SU693478A1 - Электронно-оптическа система - Google Patents

Электронно-оптическа система

Info

Publication number
SU693478A1
SU693478A1 SU772549557A SU2549557A SU693478A1 SU 693478 A1 SU693478 A1 SU 693478A1 SU 772549557 A SU772549557 A SU 772549557A SU 2549557 A SU2549557 A SU 2549557A SU 693478 A1 SU693478 A1 SU 693478A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
electron
beams
lenses
electrostatic
Prior art date
Application number
SU772549557A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Григорьевич Румянцев
Александр Алексеевич Зайцев
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4937
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4937 filed Critical Предприятие П/Я Г-4937
Priority to SU772549557A priority Critical patent/SU693478A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU693478A1 publication Critical patent/SU693478A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

Изобретение относитс  к электронной технике, точнее к электронно-бптическим системам (ЭОС), формирующим планарно расположенные электронные пучки. Такие системы могут использоватьс  в электронно-лучевых приборах предназначенных дл  воспроизведени  информации в цвете, например,в лазер ных цветных кинескопах с высокой удельной разрешающей способностью,. Известны электронно-оптические системы, в которых дл  фокусировки пучков используютс  цилиндрические электростатиче.ские линзы 1. В них дл  фокусировки пучка в двух взаимно перпендикул рных направлени х применены двепоследовательно расположенные цилиндрические электростатически линзы, выполненные в виде пар параллельных п.1тастин. Применение данных ЭОС дл  фокусировки нескольких пучков, расположенных в одной плоскости, практически нецелесообразно из-за больших габари тов ЭОС, с одной стороны, и ограниче ных размеров горловин вакуумной оболочки современных кинескопов, с другой . Наиболее близкой из известных по технической сущности  вл етс  электронно-оптическа  система дл  двух и более электронных пучков, расположенных в одной плоскости, содержаща  иммерсионный объектив, фокусирующую систему из двух электростатических линз, одна из которых обща  дл  всех пучков , и систему сведени  2. В этой ЭОС втора  электростатическа  линза, представл юща  собой индивидуальные линзы дл  каждого из пучков, выполнена таким образом, что в них одновременно с фокусировкой пучка осуществл етс  его отклонение в плоскости расположени  пучков до совмещени  с соседним пучком в плоскости экрана. Совмещение пучков может достигатьс  за счет нарушени  симметрииифокусирующего пол , либо подачей потенциалов смещени  на крайние пластины линз, либо соответствующим нарушением сикметричности электродов крайних индивидуальных линз. В случае цветных масочных кинескопов, где не требуетс  высокое и сверхвысокое разрешение, такой принцип сведени  представл етс  близким к оптималь ному. В случае же лазерных кинескопов , где требуютс  размеры п тен на экране менее 50 мкм, такое иарушение симметрии уже недопустимо из-за значнтельной относительной расфокусиров ки пучка. Так, например, в цветных к нескопах коэффициент линейного увели чени  составл ет величину 12-16, в то врем  как в лазерных кинескопах этот коэффициент должен быть около. единицы. Это обсто тельство определ ет и рассто ние от фокусирующей системы (ФС) до экрана, которое) в свою очеред,ь, определ ет и угол сведени  пучков .на экране. В цветных кинескопах этот угол составл ет величину около 50 , в то врем  как в лазерных кинескопах он возрастает до 5410. Известна  ЭОС не может обеспечить таких углов сведени  при сохранении малого размера п тна на э ране. Кроме того, применение электро статических линз не позвол ет получить требуемого разрешени  в лазер;ном кинескопе из-за малого уровн  рабочих токов каждого из пучков всле ствие ограниченности размеров линз вакуумной оболочкой. Целью изобретени   вл етс  повЕЛше ние разрешающей способности в одном направлении за счет уменьшени  линей ного увеличени  и аберраций. Поставленна  цель достигаетс  тем что обща  линза выполнена магнитной и расположена последней по ходу электронных пучков на рассто нии от второй электростатической линзы равном 1-10 рассто ни м между объективо и этой линзой, а система сведени  размещена между линзами фокусирующей системы. Сущность изобретени  по сн етс  чертежом, где показан один из вариантов конструктивной схемы ЭОС. Она содержит раздельные катоды Г модул торы 2, фокусирующий электрод 3 с плоскими пластинами 4, которые совместно с плоскими пластинами 5 образуют соответственно низковольтную и высоковольтную части бипотенциальных индивидуальных линз; элект ромагнитную систему сведени  6 край них пучков в цент экрана; выполнен ную в виде секступол , цилиндрическую электромагнитную фокусирующую катушку 7, Устройство работает следующим об разом. Катоды испускают три расход щихс  электронных пучка с параллельными ос ми, лежащими в одной плоскост Формируемые трем  иммерсионными объ тивами, они попадают в тройную линз фокусирующую пучки в плоскости, параллельной плоскости расположени , осей пучков. Затем пучки попадают в область действи  системы совмещени  пучков, котора  их сводит в одну то ку на экране. Далее пучки попадают общую магнитную линзу, котора  их ф кусирует в плоскости, перпендикул р плоскости расположени  осей пучков. Особенностью такого взаимного расположени  системы совмещени  и магнитной линзы  вл етс  то, что магнитна  линза, поворачива  пучки относительно их собственных осей, не поворачивает плоскостью, в которой они расположены, в -отличие от центрированных магнитных линз. Это позвол ет существенно уменьшить рассто ние от линзы до экрана, что приводит I уменьшению коэффициента линейного увеличени  магнитной линзы, а это и позвол ет достичь повышени  разрешающей способности в направлении , перпендикул рном плоскости расположени  пучков. Применение магнитной линзы позвол ет существенно, не менее чем в три раза, увеличить рабочие размеры линзы, что пропорционально снижает искажени , вносимые этой линзой в размер п тна на экране. Несмотр  на то, что магнитные линзы обладают большим числом геометрических аберраций, обусловленных вращением пучка в магнитном поле,ИХ суммарное действие, привод щее, к увеличению размера п тна , будет меньше, нежели у электростатических . Кроме того, применение общей магнитной линзы позвол ет использовать механическую юстировку магнитной линзы в совокупности с электрической юстировкой, что дает возможность получать требуемые дл  обеспечени  суперразрешени  размеры п тен менее 50 мкм. В то врем , как применение электростатической линзы в качестве общей практически исключа ет возможность полной юстировки, что не позволит получить требуемые малые размеры п тен. Выбор названного рассто ни  между линзами обусловлен следующими обсто тельствами . При рассто нии между линзами , меньшем одного рассто ни  объективом и электростатической линзой , коэффициенты линейного увеличени  в перпендикул рных направлени х, будут приближатьс  по величине друг к другу и размеры п тна на экране во взаимно перпендикул рных направлени х будут выравниватьс . Задача достижени  повышени  разрешающей способности в этом случае может решатьс  обычными в электронной оптике способами . В другом случае существенно возрастает дол , вкладываема  в размер п тна сферической аберрацией вследствие относительного уменьшени  рассто ни  между общей магнитной линзой и -экраном. Технический эффект изобретени  Заключаетс  в повышении разрешающей способности ЭОС в целом и, что особен но важно дл  лазерных кинескопов, в повышении разрешающей способности вдоль строки.

Claims (2)

  1. Формула изобретени 
    Электронно-оптическа  система дл  двух и более электронных пучков, расположенных в одной плоскости, содержа ща  иммерсионный объектив, фокусирующую систему из двух электростатических линз, одна из которых обща  дл  всех пучков, и систему сведени , отличающа с  тем, что, с целью повышени  разрешающей способности в одном направлении за счет уменьшени  линейного увеличени  и аберраций обща  линза выполнена магнитной и расположена последней
    234
    по ходу электронных пучков на рассто нии от второй электростатической линзы равном 1-10 рассто ни м между объективом и этой линзой, а система сведени  размещена между линзами фокусирующей системы.
    Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
    1 Йерстнев Л. Г. Электронна  оптика и электронно-лучевые приборы, М., Энерги , 1971, с. 195.
  2. 2. Авторское свидетельство СССР № 364984, кл. ri 01 J 29/51, 09.10.70 (прототип)
SU772549557A 1977-12-05 1977-12-05 Электронно-оптическа система SU693478A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772549557A SU693478A1 (ru) 1977-12-05 1977-12-05 Электронно-оптическа система

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772549557A SU693478A1 (ru) 1977-12-05 1977-12-05 Электронно-оптическа система

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU693478A1 true SU693478A1 (ru) 1979-10-25

Family

ID=20735673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772549557A SU693478A1 (ru) 1977-12-05 1977-12-05 Электронно-оптическа система

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU693478A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3930181A (en) Lens and deflection unit arrangement for electron beam columns
US3952227A (en) Cathode-ray tube having electrostatic focusing and electrostatic deflection in one lens
US6184975B1 (en) Electrostatic device for correcting chromatic aberration in a particle-optical apparatus
US4823003A (en) Charged particle optical systems having therein means for correcting aberrations
US3363128A (en) Convergence system for a tricolor, three-gun television tube
US4766314A (en) Lens arrangement for the focusing of electrically charged particles, and mass spectrometer with such a lens arrangement
US2580675A (en) Correction device for microscopes of the reflection mirror type
SU693478A1 (ru) Электронно-оптическа система
KR950027891A (ko) 컬러음극선관
US4710672A (en) Picture display device
JPH0463502B2 (ru)
US3176181A (en) Apertured coaxial tube quadripole lens
JPH0665004B2 (ja) 電子銃装置
CA1194081A (en) Cathode ray tube
SU920892A1 (ru) Электроннооптическое устройство со скорректированной сферической аберрацией
GB2145874A (en) Cathode ray tubes
SU961001A1 (ru) Электронно-оптическа система дл приемных и просвечивающих электронно-лучевых трубок
US3317769A (en) Cathode-ray tube having a quadripole electrostatic focusing lens
GB2135503A (en) Accelerating and scan expansion electron lens system
US4707634A (en) Cathode ray tube
EP0113113B1 (en) Cathode ray tube
RU2042229C1 (ru) Двулучевая электронно-лучевая трубка с магнитной отклоняющей системой
SU902104A1 (ru) Электроннооптическа система
SU980190A1 (ru) Электронно-оптическое устройство
SU1072139A1 (ru) Фокусирующе-отклон ющее устройство