1, 6 Изобретение относитс к области, автоматики и вычислительной ёхник11, . 4 ч ;-5- ЧП 1 1 -Ц- . в частности к устроис.твам ВД1Я pe№у г- -. , .- -) -Ч f. : . . страции информации, и может быть использовано дл регистрации графической информации на ф6тoчyвcfвитeльнoй поверхности носител информации при изготовлении прецизионных фотошаблоHoiB .ч . Известны устройства дл регистрации информации. Первое из известных устройств содержит лазер, оптически св занный через расширитель с оптической системой, соединенной с блоком управлени , носитель информации оптически св занный с фокусирующим элементом и через светоделительный элемент с оптической системой. Недортаток этого устройства сое тоит в его низкой разрешающей спосо ности. Ji3BecTHO устройство, содержащее источник монохроматических колебани оптически св занный с расширителем, блок управлени , соединенный с блоком ввода информации, с ключами и с -датчиками перемещени двухкоординат ного стола, приводы которого подклю чены к датчикам совмещени и фокусиIровки , фокусирующий элемент, оптически св занный с носителем информации , и светоделительный элемент. Его недостаток заключаетс в недостаточно высокой разрешающей способности и быстродействии устройств Цель изобретени - повышение раз решающей способности и быстродействи . Поставленна цель достигаетс те что устройство содержит пространственно-временной модул тор, соединен ный .с ключами и оптически св занный с расширителем и с входой светодели тельного элемента, выход которого оптически св зан с датчиками совмещени и фокусировки, и дефлектор, оптически св за,нный со светодели тельным и фокусирующим элементами,а также и тем, что пространственновременной (Модул тор содержит оптически св занные многоканальный дефлектор , узел форйировани сигналов равномерной освещенности, фокусирующие элементы и щелевую диафрагму На чертеже представлена структур на устройства. Устройство включает источник монохроматических колебаний 1, например лазер, расширитель 2, простран-. ственно-временной модул тор 3, содержащий многоканальный дефлектор 4, выполненный в виде совокупности элементов , узел формировани сигналов равномерной освещенности 5, фокусирующие элементы 6,7, выполненные в виде сферической и цилиндрической линз соответственно, и щелевую диафрагму 8, светоделительный элемент 9, выполненный в виде зеркала, фокусирующий элемент 10, выполненный в виде проекционного объектива, носитель информации 11, двухкоординатный стол 12, датчики перемещени 13,блок управлени 14, блок ввода информации 15, ключи 16, датчик совмещени 17, привод 18 двухкоординатного ciroла , датчик фокусировки 19 и дефлектор 20. Устройство работает следующим образом . На двухкоординатный стол 12 устанавливают ниситель информации 11, например полупроводниковую пластину со знаками совмещени таки; образом, что она попадает в зоны захвата автоматических систем фокусировки и совмещени . Система фокусировки начинает следить за профилем поверхности полупроводниковой пластины так, что точки поверхности, наход щиес в зоне обработки, всегда наход тс в плоскости изображени йроекционного объектива 10. Система автоматического совмещени по знакам на полупроводниковой пластине производит ее ориентацию по углу в плоскости пластины и прив зку ее координатной сиетемы к координатной системе датчиков перемещений 13. По окончании операции совмещени двухкоординатный стол 12 устанавливают в исходное положе-ние . Из блока 15 в блок 14 занос т ; f информацию. 6 количестве строк топологического рисунка, и координатный стол 12 совершает движение с приблизительно посто нной скоростью. Блок 14 производит сравнение информации о топологическом рисунке с информацией от датчиков перемещени 13 о положении двухкоординатного Стола 12 и подготавливает соответствующую кодовую комбинацию на упра;вление ключами 16, При попадании кoop инaтнoгo стола 12 вузел координатной сетки блок 14 вырабатывает стробируюший импульс, передающий кодовую комбинацию на управление ключами 16. Ключи создают комбинацию на пр жений на электродах многоканального дефлектора 4 так, что через одни элементарные чейки свет проходит без отклонени (состо ние 1), а че рез другие чейки с отклонением (сос то ние О) в плоскости ХОУ кристаллофизиче (кой системь координат. Элементарным чейкам в состо нии 1 в сопр женных точках щели щелевой диафрагмы 8 соответствуют светлые элементы , а чейкам в состо нии О тем ные элементы. Длительность стробирую щего импульса, если используетс лазер непрерывного действи , определ ет врем экспонировани изображени . Таким образом экспонирук1т в движении на фоточувствительном слое широкую строку. Рисунок циклически повтор ют с периодом, равным размеру модул вдоль строки и образуют на фоточувствительном слое мультиплицированный рисуйок широкой строки. Затем двухкоординатный стол 12 смещают по координате у (шаговое движение ) на заданный размеру из блока 15 занос т информацию о следующей широкой строке типологического рисунка , двухкоординатный стол 12 сканируют в обратном направлении, экспониру следующую строку. Так происходит до тех пор пока не будет проэкспони:рована мульТйгтлйЦйрбванна строка размером, равным поперечному размеру модул . После чего весь предыдущий цикл повтор етс до тех пор, пока не будет полностью заэкспонирован весь носитель информации 11. Блок 15 должен содержать-информацию только об одном модуле БИС. Введение новых блоков и новых конструктивных св зей позволило Существенно ПОВЫСИТЬ 15азрешающую способность и быстродействие устройства.