SU719834A1 - Инструмент дл ультразвуковой микросварки - Google Patents
Инструмент дл ультразвуковой микросварки Download PDFInfo
- Publication number
- SU719834A1 SU719834A1 SU782594259A SU2594259A SU719834A1 SU 719834 A1 SU719834 A1 SU 719834A1 SU 782594259 A SU782594259 A SU 782594259A SU 2594259 A SU2594259 A SU 2594259A SU 719834 A1 SU719834 A1 SU 719834A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- tool
- working
- cutting edge
- wire
- platform
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78313—Wedge
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
Изобретение относится к ультразвуковой сварке мйкродеталей и мОжет быть использовано в полупроводниковой технологии при при сое ди не Пи и проволочных выводов диаметром 0,01-0,5 мм в процессе сборки полупроводниковых приборов.
Известен инструмент для ультразвуковой микросварки, выполненный в виде иглы, имеющей на рабочем торце площадку 'с продольной канавкой.
Такая геометрия рабочей площадки является оптимальной, так как продольная канабка фиксирует проволочный вывод от бокового смещения и ограничит вает его деформацию в процессе сварки СИ
Однако обрыв проволочного вывода после последней сварки производится обычно при помощи специальных губок. Для повышения надежности обрыва необходимо заднюю кромку рабочей площадки инструмента делать возможно более острой, с другой стороны, для увеличения прочности вывода переход от
УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МИКРОСВАРКИ сварной точки к недеформированному сечению должен быть плавным, для этого обе кромки рабочей площадки следует делать скругленными.
Известен также инструмент для микросварки, выполненный в виде иглы, имеющей,по крайней мере, две рабочие площадки с продольными канавками и режущую кромку на одной из площадок И.
Острая задняя кромка второй площадки деформирует только ту часть сечения вывода, которая находится под плоскостью площадки, а основная часть сечения, расположенная в канавке, практически не деформируется, что не позволяет осуществлять обрыв провблоки при помощи инструмента, так как проволока в месте предполагаемого обрыва 2D деформирована недостаточно, поэтому приходится использовать для этой цели дополнительные устройства обрыва специальные губки. Использование губок приводит к увеличению габаритов
--. . ! 719834 4 рабочего торпа инструмента, ’itO'снижает его технологические возможности.
Цель изобретения - увеличениестепени деформирования в месте обрыва проволоки.
•Поставленная цель достигается тем, что в известном инструменте для микросварки, выполненном в виде иглы, имеющей, по крайней мере, две рабочие площадки с прдольными канавками и режущую кромку на одной из площадок, режущая кромка выполнена в виде перемычки между кромкой площадки и линией пересечения плоскости площадки и плоскости, секущей ГпрбдоЛВнуЮ канавку перпендикулярно ее продольной оси.
На фиг. 1 изображен рабочий торец инструмента, общий вид; на фиг. 2 варианты (а, б, в, г) схемы присоединения выводов. · ' Инструмент выполнен в виде иглы 1 с двумя рабочими площадками, имеющими продольные канавки 2 и 3. Канавка 2 ограничена спереди перемычкой 4, образующей режущую кромку. Для подачи проволочного вывода под рабочую площНдку инструмент имеет капиллярное, отверстие 5 прямоугольного сечения.
После последней сварки (фиг. 2а) инструмент 1 перемещают относительно проволочного вывода 2 так, что режущая кромка 3 передавливает вывод непосредственно· за сварной точкой 4 (фиг.2б). Затем инструмент перемещают вдоль оси вывода и производят обрыв (фиг.2в). Первую сварку нового вывода производят этой же площадкой (фиг.2 г).
И р им е р . Инструмент изготовляют из сплава ВК6М. На рабочем торце инструмента выполняют две рабочие площадки с продольными канавками радиусом 14 мкм и глубиной 7 мкм. .Внутри одной из канавок в передней ее части на всю ее глубину выполняется перемычка шириной 15 мм, образующая режущую кромку. Длина' рабочей площадки 80 мкм. Капиллярное отверстие инструмента в поперечном сечении 5 70x40 мкм.
С помощью указанного инструмента проводят присоединение проволочных выводов диаметром 27 мкм из алюминия к контактным площадкам и траверсам 10 полупроводникового прибора методом ультразвуковой сварки.
Капиллярное Отверстие прямоугольного сечения дает возможность перемещать инструмент перпендикулярно оси 15 приваренного вывода.. Указанная схема присоединения и обрыва выводов позволяет отказаться от использования каких-либо дополнительных устройств для подачи и обрыва, что существенно упро20 шает конструкцию сборочного оборудования, повышает его надежность и универсальность.
Claims (2)
- (54) ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКрВОЙ МИКРОСВАРКИ рабочего торца инструмента, « тб -сНИжает ето технологические возмо}кности. Уель изобретени - увёлйЧбНйб cteneни деформировани в месте обрыва проволоки . ПосТйвленна цель достигаетс тем, что в ййвестном инструменте дл мйкросВарКй , вьпюлненном в виде иглы, имеющей , покрайней мере, jOBe рабочие площадки с прдольными канавками и режу щую кромку на одной из плшцадок, реjkyfliaa KjpbMKa выполнена в виде перемычки между кромкой площадки и пинией пересечени плоскости площадки и плоскости, секущей ГпрбаоНйнуй канавку перпендикул рно ее продольной оси. На фиг. 1 изображен рабочий торец инструмента, общий вид; на фиг. 2 - варианты (а, б, в, г) схемы присоединени выводов.. Инструмент выполнен в виде иглы I с друм рабочими площадками, имеющими продольные канавки 2 и 3. Канавка 2 ограничена спереди перемычкой 4, образующей режущую кромку. Дл под-зч проволочного вьгаода под рабочую пло щМдйу {гйсТру лёнт имеет капилл рное, отверстие 5 пр моугольного сечени . После последней сварки (фиг. 2а) и струмент 1 перемещают относительно проволочного вывода 2 так, что режуща кромка 3 передавливает вывод непосред ственно за сварной точкой 4 (фиг.2б). Затем инструмент перемещают вдоль оси вывода и производ т обрыв (фиг.2в ПерЖуй Шарку нового вывода производ этой же площадкой (фиг.2 г). П РИМ е р . Инструмент изготовл ют из сплава ВК6М. На рабочем торце инструмента выполн ют две рабочие гщощадки с пр6дольн ыми ;1ШаЖаК1И радиусом 14 мкм иглубиной 7 мкм. .Внутри одной из канавок в передней ее части на всю ее глубину выполн етс 1 44 перемычка шириной 15 мм, образующа режущую кромку. Длина рабочей площадки 80 мкм. Капилл рное отверстие инструмента в поперечном сечении 70x40 мкм. С помощью указанного инструмента гфовод т присоединение проволочных выводов диаметром 27 мкм из алюмини к кЪнтактным площадкам и траверсам полупроводникового прибора методом ультразвуковой сварки. Капилл рное Отверстие пр моугольного сечени даё-г- возможность перемещать инструмент перпендикул рно оси приваренного вьтода..,Указанна схема присоединени и обрыва выводов позвол ет отказатьс от использовани каких-либо дополнительных устройств дл подачи и обрыва, что существенно упрощает конструкцию сборочного оборудовани , повышает его надежность и универсальность . Формула изобретени Инструмент дл ультразвуковой микросварки , выполненный в виде иглы, и иеющей, по крайней мере, две рабочие площадки с продольными канавками и режущую кромку на одной из плошадок, отличающийс тем, что, с целью увеличени степени деформировани в месте обрьгоа проволоки, режуща кромка выполнено в виде перемычки, между кромкой площадки и линией пересечени плоскости площадки и плоскости, секущей продольную канавку перпендикул рно ее продольной оси. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. ОСТ 11 ПО.409,003-72, с. 3. -
- 2. Патент США № 3934783, (сл. 228-11О, 1976.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782594259A SU719834A1 (ru) | 1978-03-24 | 1978-03-24 | Инструмент дл ультразвуковой микросварки |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782594259A SU719834A1 (ru) | 1978-03-24 | 1978-03-24 | Инструмент дл ультразвуковой микросварки |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU719834A1 true SU719834A1 (ru) | 1980-03-05 |
Family
ID=20755167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782594259A SU719834A1 (ru) | 1978-03-24 | 1978-03-24 | Инструмент дл ультразвуковой микросварки |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU719834A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5217154A (en) * | 1989-06-13 | 1993-06-08 | Small Precision Tools, Inc. | Semiconductor bonding tool |
US5516029A (en) * | 1993-06-30 | 1996-05-14 | Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. | Method and apparatus for bonding a semiconductor device |
US5831214A (en) * | 1995-11-10 | 1998-11-03 | E.G.O. Elektro-Geratebau Gmbh | Electrical circuit |
-
1978
- 1978-03-24 SU SU782594259A patent/SU719834A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5217154A (en) * | 1989-06-13 | 1993-06-08 | Small Precision Tools, Inc. | Semiconductor bonding tool |
US5516029A (en) * | 1993-06-30 | 1996-05-14 | Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. | Method and apparatus for bonding a semiconductor device |
US5831214A (en) * | 1995-11-10 | 1998-11-03 | E.G.O. Elektro-Geratebau Gmbh | Electrical circuit |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4415115A (en) | Bonding means and method | |
US5452841A (en) | Wire bonding apparatus and method | |
US6824630B2 (en) | Flexible flat cable connecting method and a horn construction of an ultrasonic welding machine | |
US5953624A (en) | Bump forming method | |
KR100283850B1 (ko) | 플랫케이블과단자의접속구조 | |
US5642852A (en) | Method of ultrasonic welding | |
JPH10112471A (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
US6685083B2 (en) | Ultrasonic vibration mode for wire bonding | |
SU719834A1 (ru) | Инструмент дл ультразвуковой микросварки | |
JP4271674B2 (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
JP2000107872A (ja) | 超音波溶接機のホーン | |
JPH10241760A (ja) | 挿入型ピン状端子及びこれを有する回路モジュール | |
CN214518357U (zh) | 一种刀尖具有c形凹槽的深腔焊劈刀 | |
JPH01276729A (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
SU725845A1 (ru) | Инструмент дл приварки проволочных выводов | |
JPH10149843A (ja) | 溶接端子 | |
JPS62152143A (ja) | バンプ形成方法 | |
Dawes et al. | Ultrasonic ball/wedge bonding of aluminium wires | |
JPH06283578A (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
CN218975800U (zh) | 一种导体排线横向跨接结构 | |
US11283197B2 (en) | Connection structure of electric wire and auxiliary terminal | |
SU990458A1 (ru) | Инструмент дл ультразвукового присоединени микропроволоки | |
RU1457738C (ru) | Способ монтажа выводов БИС | |
JP2002134903A (ja) | 極細線接続方法 | |
SU1731539A1 (ru) | Способ формировани проволочной перемычки |