SU711922A1 - Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м - Google Patents

Abstract

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ, содержащее источник электронов, электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, электроды со щелевыми отверсти ми, ограничивающие поле конденсатора углом 127", и приемник электронов, отличающеес  тем, что, с целью увеличени  первианса устройства и повышени  монокинетичности электронного пучка, обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, зашитых, со стороны электронного пучка металлической сеткой, и с противоположной - фольгой с акводажным покрытием.!S^QO Isd ЮФи2.1

Description

2. Устройство по П.1, о т л и чающеес  тем, что в конденсаторе по обе стороны пучка эквидис

,711922

тантно срединной плоскости пучка ус тановлены электроды,выполненные в виде части колецс центральным углом 127.

j1

fстройствс относитс  к области

физики, изучающей различные процессы и  влени  с помощью монохроматических электронных пучков, а более конкретно - дл  изучени  процессов упругого и неупругого рассе ни  электронов на атомах и MOjjeKynax, преимущественно в области малых энергий.

Известны различные устройства монохроматизации (монокинетизации) направленных пучков электронов: селектор с поперечным и продольным магнитными пол ми, электростатические монохроматоры - цилиндрические и сферические 1 J.

Основной проблемой, которую приходитс  решать в устройствах селекции - повьинение разрешающей способности , котора  ограничена как принципиальными , так и технологическими факторами,

Влижаййцш техническим решением  в л етс  устройство дл  селекции пучка электронов по энерги м, содержащее источник электронов 5электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, электроды со щелевыми отверсти ми, ограничивающие поле конденсатора углом 127, и приемник электронов t2 J.

Основу измерительной части известного прибора составл ют цилиндрический конденсатор, изготовленньш в вид двух цилиндрических поверхностей с радиуса1-ш мм, Rj 15 и высо той 25 мм с центральным углом 127, пр моугольный электрод со щел ми 0,54 мм, согнутый под углом 127, ленточный катод пр мого накала и приемник электронов. Разность потен ,циалов, приложенна  между коаксиальными цилиндрическими обкладками, создает электрическое поле вида 1/R.

Одной из основных трудностей в достижении малого разброса по энерги м в приборах такого типа  вл етс  напичке рассе нных и отраженных электронов , вли ние краевых эффектов, несовершенство катодного узла. Из-за фокусировки только в одном направлении выходной ток монохроматизированных электронов мал.

Целью изобретени   вл етс  увеличние первианса устройства и повышение монокинетичности электронного пучка.

Эта цель достигаетс  тем, что обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, зашитых со стороны электронного пучка металлической сеткой, а с противоположной - фольгой с акводажным покрытием.

Кроме ТОГО; в конденсаторе по обе стороны пучка эквидистантно срединной плоскости пучка установлены электроды , выполненные в виде части колец с центральным углом .

На фиг.1 приведен общий вид предлагаемой конструкцииi на фиг.2 - поперечньй разрез конденсатора.

Устройство выполнено в виде электронного -прибора, включающего в себ  катодный блок 1, электронную электростатическую линзу 2,цилиндрически конденсатор, образованный обкладками 3 и 4, фокусирующие электроды 5, ускор ющую линзу 6 и приемник 7 электронов. Электроды линзы 2 выполнены в виде пр моугольных пластин со щел ми высотой 2 мм и шириной 0,3 мм, параллельность которых между собой и линией, наход щейс  посредине между обкладками образующих цилиндров, гарантируетс  разметкой креплений под микроскопом с точностью ±0,005 мм. Из двух цилиндров (толщина стенок 2,5 мм) вырезаны обкладки 3 и 4 цилиндрического конденсатора, кромки которых закруглены радиусом 1,25 мм. Внутренн   часть цилиндрических обкладок вырезана таким образом, чтобы получались рамки-держатели, к которым с одной стороны приварены вольфрамовые сетки 8 высотой прозрачности, а с др3711

гой - фольга 9 из нержавеющей стали, покрытой аквадагом. Сверху и снизу цилиндрических обкладок перпендикул рно к ним и параллельно между собой размещены две кольцеобразные пластины § 5, фокусирующие электронный пучок в вертикальном направлении. Приемник 7 электронов представл ет собой глубокий цилиндр Фараде . Разметка креплений всего устройства осуществл етс  под 10 микроскопом с точностью +0,008 мм, отверсти  под креплени  сверл тс  в двух слюд ных пластинах 10, между которыми затем монтируетс  вс  арматура, чем обеспечиваетс  высока  точность 15 сборки.

. Устройство работает следующим образом .

Электронный пучок, генерируемый 20 катодным блоком 1 и формируемый линзой 2, вводитс  в цилиндрический конденсатор , образованный обкладками 3 и 4, в котором электроны со средней eV(j совершают движение по окруж-25

4

R. + R.

ности радиусом R -12, где R и

R2 - минимальньй и максимальный радиусы пучка. Пучок электронов с небольшой угловой расходимостью в плоскости , перпендикул рной цилиндрическим поверхност м, фокусируетс  после прохождени  дуги, равной 127, и входит в фокусирующую линзу 6 коллектора.

Введение сеток 8 и фольги 9 приводит к тому, что уровень концентрации рассе нных и обращенных электронов, определ емых взаимодействием электронов пучка с обкладками конденсатора снижаетс , что повышает разрешающую способность прибора.

Введение фокусирующих электродов 5 делает возможным увеличение ного размера и первеанса пучка.

Как показали эксперименты, с помощью данного устройства может быть получен пучок электронов с разбросом по энергии на полувысоте максимума распределен ,07 эВ при первеансе пучка 0,5-10 .

Claims (2)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ, содержащее источник электронов, электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, левыми отверстиями, поле конденсатора углом 127° емник щ е е чения шения пучка, обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, роны электронного пучка кой сеткой фольгой электроды со щеограничивающие , и приэлектронов, отличаюс я тем, что, с целью увелипервианса устройства и повымонокинетичности электронного со ьо

N3 ,711922

2. Устройство по п.1, о т л и чающееся тем, что в конденсаторе по обе стороны пучка эквидис тантно срединной плоскости пучка ус тановлены электроды,выполненные в виде части колецс центральным углом 127^ относится к области