259A SU719834A1 (ru) 1978-03-24 1978-03-24 Инструмент дл ультразвуковой микросварки

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU719834A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5217154A (en) * 1989-06-13 1993-06-08 Small Precision Tools, Inc. Semiconductor bonding tool
US5516029A (en) * 1993-06-30 1996-05-14 Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. Method and apparatus for bonding a semiconductor device
US5831214A (en) * 1995-11-10 1998-11-03 E.G.O. Elektro-Geratebau Gmbh Electrical circuit

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5217154A (en) * 1989-06-13 1993-06-08 Small Precision Tools, Inc. Semiconductor bonding tool
US5516029A (en) * 1993-06-30 1996-05-14 Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. Method and apparatus for bonding a semiconductor device
US5831214A (en) * 1995-11-10 1998-11-03 E.G.O. Elektro-Geratebau Gmbh Electrical circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4415115A (en) Bonding means and method
US5452841A (en) Wire bonding apparatus and method
US6824630B2 (en) Flexible flat cable connecting method and a horn construction of an ultrasonic welding machine
US5953624A (en) Bump forming method
KR100283850B1 (ko) 플랫케이블과단자의접속구조
US5642852A (en) Method of ultrasonic welding
JPH10112471A (ja) ワイヤボンディング方法
US6685083B2 (en) Ultrasonic vibration mode for wire bonding
SU719834A1 (ru) Инструмент дл ультразвуковой микросварки
JP4271674B2 (ja) ワイヤボンディング装置
JP2000107872A (ja) 超音波溶接機のホーン
JPH10241760A (ja) 挿入型ピン状端子及びこれを有する回路モジュール
CN214518357U (zh) 一种刀尖具有c形凹槽的深腔焊劈刀
JPH01276729A (ja) ワイヤボンディング方法
SU725845A1 (ru) Инструмент дл приварки проволочных выводов
JPH10149843A (ja) 溶接端子
JPS62152143A (ja) バンプ形成方法
Dawes et al. Ultrasonic ball/wedge bonding of aluminium wires
JPH06283578A (ja) ワイヤボンディング装置
CN218975800U (zh) 一种导体排线横向跨接结构
US11283197B2 (en) Connection structure of electric wire and auxiliary terminal
SU990458A1 (ru) Инструмент дл ультразвукового присоединени микропроволоки
RU1457738C (ru) Способ монтажа выводов БИС
JP2002134903A (ja) 極細線接続方法
SU1731539A1 (ru) Способ формировани проволочной перемычки