Claims (2)
1 . Изобретение относитс к технологи изготовлени металлостекл нных вакуумно-плотных соединений и предназначено дл использовани в радиотехнической , электронной, приборостроительной и электротехнической отрас .л х промышленности при изготовлении оснований корпусов i KpocxeM, цоколей микрореле, выводов энергии и т.п изделий. Известен способ соединени стекла со стеклом, кварцем, керамикой или металлом путем приведени деталей в тесный контакт, нагрева и приложени разности потенциалов ме ц;у детал ми 1, Недостатком этого способа вл етс использование промежуточного сло дл соединени деталей. Наиболее близким кизобретению по технической .сущности вл етс способ соединени стекла с металлом путем приведени их в тесный контакт, нагрева до температуры ниже точки . начала разм гчени стекла, при которой достигаетс достаточна его с последующим электропроводность, приложенйтем разности потенциалов меж ду детал ми и спаиванием их,причем к металлу прикладывают положительный потенциал. Ток, проход щий в направлении от металла к стеклу, обеспечивает соединение поверхности за счет анодного окислени металла 2, Однако такой способ не обеспечи ,вает герметичного соединени бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов переменной.валентности, с металлом, например титаном и его сплавами, вследствие образовани окисных пленок, недостаточно прочно св занных с самим металлом. Цель изобретени - повышение герметичности соединени бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов ; переменной валентности, с титаном и его сплавами. Поставленна цель достигаетс тем, что при способе соединени стекла с металлом путем нагрева с последующим приложением разности потенциалов между детал ми и спаиванием их к металлу прикладывают отрицательный потенциал при плотности тока 1001000 мА/мм . Стеклог нагреба сь до расплавлени , начинает контактировать с металлом . На границе стекло - металл за счет разности потенциалов возникают силы электростатического прит жени , вызывающие улучшение; смачивани металла расплавом стекла, что приводит к их контакту по всей спаиваемой поверхности . Металл имеет относительно стекла отрицательный потенциал, поэтому через приведенные в контакт поверхности идет ток в направлении от стекла; к металлу, вызываквдий катодное восстановление на металле катионов пе ременной валентности, содержащихс в расплаве стекла. Восстановленные катионы образутот с металлом соединени типа интерметалидов, которые создают развитый переходный слой, обеспечива к дий повышение герметичности спа , поскольку сцепление стекла с металлом значительно превышает сцепление пленок с титаном по известному техническому решению. П р и мер. Провод т спаивание стеклоизол тора из бесщелочного стбкла , содержащего;окислы меди и железа с основани ми корпусов микросхем из титана. Тип спа глазковый. В качестве вводов используют коваровые штыри . Количество спаев в одном основаНИИ - 14. Собранные детали помещают в печь инфракрасного нагрева с защитно;й а тмосферой аргона. К основанию из титана прикладывают отрицательный , а к вводу - положительный потенциалы от источника посто нного тока при плотности тока 500 мА/мм. В момент оплавлени стеклоизол тора его внутреннее отверстие,заплавл етс и положительный потенциал передаётс на стекло. Далее расплавленное стекло контактирует с цилиндрической поверхностью отверсти и под действием разности потенциалов смачивает ее. На поверхности титана восстанавливаютс катионы меди и железа, образующие развитый переходный слой ин,терметалидов , что обеспечивает герметичное соединение стекла с металлом с натеканием по гелию менее 1 X 10 л мкм/с. Использование данного способа обеспечивает увеличение выхода годных изделий по герметичности и повышение их надежности и долговечности. Формула изобретени Способ соединени стекла с металлом путем нагрева с последующим приложением разности потенциалов между детал ми и спаиванием их, о т л и чаютцийс тем, что, с целью повышени герметичности соединени бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов переменной валентности, .с титаном и его сплавами, к металлу прикладывают отрицательный потенциал при плотности тока 100-1000 мА/мм Источники информации, прин тые во внимание При экспертизе 1.Патент США № 3506424, кл. 65-40 опублик. 1970. one . The invention relates to a process for the manufacture of metal-glass vacuum-tight joints and is intended for use in the radio, electronic, instrument-making and electrotechnical industries in the manufacture of bases for i KpocxeM housings, micro-relay bases, energy leads, and the like. The known method of joining glass with glass, quartz, ceramics or metal by bringing the parts into close contact, heating and applying potential difference between the elements; 1, The disadvantage of this method is the use of an intermediate layer to join the parts. The closest to the invention in technical terms is the method of joining glass with metal by bringing them into close contact, heating to a temperature below the point. the beginning of glass softening, at which it is sufficiently sufficient, followed by electrical conductivity, by applying potential differences between the parts and soldering them, and a positive potential is applied to the metal. The current flowing in the direction from the metal to the glass provides the connection of the surface due to the anodic oxidation of the metal 2. However, this method does not provide a hermetic connection of alkali-free glass containing oxides of metals of variable valence with metal, for example titanium and its alloys, due to the formation of oxide films not sufficiently tightly bound to the metal itself. The purpose of the invention is to increase the tightness of an alkali-free glass compound containing metal oxides; variable valence, with titanium and its alloys. This goal is achieved by the fact that in the method of joining glass to metal by heating, followed by the application of a potential difference between the parts and soldering them, a negative potential is applied to the metal at a current density of 1001000 mA / mm. Glass rag before melting begins to contact with the metal. At the glass – metal interface, electrostatic attraction forces arise due to the potential difference, causing an improvement; wetting of the metal with molten glass, which leads to their contact over the entire soldered surface. The metal has a negative potential relative to the glass; therefore, through the surfaces brought into contact the current flows in the direction from the glass; to metal, causing cathodic reduction on metal of variable valence cations contained in a glass melt. Restored cations form with metal compounds of the intermetallic type, which create a developed transition layer, providing a better increase in the tightness of the spa, since the adhesion of glass to metal considerably exceeds the adhesion of films to titanium according to a known technical solution. Pr and measures. Soldering of a glass insulator made of an alkaline-free glass containing copper oxides and iron oxides with bases of titanium microcircuit boards is carried out. Type of spa eye. As inputs use covier pins. The number of junctions in one base is 14. The assembled parts are placed in an infrared heating oven with a protective, argon atmosphere. A negative potential is applied to the titanium base, and positive potentials from a direct current source are applied to the input at a current density of 500 mA / mm. When the glass insulator is melted, its internal opening is melted and the positive potential is transferred to the glass. Next, the molten glass is in contact with the cylindrical surface of the hole and wets it under the action of a potential difference. On the surface of titanium, copper and iron cations are restored, which form a developed transition layer, termetalides, which provides a tight connection between glass and metal with a helium leakage of less than 1 x 10 l um / s. Using this method provides an increase in the yield of products for tightness and increase their reliability and durability. The invention The method of combining glass with metal by heating, followed by applying a potential difference between the parts and soldering them, is necessary in order to improve the tightness of an alkaline compound containing oxides of metals of variable valence with titanium and its alloys. , a negative potential is applied to the metal at a current density of 100-1000 mA / mm. Sources of information taken into account During the examination 1. US patent no. 3506424, cl. 65-40 published 1970.
2.Патент США№ 3397.278, ;кл. 174-52, опублик. 1968.2. US patent number 3397.278,; cl. 174-52, publ. 1968.