SU547706A1 - Проекционный объектив - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению , а именно к проекциоиным объективам , и может быть использовано в микроэлектронике как объектив фотоштампсж и фотоповторителей .

Известны проекционные объективы дл  фотоштампов и фотоповторителей, содержащие шесть компонентов и диафрагму, размешенную между вторым и третьим компонентами 1 . Этот объектив имеет недостаточную разрешающую способность .

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними диафрагмой, перва  из которых состоит из двух компонентов, один из которых - склеенный ме1шск, обращешаш вогнутостью к , а втора  группа линз состоит из положительного склеенного мениска и двух одиночных положительных линз, за которыми установлен менисковьш компонент, обращенный вогнутостью к плоскости изображени  2.

Недостатком этого объектива  вл етс  маЛа  апертура, что не позвол ет получить элементы модул  с-размером менее 1 мкм.

Цель изобретени  - увеличение разрешающей способности.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что перва  группа линз снабжена отрицательным мениском, обращенным воп т остью к плоскости предмета и установленным перед первым компонентом, выполненным в виде дво ксжыпуклой линзы с фокусным рассто нием, превышакнцим в два раза фокусыое рассто ние объектива, а менисковый компонент второй группы, рассположенный цозади двух положительных линз, вьшолнен двухсклеенным, положительным, с фокусным рассто нием, равным фокусному рассто нию объектива, фокусное рассто ние первой группы линз в дес ть раз превышает фокусное рассто ние второй группы линз, а рассто ние между ними равно 0,2 фокусного рассто ни  всего объектива.

На чертеже представлена оптическа  схема предложенного проекционного объектива.

Объектив содержит две группы линз 1 и 2 и расположенную между ними диафрагму 3. Группа линз 1 содержит одиночный отрицательный мениск 4, одиночную положительную линзу 5, поло-, жительную 6 и отрицательную 7 линзы, образующие двухсклеенный мениск 8, о ащенный вогнутостью