SU1677779A1

SU1677779A1 - Приемное устройство квадрупольного масс-спектрометра

Info

Publication number: SU1677779A1
Application number: SU884435948A
Authority: SU
Inventors: Эрнст Исаакович Вайсберг; Владимир Анатольевич Сурков; Татьяна Яковлевна Фишкова
Original assignee: Сумское Производственное Объединение "Электрон"
Priority date: 1988-08-06
Filing date: 1988-08-06
Publication date: 1991-09-15

Abstract

Изобретение относитс к масс-спектро- метрии и может быть использовано в прием- ных устройствах квадрупольных и монопольных масс-спектрометров дл транспортировки пучков в различного рода детекторные системы. Целью изобретени вл етс расширение функциональных возможностей за счет увеличени возможного количества входов, улучшение чувствительности и уменьшение габаритов, Устройство состоит из полого электрода 6. в котором расположен электрод 5. Сечение электрода 6 может иметь форму ромба, окружности или их комбинации. Ионный пучок 1 проходит через щели в электроде 5 и попадает на детектор. При соблюдении расчетных геометрических характеристик, указанных в описании, пучок может фокусироватьс в двух плоскост х, а также регистрироватьс различными детекторами. Устройство может быть двухканальным. При ромбическом сечении наружного электрода угол 90-100&deg; в сечении вл етс оптимальным. Щели могут иметь переменную ширину, что дает возможность регулировки энергетического разрешени . 3 з.п. ф-лы. 11 ил., 2 табл. (Л С

Description

Примечание,

Линейные параметры выражены в единицах рассто ни от внутреннего плоского электрода до своего внешнего, дл прототипа - в единицах радиуса центральной траектории.

Вертикальна фокусировка - фокусировка в плоскости YZ (фиг.1 и 2), перпендикул рной плоскости дисперсии, Ф - ускор ющий потенциал, отношение кинетической энергии иона к его зар ду.

Таблица2

I/

Уо . r

фиг.7

фуг. 2

фиг. 8

7777

фие.Э

фиг. 10

фиг. 11

Claims

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

1, Приемное устройство квадрупольного масс-спектрометра, содержащее, электрическую систему отклонения и детекторы, отличаю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет увеличения возможного количества входов, улучшения чувствительности, а также уменьшения габаритов, электростатическая система отклонения выполнена в виде плоского внутреннего и полого наружного электродов, причем плоский электрод установлен параллельно оси пучка на входе приемного устройства и имеет, по крайней мере одну щель прямоугольной формы, а внутренняя поверхность наружного электрода имеет форму цилиндра общего вида, 10 образующая которого параллельна оси пучка на. входе приемного устройства, а направляющая является замкнутой кривой, лежащей в плоскости, перпендикулярной вышеупомянутой оси и имеющей центр сим15 метрии, расположенный в центре сечения плоского внутреннего электрода.
2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что направляющая имеет форму окружности или ромба, диагональ которого проходит параллельно плоскости внутреннего электрода через его среднее сечение.
3. Устройство по п.2, отличающеес я тем, что величины противоположных углов ромба, лежащих на диагонали, пер-

25 пендикулярной плоскости внутреннего электрода, находятся в пределах от 90 до 100°. '

4. Устройство по пп.1-3, отличающееся тем, что по крайней мере одна щель

30 выполнена с возможностью регулирования ее ширины.

Таблица!

Тип системы отклонения , L ' ^и(с=1 .1 ; . ϊ д ^до Ci ^С3 При Λ <^. Λ,o’ Вертикальная фоку’сировка_ Система соглас- <3 но фиг.4 0,64 1,55 0,92 3,65 2,35 0 . 8,20 3,09.10 4,4 Есть Система сеглас- X но фиг.5 0,96 2,68 0,75 4,95 1,85 5,90 3,06·10 1,7 Есть Трехэлектрод- НЫЙ плоский конденсатор 0,57 2,67 0,75 2,67 1,00 5,33 - 1,82-10, 1,3 Нет Прототип 0 2 1,61 0,8 2,81 - 2,08 ·10^Λ Ι,Α Нет

Примечание. Линейные параметры выражены в единицах расстояния от внутреннего , плоского электрода до своего внешнего, для прототипа - в единицах радиуса центральной траектории, Вертикальная фокусировка - фокусировка в плоскости YZ (фиг.1 и. 2), перпендикулярной плоскоста дисперсии, Ф - ускоряющий потенциал, * - отношение кинетической энергии иона к его заряду· . λ V ...

Таблица2

Хо L ди Д До Cl=C2 h 72 0,44 , 1,62 0.901 2,4 1.5 0 0.2 80 0,50 1,70 0,905 2,8 1;6 0 0.2 90 0,60 1,73 0,90 3,2 1.9 0 0.1 95 0,67 1,75 0,90 4,0 2,3 0 0 100 0,80 1,80 0,90 4,6 2.6 0 -0,1

фиг.7 фиг. 8