SU688708A1 - Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса - Google Patents

Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса

Info

Publication number
SU688708A1
SU688708A1 SU772467865A SU2467865A SU688708A1 SU 688708 A1 SU688708 A1 SU 688708A1 SU 772467865 A SU772467865 A SU 772467865A SU 2467865 A SU2467865 A SU 2467865A SU 688708 A1 SU688708 A1 SU 688708A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
speed
vacuum pump
rotation
turbo
molecular vacuum
Prior art date
Application number
SU772467865A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Николаевич Кеменов
Леонид Борисович Леонов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1614
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1614 filed Critical Предприятие П/Я А-1614
Priority to SU772467865A priority Critical patent/SU688708A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU688708A1 publication Critical patent/SU688708A1/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0261—Surge control by varying driving speed
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к области вакуумной техники.
Известен способ регулировани  производительности турбомолекул рного вакуумного насоса путем изменени  скорости вращени  пакетов роторных дисков 1.
При известном способе не обеспечиваетс  регулирование производительности в зоне высоких давлений на входе насоса.
Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона регулировани .
Цель достигаетс  тем, что изменение скорости вращени  осуществл ют путем независимого и иоследовательного уменьщенп , начина  с высоковакуумной стороны, скорости вращени  отдельных пакетов при высоком входном давлении, а при уменьщенпи . последнего увеличивают скорость врандени  пакетов до номинального значени  в обратной последовательности.
На чертеже изображен турбомолекул рный вакуумный насос, реализующий описываемый способ.
Насос содержит корпус 1 с расположенными в нем роторными пакетами 2-4. При запуске насоса по мере понижени  давлени  в откачиваемой емкости последовательно увелпчивают скорость врап ени  пакетов, начина  с форвакуумпой стороны . Прн увеличении нотока откачиваемого газа давление на входе в насос повыщаетс , и происходит последовательное уменьщение скорости вращени  роторных пакетов, начина  с высоковакуумной стороны . При определенном потоке откачиваемого газа в зависимости от величины давлени  на входе в насос работают все или только часть пакетов роторных дисков. Огклочение высоковакуумных пакетов роторных дисков позвол ет резко сократить силы трени  и предохранить двигатель насоса от перегрева, при этом диапазоп рабсчих давлений насоса расш р етс  в сторону высоких давлепий.
Осуп1,ествлеиие способа позвол ет без привлечени  дополнительных затрат на установку дополнительных насосов обеспечить эффективную откачку разлпчных газов в ninpoKOM диапазоне рабочих давлепий .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ регулировани  производительности турбомолекул рного вакуумного насоса путем изменени  скорости вращени  пакетов роториых дисков, отличающийс  тем, что, с целью расщирени  диапазона регулировани , изменение скорости вращенй  осуществл ют путем независимого и последовательного уменьшени , начина  с высоковакуумной стороны, скорости вращени  отдельных пакетов при высоком входном давлении, а.при уменьшении последне го увеличивают скорость вращени  пакетов до номинального значени  в обратной последовательности . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Вакуумна  техника. Справочные материалы . М., «Реклама, 1975, с. 28.
SU772467865A 1977-04-01 1977-04-01 Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса SU688708A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772467865A SU688708A1 (ru) 1977-04-01 1977-04-01 Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772467865A SU688708A1 (ru) 1977-04-01 1977-04-01 Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU688708A1 true SU688708A1 (ru) 1979-09-30

Family

ID=20701628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772467865A SU688708A1 (ru) 1977-04-01 1977-04-01 Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU688708A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7140833B2 (en) * 2004-11-04 2006-11-28 The Boc Group, Llc Integrated turbo/drag/regenerative pump with counter-rotating turbo blades

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7140833B2 (en) * 2004-11-04 2006-11-28 The Boc Group, Llc Integrated turbo/drag/regenerative pump with counter-rotating turbo blades

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0568069B1 (en) Turbomolecular vacuum pumps
RU1776333C (ru) Сборный турбомолекул рный вакуумный насос
US5040949A (en) Two stage dry primary pump
JP5189842B2 (ja) ポンプシステムの作動方法
US5215448A (en) Combined boiler feed and condensate pump
US4668160A (en) Vacuum pump
CA2165337A1 (en) Compressor
EP0445855B1 (en) Improved turbomolecular pump
US5143511A (en) Regenerative centrifugal compressor
US6935838B1 (en) High pressure multi-stage centrifugal blower
JP2556320B2 (ja) 真空ポンプ
JP2007511703A (ja) 真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法
SU688708A1 (ru) Способ регулировани производительности турбомолекул рного вакуумного насоса
RU98100113A (ru) Способ управления работой системы центробежный насос и вакуумный насос и газоотделяющий центробежный насос
AU5821696A (en) Method of controlling the function of a centrifugal pump and vacuum pump combination, and a gas-separating centrifugal pump
EP0743458A3 (en) Variable speed centrifugal compressors for adsorption systems
JP2012524204A (ja) 容積形ポンプのための粗引き法
JPH0219694A (ja) オイルフリー型真空ポンプ
EP0522603B1 (en) Pumping stage for turbomolecular pumps
JPH03160185A (ja) 容積移送式真空ポンプ
JPH0355839Y2 (ru)
CN1012518B (zh) 复合式分子泵
SU981697A1 (ru) Вакуумный агрегат
JPH02264196A (ja) ターボ真空ポンプ
SU1267055A1 (ru) Вакуумный молекул рный насос