SU1637033A1 - Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да - Google Patents
Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да Download PDFInfo
- Publication number
- SU1637033A1 SU1637033A1 SU884407676A SU4407676A SU1637033A1 SU 1637033 A1 SU1637033 A1 SU 1637033A1 SU 884407676 A SU884407676 A SU 884407676A SU 4407676 A SU4407676 A SU 4407676A SU 1637033 A1 SU1637033 A1 SU 1637033A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- discharge
- current
- ignition
- cathode
- auxiliary
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технике сильноточных генераторов однородной в больших (более ТО л) рабочих объемах плазмы. Цель изобретени - повышение скорости зажигани тлеющего разр да и уменьшение тока поджигающего импульса. В исходном состо нии ключ 7 разомкнут, а между анодом (А) 4 и катодом (К) 5 горит вспомогательный разр д. При положении поджигающего импульса между вспомогательным К 5 и многостержневым К 3 ток переключаетс в цепь многостержневого К 3. В результате промежутки между стержн ми заполн ютс плазмой, затем замыкаетс ключ 7, между А 2 и К 3 прикладываетс разр дное напр жение от источника 6 и зажигаетс сильноточный тлеющий разр д. Изобретение позвол ет обеспечить зажигание сильноточного тлеющего разр да за меньшее врем (10-20 мкс), что повышает быстродействие устройства. При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшаетс на два пор дка, что уменьшает эрозию и загр знение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства. 2 з.п.ф-лы. 1 ил.
Description
Изобретение относится к технике сильноточных генераторов однородной в больших (»10 л) рабочих объемах плазмы, функционирующих при низких (10 -1 Па) давлениях газа и может быть использовано в источниках электронных и ионных пучков большого сечения, в управляемых газоразрядных приборах, а также в технологических установках для ионного травления изделий в плазме сильноточного тлеющего разряда.
Цель изобретения - повышение скорости зажигания тлеющего разряда и уменьшение тока поджигающего импульса.
На чертеже представлена схема устройства, в котором реализуется предлагаемый способ зажигания сильноточного тлеющего разряда
Устройство содержит расположенные внутри вакуумной камеры 1 анод 2 и многостержневой катод 3 тлеющего разряда, вспомогательный анод 4, вспомогательный катод 5, источник 6 разрядного напряжения, прикладываемого между катодом 3 и анодом 2 при замыкании ключа 7 (например. тиристорного), источник 8 питания вспомогательного разряда и источник 9 поджигающих импульсов, прикладываемых между катодом 3 и электродом вспомогательного разряда, например, катодом 5 (в случае использования в качестве вспомогательного разряда вакуумной дуги). В зависимости от конструктивных особенностей устройства вспомогательный анод 4 и/йли анод 2 тлеющего разряда могут быть соединены с камерой 1 или вообще отсутствовать. В последнем случае их роль выполняет камера 1.
Способ осуществляется следующим образом.
В исходной состоянии ключ 7 разомкнут, а. между анодом 4 и катодом 5 при давлении газа в камере 1·10’2-1 Па горит вспомогательный разряд, например дуговой. При приложении поджигающего импульса от источника 9 между вспомогательным 5 и многостержневым 3 катодами ток вспомогательного разряда переключается из цепи вспомогательного анода 4 в цепь многостержневого электрода 3 и достигает амплитуды, определяемой парамет рами источника 9. В результате промежутки между стержнями быстро заполняются плазмой. Затем замыкается ключ 7, между анодом 2 и заполненным плазмой катодом 5 3 прикладывается от источника 6 разрядное напряжение в несколько сотен вольт и зажигается сильноточный тлеющий разряд с многостержневым холодным катодом.
По сравнению с известным предлагае10 мое изобретение обеспечивает зажигание сильноточного тлеющего разряда с многостержневым холодным катодом за меньшее на порядок время (10-20 мкс), что существенно повышает быстродействие устройств. 15 При этом пороговый ток поджигающего импульса уменьшается на два порядка, что уменьшает эрозию и загрязнение конструктивных элементов и повышает срок службы устройства. ‘ '
Claims (3)
- Формула изобретения1. Способ зажигания сильноточного тлеющего разряда в генераторе плазмы с многостержневым холодным катодом,25 включающим подачу на катод разрядного напряжения и заполнения промежутков между стержнями холодного катода плазмой вспомогательного разряда путем подачи на электроды тлеющего разряда и 30 вспомогательного разряда генератора поджигающего импульса напряжения, при этом потенциал электрода тлеющего разряда превышает потенциал анода вспомогательного разряда, отличающийся тем.что, 35 с целью повышения скорости зажигания тлеющего разряда при уменьшении тока поджигающего импульса, поджигающий импульс прикладывают между электродом вспомогательного разряда и многостержне40 вым катодом, и разрядное напряжение подают после заполнения плазмой промежутков между стержнями холодного катода. 0
- 2. Способ поп. 1,отличающийся 45 тем, что поджигающий импульс прикладывают между катодом вспомогательного разряда и многостержневым катодом.
- 3. Способ по π. 1,отличающийся тем, что поджигающий импульс приклады-50 вают между анодом вспомогательного разряда и многостержневым катодом.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884407676A SU1637033A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884407676A SU1637033A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1637033A1 true SU1637033A1 (ru) | 1991-03-23 |
Family
ID=21367678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884407676A SU1637033A1 (ru) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1637033A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1321548C (zh) * | 2004-12-28 | 2007-06-13 | 西北师范大学 | 接触辉光放电等离子体发生装置 |
-
1988
- 1988-04-12 SU SU884407676A patent/SU1637033A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Гущенец В.Н. и др. Плазменный источник электронов с сеточным управлением. - В кн.: VI Всес. симп. по сильноточной электронике. Теэ.докл. - Томск: ИСЭ СО АН СССР, 1986, ч. 2, с. 100, рис. 1. Глазунов В.Н. и др. Сильноточный генератор плазмы квазинепрерывного режима на основе тлеющего разр да с осциллирующими электронами. - В кн.: Vf Bcec. . по сильноточной электронике. Тез. докл. - Томск: ИСЭ СО АН СССР -1986, ч.2. с. 89, рис 1. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1321548C (zh) * | 2004-12-28 | 2007-06-13 | 西北师范大学 | 接触辉光放电等离子体发生装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5247531A (en) | Apparatus for preionizing apulsed gas laser | |
| Gundel et al. | Low‐pressure hollow cathode switch triggered by a pulsed electron beam emitted from ferroelectrics | |
| KR940013298A (ko) | 고 임피던스 플라즈마 이온 주입 방법 및 장치 | |
| JPS61502153A (ja) | 低電圧制御を用いるモジュレ−タ・スイッチ | |
| KR940027108A (ko) | 플라즈마 이머슨 이온 주입 장치 및 방법 | |
| US5502356A (en) | Stabilized radial pseudospark switch | |
| SU1637033A1 (ru) | Способ зажигани сильноточного тлеющего разр да | |
| US6740843B2 (en) | Method and apparatus for automatically re-igniting vacuum arc plasma source | |
| RU2237942C1 (ru) | Сильноточная электронная пушка | |
| Frank et al. | Mechanism for initiation of pseudospark discharge by ions ejected from the anode side | |
| Kovarik et al. | Initiation of hot cathode arc discharges by electron confinement in Penning and magnetron configurations | |
| RU2816693C1 (ru) | Плазменный источник электронов с системой автоматического поджига тлеющего разряда в полом катоде, функционирующий в среднем вакууме | |
| RU209138U1 (ru) | Форвакуумный плазменный источник импульсного электронного пучка на основе контрагированного дугового разряда | |
| SU1121716A1 (ru) | Тиратрон | |
| Bochkov et al. | Sealed-off pseudospark switches (current status and prospects) | |
| SU378995A1 (ru) | Вакуумный разрядник | |
| SU1660071A1 (ru) | Способ управления газоразрядным коммутирующим прибором с холодным катодом | |
| Bakeev et al. | Hollow Cathode Glow Discharge Initiation in a Fore-Vacuum Plasma–Cathode Electron Source | |
| RU2211952C2 (ru) | Импульсный электрический реактивный двигатель | |
| Frank et al. | Low pressure glow discharge switches for high power excimer lasers | |
| RU1811763C (ru) | Плазменный прерыватель тока | |
| SU550943A1 (ru) | Способ зажигани вакуумной дуги" | |
| RU2045102C1 (ru) | Плазменный эмиттер ионов | |
| Jung et al. | Pulsed CO2-laser with 15 kW average power at 100 Hz rep-rate | |
| RU2017288C1 (ru) | Способ возбуждения газового разряда |