(54) АКСЕЛЕРОМЕТР(54) ACCELEROMETER
Изобретение относитс к измери- тельной технике и предназначено дл измерени ускорени . Известны механотронные акселерометры , представл ющие собой электрон ные лампы, управление электродами которых производитс механически. Такие приборы включают две основные системы: кинематическую, содержащую упругий элемент, инерционную массу и другие подвижные детали, и электродную , в которую вход т совокупност подвижных и неподвижных электродов прибора 1. Наиболее близким по технической сущности вл етс механотронный акселерометр , содержащий корпус, распо ложенный в нем упругий элемент с закрепленной на нем инерционной массой и чувствительный элемент 2. Его недостатки - сложна конструк ци , сравнительно низка чувствитель ность, небольшой диапазон измер емьох ускорений, отсутствие возможности корректировки выходной характеристики , Цель изобретени - гговышение чувствительности акселерометра и расширение диапазона измер емых ускоре ий . Указанна цель достигаетс тем, что в акселерометр введен нагреватель, а чувствительный элемент выпо.пнен в виде двух нитевидных монокристаллов, расположенных соосно на жестко св занном с инерционной массой стержне, коаксиа.пьно которому установлен нагреватель . На чертеже изображен общий вид конструкции акселерометра. Акселерометр содержит корпус 1, который представл ет собой мета.ллическую конструкцию, состо щую из двух частей, соединенных герметично через прокладку 2 при помощи болтов, в котором укреплен упругий элемент 3, выполненный в виде сильфона. В свободном конце сильфона закреплена инерционна масса 4, прикасающа с с направл ющей 5 стержнем. Диэлектрический стержень 6 жестко соединен с инерционной массой. На нем закреплены два полупроводниковых чувствительных элемента 7 - нитевидные монокристаллы , размещенные вдоль оси нагревател В, в области среднего значени градиента температурного пол рабочего участка характеристики нагрювател . Электрический вырод чувствительных элементов осуществлен черезThe invention relates to a measurement technique and is intended to measure acceleration. Mechanotronic accelerometers are known, which are electronic tubes whose electrodes are controlled mechanically. Such devices include two main systems: kinematic, containing an elastic element, inertial mass and other moving parts, and electrode, which includes a set of movable and stationary electrodes of device 1. The closest in technical essence is the mechatronic accelerometer, comprising a housing located it has an elastic element with an inertial mass fixed on it and a sensitive element 2. Its shortcomings are complex construction, the sensitivity is relatively low, a small range of measurements is very low. The absence of the possibility of adjusting the output characteristic. The purpose of the invention is to increase the sensitivity of the accelerometer and expand the range of measured accelerations. This goal is achieved by introducing a heater into the accelerometer, and the sensing element is produced in the form of two filamentary single crystals arranged coaxially on a rod coaxially connected to the inertial mass, to which the heater is mounted. The drawing shows a General view of the design of the accelerometer. The accelerometer comprises a housing 1, which is a meta-structural design consisting of two parts, tightly connected through a gasket 2 by means of bolts, in which an elastic element 3, made in the form of a bellows, is fastened. In the free end of the bellows, an inertia mass 4 is fixed, touching with the guide 5 rod. The dielectric rod 6 is rigidly connected to the inertial mass. Two semiconductor sensing elements 7 are fixed on it - filamentary monocrystals placed along the axis of the heater B, in the region of the average value of the gradient of the temperature field of the working section of the heater characteristics. The electrical freak of the sensing elements is carried out through