SU678447A1 - Проекционный объектив - Google Patents

Description

(54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

Изобретение относитс  к оптическим система а именно к проекционным объективам дл  про изводства полупроводниковых приборов. Известен проекционный объектив с увеличением - О,, содержащий две группы линз с расположенной между ними диафрагмой, перва  из которых включает три компонента, а втора  - четыре, причем фокусное рассто ние первой группы линз в дес ть раз превышает фокусное рассто ние второй группы, а рассто ние между ними равно 0,2,фокусного рассто ни  всего объектива 1 . Объектив имеет разрешение 0,6 мкм на всем поле диаметром 3 мм и работает в области волн Л - 425-445 нм. Недостатком этого объектива  вл етс  малое разрешение. Кроме того, такой объектив работает только в- видимой области спектра. Известен также проекционный объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними апертурой диафрагмой, перва  из которых включает два компонента, втора  четыре 2. Недостатками этого объектива  вл ютс  мала  светосила и небольшое разрешение 1100 ЛИН/ММ. Этот объектив также работает только в видимой области спектра. По технической сущности к предлагаемому проекционному объективу наиболее близок проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклеенную линзу, положительную двухсклеенную линзу, две одиночные положительные : линзы и положителыаш мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета 3. Недостатками такого объектива  вл ютс  недостаточные вьгсокое поле зрени  и разрешаюида  способность. Объектив работает при Л- 486-589 нм. Целью изобретени   вл етс  увеличение пол  зрени  и разрешающей способности. Цель достигаетс  тем, что в проекционный объектив, содержащий одиночную положительную линзу, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, двухсклеенную