SU693471A1 - Рабочий газ дл электронной пушки - Google Patents

Description

(54) РАБОЧИЙ ГАЗ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ПУСЖИ ШЧёйкЬго равновеси  между адсорёцйей и катодным распылением ( spa где г - коэффициент отражени  атЬмов кислорода, которые, удар  сь о катод,; :не все задерживаютс  на его поверхйости; ; : : . :- / , , Су, - средн   скорость теплового дви :1кени  атомов кислорода в п ространстве перед катодом; С - коэффициент катодного распыле ни  адсорбированных поверхностью като да атомов кислорода атомами водорода или гели  , - дол  ионного тока в высоко/вольтном тлеющем разр де; j - плотность тока высоковольтного тлеющего разр да на катоде; зар д иона; S - сечение перезар дки дл  ионов водорода или гели ; р - paeotree давлениё В-разр де; d k - толщина области катодного падени  потенциала высоковольтного тлеющего разр да; . . : . п - минимальна  концентраци  кис порода -. - : Верхний предел содержани  кислорода в рабочем газе определ етс  начаулом частых, кратковременных нарушений электрической прочности пушки, поскольку кислород способствует самопро извШьйым переходам тлеющего разр да в дуговой. Величина верхнего предела установлена экспериментально - по началу частьк пробоев - и составл ет б ,45 об.%. ... При использовании газов более т же лых, чем водород и гелий, нйнимально необходима  дл  стабильности разр да концен- рацй  кислорода превышает её верхний допустимый предел (см. табл) дл  неона и аргона. Поэтому практически в состав рабочего газа дл  мощТ а б л и ц а ной пушки высоковольтного тлеющего разр да могут входить лишь легкие газы , какими  вл ютс  водород, гелий и их изотопы. Дл  получени  рабочего газа были подготовлены дев ть составов, каждый из которых состо л из легкой газооб-; разной компоненты (водорода или гели ) и кислорода. Эти составы, соотношёние компонент легкого газа и кислорода , а также результаты испытаний, выразившиес  в отсутствии или наличии самопроизвольного роста разр дного напр жени , а также в отсутст- ВИИ или наличии частых, кратковремен ных нарушений электрической прочности , приведены в табл. 2. Табл. 2 экспериментально доказывает существование верхнего и .нижнего пределов количества кислорода, необходимого дл  стабильной работы пушки . Примером приготовлени  нужного состава газа может служить способ введени  в баллон водорода или гели  компоненты кислорода из другого ,баллоНа с более высоким давлением, точно определенного объема. Контрольное измерение относительного количества кис лорода может быть сделано с помощью колориметрического метода. Предлагаемый рабочий газ позвол ет расширить область применени  пушек высоковольтного тлеющего разр да, обладающих большим преимуществом: эти пушки способны надежно работать (не требу  системы промежуточной очистки и системы высоковакуумной откачки) при низком вакууме в технологической камере. Кроме того, их холодный катод имеет большой срок службы. Применение пушек высоковольтного тлеющего разр да в промышленных услови х, например , дл  переработки отходов фасонного титанового лить  позволит переплавл ть около 80% отходов вместо 20-27%при использовании дл  этой цели вакуумной дуговой плавильной печи с расходуемым электродом, как это имеет место в насто щее врем .

ri.j,-0j 0,954,4-10 0,020,122

ЙЕ + Oj 0,954,4-10 0,0240,1э30

Ne+Oi 0,954 4,10 0,160,245

Аг+ог 0,954,410 0,180,277

0,04 0,08 1,36 2,00

Состав рабочего газа, соотношение компонентов, об.%

99,999 rie + 0,0010 99,997 Н + 0,003 Oj 99,96 Hg + 0,04 О99 ,95 Hj, + 0,05 02 99,95 Не + 0,05 Oz 99,6 Не + 0,4 О 99,55 HI + 0,45 Oj

99,5 Не + 0,5 О-99 ,3 Н. + 0,6 О

Claims (2)

1.Пате 1Т Великобритании

30

1135507, кл. HID, опублик. 1973..

2.Патент Великобритании

1093133, кл. HI D, опублик, 1970 (прототип).