SU711922A1 - Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м - Google Patents
Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м Download PDFInfo
- Publication number
- SU711922A1 SU711922A1 SU782641954A SU2641954A SU711922A1 SU 711922 A1 SU711922 A1 SU 711922A1 SU 782641954 A SU782641954 A SU 782641954A SU 2641954 A SU2641954 A SU 2641954A SU 711922 A1 SU711922 A1 SU 711922A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electron beam
- capacitor
- plates
- electron
- energies
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ, содержащее источник электронов, электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, электроды со щелевыми отверсти ми, ограничивающие поле конденсатора углом 127", и приемник электронов, отличающеес тем, что, с целью увеличени первианса устройства и повышени монокинетичности электронного пучка, обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, зашитых, со стороны электронного пучка металлической сеткой, и с противоположной - фольгой с акводажным покрытием.!S^QO Isd ЮФи2.1
Description
2. Устройство по П.1, о т л и чающеес тем, что в конденсаторе по обе стороны пучка эквидис
,711922
тантно срединной плоскости пучка ус тановлены электроды,выполненные в виде части колецс центральным углом 127.
j1
fстройствс относитс к области
физики, изучающей различные процессы и влени с помощью монохроматических электронных пучков, а более конкретно - дл изучени процессов упругого и неупругого рассе ни электронов на атомах и MOjjeKynax, преимущественно в области малых энергий.
Известны различные устройства монохроматизации (монокинетизации) направленных пучков электронов: селектор с поперечным и продольным магнитными пол ми, электростатические монохроматоры - цилиндрические и сферические 1 J.
Основной проблемой, которую приходитс решать в устройствах селекции - повьинение разрешающей способности , котора ограничена как принципиальными , так и технологическими факторами,
Влижаййцш техническим решением в л етс устройство дл селекции пучка электронов по энерги м, содержащее источник электронов 5электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, электроды со щелевыми отверсти ми, ограничивающие поле конденсатора углом 127, и приемник электронов t2 J.
Основу измерительной части известного прибора составл ют цилиндрический конденсатор, изготовленньш в вид двух цилиндрических поверхностей с радиуса1-ш мм, Rj 15 и высо той 25 мм с центральным углом 127, пр моугольный электрод со щел ми 0,54 мм, согнутый под углом 127, ленточный катод пр мого накала и приемник электронов. Разность потен ,циалов, приложенна между коаксиальными цилиндрическими обкладками, создает электрическое поле вида 1/R.
Одной из основных трудностей в достижении малого разброса по энерги м в приборах такого типа вл етс напичке рассе нных и отраженных электронов , вли ние краевых эффектов, несовершенство катодного узла. Из-за фокусировки только в одном направлении выходной ток монохроматизированных электронов мал.
Целью изобретени вл етс увеличние первианса устройства и повышение монокинетичности электронного пучка.
Эта цель достигаетс тем, что обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, зашитых со стороны электронного пучка металлической сеткой, а с противоположной - фольгой с акводажным покрытием.
Кроме ТОГО; в конденсаторе по обе стороны пучка эквидистантно срединной плоскости пучка установлены электроды , выполненные в виде части колец с центральным углом .
На фиг.1 приведен общий вид предлагаемой конструкцииi на фиг.2 - поперечньй разрез конденсатора.
Устройство выполнено в виде электронного -прибора, включающего в себ катодный блок 1, электронную электростатическую линзу 2,цилиндрически конденсатор, образованный обкладками 3 и 4, фокусирующие электроды 5, ускор ющую линзу 6 и приемник 7 электронов. Электроды линзы 2 выполнены в виде пр моугольных пластин со щел ми высотой 2 мм и шириной 0,3 мм, параллельность которых между собой и линией, наход щейс посредине между обкладками образующих цилиндров, гарантируетс разметкой креплений под микроскопом с точностью ±0,005 мм. Из двух цилиндров (толщина стенок 2,5 мм) вырезаны обкладки 3 и 4 цилиндрического конденсатора, кромки которых закруглены радиусом 1,25 мм. Внутренн часть цилиндрических обкладок вырезана таким образом, чтобы получались рамки-держатели, к которым с одной стороны приварены вольфрамовые сетки 8 высотой прозрачности, а с др3711
гой - фольга 9 из нержавеющей стали, покрытой аквадагом. Сверху и снизу цилиндрических обкладок перпендикул рно к ним и параллельно между собой размещены две кольцеобразные пластины § 5, фокусирующие электронный пучок в вертикальном направлении. Приемник 7 электронов представл ет собой глубокий цилиндр Фараде . Разметка креплений всего устройства осуществл етс под 10 микроскопом с точностью +0,008 мм, отверсти под креплени сверл тс в двух слюд ных пластинах 10, между которыми затем монтируетс вс арматура, чем обеспечиваетс высока точность 15 сборки.
. Устройство работает следующим образом .
Электронный пучок, генерируемый 20 катодным блоком 1 и формируемый линзой 2, вводитс в цилиндрический конденсатор , образованный обкладками 3 и 4, в котором электроны со средней eV(j совершают движение по окруж-25
4
R. + R.
ности радиусом R -12, где R и
R2 - минимальньй и максимальный радиусы пучка. Пучок электронов с небольшой угловой расходимостью в плоскости , перпендикул рной цилиндрическим поверхност м, фокусируетс после прохождени дуги, равной 127, и входит в фокусирующую линзу 6 коллектора.
Введение сеток 8 и фольги 9 приводит к тому, что уровень концентрации рассе нных и обращенных электронов, определ емых взаимодействием электронов пучка с обкладками конденсатора снижаетс , что повышает разрешающую способность прибора.
Введение фокусирующих электродов 5 делает возможным увеличение ного размера и первеанса пучка.
Как показали эксперименты, с помощью данного устройства может быть получен пучок электронов с разбросом по энергии на полувысоте максимума распределен ,07 эВ при первеансе пучка 0,5-10 .
Claims (2)
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ, содержащее источник электронов, электростатический конденсатор с цилиндрическими обкладками, левыми отверстиями, поле конденсатора углом 127° емник щ е е чения шения пучка, обкладки конденсатора выполнены в виде рамок, роны электронного пучка кой сеткой фольгой электроды со щеограничивающие , и приэлектронов, отличаюс я тем, что, с целью увелипервианса устройства и повымонокинетичности электронного со ьо
N3 ,711922
2. Устройство по п.1, о т л и чающееся тем, что в конденсаторе по обе стороны пучка эквидис тантно срединной плоскости пучка ус тановлены электроды,выполненные в виде части колецс центральным углом 127^ относится к области
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782641954A SU711922A1 (ru) | 1978-07-10 | 1978-07-10 | Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782641954A SU711922A1 (ru) | 1978-07-10 | 1978-07-10 | Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU711922A1 true SU711922A1 (ru) | 1985-09-30 |
Family
ID=20775878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782641954A SU711922A1 (ru) | 1978-07-10 | 1978-07-10 | Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU711922A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4758723A (en) * | 1986-05-19 | 1988-07-19 | Vg Instruments Group Limited | Electron spectrometer |
-
1978
- 1978-07-10 SU SU782641954A patent/SU711922A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Козлов И.Г. Современные проблемы электронной спектроскопии. М., Атомиздат, 1970, с. 24-48.2. Марме, Керви. Усовершенствованна конструкци электростатического селектора. Канадский журнал фи-. •зики, т. 38, 1960, с. 787. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4758723A (en) * | 1986-05-19 | 1988-07-19 | Vg Instruments Group Limited | Electron spectrometer |
USRE33275E (en) * | 1986-05-19 | 1990-07-24 | VG Instruments Group, Limited | Electron Spectrometer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0736321B2 (ja) | 定量的電位測定用スペクトロメ−タ−対物レンズ装置 | |
GB1447983A (en) | Detector for electron microscopes | |
US4959544A (en) | Energy analyzer | |
SU711922A1 (ru) | Устройство дл селекции пучка электронов по энерги м | |
US3840743A (en) | Ion microanalyzer | |
US3171056A (en) | Flat display tube utilizing unique collimator | |
CN117612912A (zh) | 一种用于微焦点x射线管的两次聚焦冷阴极电子枪 | |
RU87565U1 (ru) | Фотоэмиссионный электронный спектрометр | |
US3341727A (en) | Ionization gauge having a photocurrent suppressor electrode | |
US3588600A (en) | Nonuniform crossed field electron gun for producing a stable electron beam orbit | |
KR840006554A (ko) | 음극선관 | |
WO1999035668A3 (en) | Charged particle energy analysers | |
US3558879A (en) | Electrostatic deflector for selectively and adjustably bending a charged particle beam | |
GB709842A (en) | Improvements in apparatus comprising means for concentrating beams of charged particles | |
US3286112A (en) | X-ray tubes for microphotography | |
SU843619A1 (ru) | Электронна лампа | |
US2845539A (en) | Mass spectrometry | |
SU743243A1 (ru) | Фокусирующее устройство синхроциклотрона | |
US3526805A (en) | Microwave electron tube device | |
SU1677779A1 (ru) | Приемное устройство квадрупольного масс-спектрометра | |
CN117377185A (zh) | 一种可同时加速不同荷质比束流的加速器 | |
JPH0552639B2 (ru) | ||
SE9001778D0 (sv) | Jonfaella | |
CN117524836A (zh) | 一种聚焦型离子检测器 | |
SU1334215A1 (ru) | Рентгеновский излучатель со средствами стабилизации положени фокусного п тна |